陶瓷是微观与精密仪器技术中的重要原材料，例如对于电子部件制造来说，它是不可或缺的。对原材料的要求不断提高：亟需更高的硬度与热稳定性。随着陶瓷硬度的增加，其愈发易碎，因此使用传统加工方法将难以对其进行加工。为避免因裂纹和应力导致的部件弱化，机械工艺中需使用低速。模具磨损速度快，多数情况下需要繁琐的后续工作，方可获得良好的部件质量。相较于此，激光加工具有明显优势。
综述：适当选择激光参数（例如脉冲能量、脉冲重叠率与重复率）可避免产生微裂纹，从而省去繁琐的后续工作。
陶瓷加工
| 材料 | 陶瓷 | ||
| 传统工艺 | 机械式 CO2 激光器 | ||
| 挑战 | 加工损伤少 | ||
| 激光器 | TruMicro 6020 | ||
| 波长 | 1030 nm | ||
| 加工头系统 | 振镜头 | ||
| 最大脉冲能量 | < 500 µJ（涂覆） 2 mJ（激光） | ||
| 加工方式 | 钻孔 < 20 个孔/s | ||
| 优势 | 通过无接触式加工实现了低损加工、省去了后续工作且模具不会有磨损，还可加工任意几何形状，所需修正也极少还兼具灵活性 |
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