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TruPlasma Bipolar 4040兩極性發生器
TruPlasma Bipolar 4040兩極性發生器
電漿激發
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列

功率最高值的靈活曲線

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電漿激發
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列

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兩極性工藝滿足最高要求

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列的供電程序是專門針對藉助PVD(物理蒸氣相沉積)、PECVD(等離子體增強化學蒸氣相沉積)和反應式濺鍍程序的等離子輔助塗層而研發的。憑藉其靈活可塑的輸出信號和精湛的電弧管理使最新款發生器的雙極脈衝發射器具有廣泛用途。無論是半導體和太陽能電池製造還是建築玻璃塗層,任何情況下都可期待高效塗層品質和塗覆率。

極低電弧能量

全數位化電弧管理確保出色的塗層品質和生產效率。

可調波形

透過輸出信號變化輕鬆適配不同工藝。

一臺發生器,多樣化用途

直流電、被動脈衝式直流電和雙極脈衝:得益於多種調整選項可節約成本。

整合的水冷

無需外部部件,因此空間需求極低。

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列的典型應用領域:耐磨塗層製造

頂級供電系統

典型應用領域為半導體及光伏生產、建築玻璃塗層以及品質頂尖的裝飾性耐磨塗層製造。此外可特別用於PVD(物理氣相沉積)和PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)處理。

輸出口          
標稱功率 10 kW 20 kW 30 kW 40 kW 60 kW
最大輸出電流 25 A eff 50 A eff 75 A eff 100 A eff 150 A eff
最大輸出電壓 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff
額定運行頻率 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz
電弧參數          
最大電弧比率 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
電弧能源 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW
點火電壓          
帶有點火助件 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V
電源連接資料          
電源電壓 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V
電源頻率 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
功率因數 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95
通訊介面          
類比/數位
RS 232 / RS 485
PROFIBUS
EtherCAT
-
DeviceNet
-
外殼          
寬度 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm
高度 178 mm 266 mm 355 mm 355 mm 622 mm
深度 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm
重量 60 kg 60 kg 100 kg 100 kg 160 kg
防護等級 IP IP40 IP40 IP40 IP40 IP40
冷卻器條件          
冷卻介質
最大水壓 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar
最小壓力差 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar
最小流量 4 l/min 8 l/min 8 l/min 12 l/min 12 l/min
冷卻介質溫度 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
概覽          
總功率 90 % 90 % 90 % 90 % 90 %
環境條件          
外部溫度 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
空氣溼度 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
氣壓 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
技術資料頁

所有產品種類的技術資料均可下載。

電弧管理

完美塗層、提高生產效率

全數位化的電弧管理僅需極低電弧能量,能夠獲得較高的塗層品質和沉積速率。即使在要求嚴苛的反應工藝中,TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列仍始終確保穩定的工藝電源,從而保障穩定的等離子體狀態。

透過靈活選擇輸出信號可多樣化使用

靈活性更高、成本更低

透過可調波形能夠使TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列的產生器相當輕鬆地適應不同的處理要求。藉助於輸出信號的靈活選項(直流電、被動脈衝式直流電或雙極脈衝)能夠多樣化使用發生器並就此降低總運行成本 (TCO)。

TruPlasma Bipolar 4060雙極發生器

全部整合於一個箱體之中

藉助於水冷裝置的完全整合, 於不受環境影響的產生器箱體內,而無需額外的外部元件。

易於操作的PVD Power軟體

PVD電源

PVD Power多語種軟體易於操作,提供多種操作、配置及診斷選項,以此優化工藝品質並高效排除故障:顯示所有相關工藝參數的實際值以及警告和報警消息,由操作人員規定目標值並以較高的時間解析度記錄重要運行參數並實現視覺化(示波器功能)。

透過選擇不同的系統元件,讓您能夠以最佳方式使兩極性脈衝產生器適應您的系統環境。

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列發生器的後視圖
電源線

提供多種電纜和插頭規格,可用於不同的連接標準。

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