在采用这种工艺时，激光将工件材料蒸发，尽可能不产生熔体。金属蒸汽在切口中产生高压，将熔体向上方和下方排出。
切割气体，即氮气、氩气或者氦气将切割表面与周围环境隔离开来，确保切割边缘不被氧化。由于这个原因，气压只需1 至 3 bar 就足够了。
将金属材料蒸发所需的能量比将其熔化要高一些。因此，升华切割需要很高的激光功率，切割速度比其它切割工艺要慢一些。能够产生高质量的切割边缘。
激光气化切割
高质量的切割边缘，适于精细的切割任务。
金属板加工业几乎不会采用这种工艺。只有在切割任务需要特别精细作业的时候，这种工艺才有吸引力。例如在医疗器械领域，用于切割药物支架。
典型的加工对象包括
- 只需很少能量就会蒸发的
塑料薄膜和纺织品， - 无法熔化的材料，
例如木材、纸板、泡沫塑料。