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MF Plasmageneratoren

中頻等離子體發電機

TRUMPF霍廷格中頻等離子體發電機主要用於雙陰極系統,例如用於雙磁控濺射。得益於高輸出功率和流程穩定性,中頻發電機不僅適合具有高沉積速率的大面積建築玻璃鍍膜,而且適用於在半導體或太陽能電池上塗敷超薄型均勻塗層。憑藉出色的精確度和生產效率,此款中頻工藝電源成為眾多等離子體激發應用的理想解決方案。

TruPlasma Bipolar 4040雙極發生器

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列的供電過程非常適合用於反應式濺鍍、PVD(物理蒸氣相沉積)、PECVD(等離子體增強化學蒸氣相沉積)等高要求型等離子體過程。憑藉靈活可塑的輸出信號和精湛的電弧管理,它在半導體和太陽能電池製造、建築玻璃塗層以及裝飾性耐磨塗層塗覆方面帶來出色成果。

TruPlasma MF 7000 (G2) 系列

TruPlasma MF 7000 (G2) 系列

使用 TruPlasma MF 7000 (G2) 系列中頻發電機可始終完全掌控工藝流程:即便在要求嚴苛的大面積塗層應用中,仍能最終獲得出色的塗層品質和極高的生產效率。與此同時,憑藉超過 90 % 的頂尖能量轉化率,此款新一代供電系統確保極高的運行經濟性。

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