中频等离子体电源
通快霍廷格中频等离子体电源主要用于双阴极系统，例如用于双磁控溅射。得益于高输出功率和流程稳定性，中频电源不仅适合具有高沉积速率的大面积建筑玻璃镀膜，而且适用于在半导体或太阳能电池上涂敷超薄型均匀涂层。凭借出色的精确度和生产效率，该款中频工艺电源成为众多等离子体激发应用的理想解决方案。
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