陶瓷是微观与精密仪器技术中的重要原材料，在如电子部件制造中，它是不可或缺的。对原材料的要求不断提高：亟需更高的硬度与热稳定性。随着陶瓷硬度的增加，其愈发易碎，因此使用传统加工方法将难以对其进行加工。为避免因裂纹和应力导致的部件弱化，机械工艺中需使用低速。模具磨损速度快，多数情况下需要繁琐的后续工作，方可获得良好的部件质量。相较于此，激光加工具有明显优势。
综述：适当选择激光参数（例如脉冲能量、脉冲重叠率与重复率）可避免产生微裂纹，从而省去繁琐的后续工作。
陶瓷加工
| 材料 | 陶瓷 |
|---|---|
| 传统工艺 | 机械式 CO2 激光器 |
| 挑战 | 加工损伤少 |
| 激光器 | TruMicro 5070 |
| 波长 | 1030 nm |
| 加工头系统 | 振镜头 |
| 最大脉冲能量 | 250 µJ |
| 速度 | 20 孔/秒，5 ~ 20 mm/s |
| 优点 | 得益于无接触式加工、任意几何形以及极少修正，实现模具零磨损，无需后续工作，加工损伤少且兼具灵活性 |
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