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TruPlasma DC 4000 系列脉冲式电源
TruPlasma DC 4000 系列脉冲式电源
等离子体激发
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC 4000 系列

玻璃般透明:实现无瑕表面的脉冲式工艺

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等离子体激发
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC 4000 系列

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高要求等离子体工艺的首选

TruPlasma DC 4000 系列电源是高要求等离子体工艺的首选。它们通过宽泛的负载匹配范围提供全功率。因此它们适合高科技溅镀应用,以及其他各类标准或脉冲直流等离子体应用。它们与非脉冲式电源一样,也具有出色的电弧管理功能。

稳定流程确保结果一致性

得益于最新 DSP 控制技术,受电弧限制的时间损失降至最少。

极佳的电弧管理

由于微滴沉积和基材损坏减少,从而获得更佳结果。

一台电源适用于多个流程

得益于宽泛的功率范围和高达 100 kHz 的脉冲频率,可灵活使用。

TruPlasma DC 4000 系列脉冲式电源

困难材料的反应溅射

TruPlasma DC 4000 系列脉冲式电源专为困难材料的反应溅射而开发。电源经过所有 PVD 与 PECVD 关键工艺的考验,例如在太阳能电池和半导体制造或硬质材料涂覆中。

理想适用于金属工件镀膜

高要求的等离子体工艺

TruPlasma DC 4000 系列电源是高要求等离子体工艺的首选。它们通过宽泛的负载匹配范围提供全功率。因此它们适合高科技溅镀应用,以及其他各类标准或脉冲直流等离子体应用。它们与非脉冲式电源一样,也具有出色的电弧管理功能。

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电弧管理

高效率

具有极少电弧能量的全数字化电弧管理实现较高的涂层质量和沉积速率。由此更加减少微滴沉积和基材损坏。加之电弧的残余能量非常少,直接改善了工艺和最终产品。通过稳定且持续的工艺运行(中断时间极短)保证较高的生产效率。

TruPlasma DC 4000 系列脉冲式电源

方便用户调整工艺

TruPlasma DC 4000 系列电源具有同步化电弧管理、脉冲频率和相位移动。频率与脉冲参数可灵活调整,以便通过一台设备操作众多工艺。也可与多台 TruPlasma DC 4000 电源同时发生脉冲。

易于操作的 PVD Power 软件

PVD Power

多语种软件 PVD Power 用户界面易操作,提供多方面的操作、配置及诊断方法,以此优化工艺质量和有效排除故障:显示所有相关工艺参数的实际值以及警告和报警消息、由操作员规定目标值和以较高的时间分辨率记录重要运行参数并进行可视化(示波器功能)。

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