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感应蒸发

Typisches Anwendungsgebiet der TruHeat MF Serie 3000 5000 7000: Epitaxie

感应蒸发主要在真空环境下进行。进行这种工艺处理时,将需要蒸发的材料在适当的容器内用高频强电流加热,并作为涂层涂敷在基材上。需要涂敷的晶片放置在拱形结构的顶部。含有液体涂层材料的坩埚位于正下方。由于真空环境作用,涂层微粒会从原料处以近乎直线运动至基材处。

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