兩極性工藝滿足最高要求
TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列的供電程序是專門針對藉助PVD(物理蒸氣相沉積)、PECVD(等離子體增強化學蒸氣相沉積)和反應式濺鍍程序的等離子輔助塗層而研發的。憑藉其靈活可塑的輸出信號和精湛的電弧管理使最新款發生器的雙極脈衝發射器具有廣泛用途。無論是半導體和太陽能電池製造還是建築玻璃塗層,任何情況下都可期待高效塗層品質和塗覆率。
全數位化電弧管理確保出色的塗層品質和生產效率。
透過輸出信號變化輕鬆適配不同工藝。
直流電、被動脈衝式直流電和雙極脈衝:得益於多種調整選項可節約成本。
無需外部部件,因此空間需求極低。
TruPlasma Bipolar 4010 (G2) 產品對比 |
TruPlasma Bipolar 4020 (G2) 產品對比 |
TruPlasma Bipolar 4030 (G2) 產品對比 |
TruPlasma Bipolar 4040 (G2) 產品對比 |
TruPlasma Bipolar 4060 (G2) 產品對比 | |
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輸出口 | |||||
標稱功率 | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
最大輸出電流 | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
最大輸出電壓 | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
額定運行頻率 | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
電弧參數 | |||||
最大電弧比率 | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
電弧能源 | 0.3 mJ/kW | 0.3 mJ/kW | 0.3 mJ/kW | 0.3 mJ/kW | 0.3 mJ/kW |
點火電壓 | |||||
帶有點火助件 | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
電源連接資料 | |||||
電源電壓 | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
電源頻率 | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
功率因數 | 0.95 | 0.95 | 0.95 | 0.95 | 0.95 |
通訊介面 | |||||
類比/數位 | 是 | 是 | 是 | 是 | 是 |
RS 232 / RS 485 | 是 | 是 | 是 | 是 | 是 |
PROFIBUS | 是 | 是 | 是 | 是 | 是 |
EtherCAT | 是 | 是 |
是
- | 是 | 是 |
DeviceNet | 是 | 是 |
是
- | 是 | 是 |
外殼 | |||||
寬度 | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
高度 | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
深度 | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
重量 | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
防護等級 IP | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
冷卻器條件 | |||||
冷卻介質 | 水 | 水 | 水 | 水 | 水 |
最大水壓 | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
最小壓力差 | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
最小流量 | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
冷卻介質溫度 | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
概覽 | |||||
總功率 | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
環境條件 | |||||
外部溫度 | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
空氣溼度 | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
氣壓 | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
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TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
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輸出口 | |||||
標稱功率 | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
最大輸出電流 | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
最大輸出電壓 | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
額定運行頻率 | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
電弧參數 | |||||
最大電弧比率 | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
電弧能源 | 0.3 mJ/kW | 0.3 mJ/kW | 0.3 mJ/kW | 0.3 mJ/kW | 0.3 mJ/kW |
點火電壓 | |||||
帶有點火助件 | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
電源連接資料 | |||||
電源電壓 | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
電源頻率 | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
功率因數 | 0.95 | 0.95 | 0.95 | 0.95 | 0.95 |
通訊介面 | |||||
類比/數位 | 是 | 是 | 是 | 是 | 是 |
RS 232 / RS 485 | 是 | 是 | 是 | 是 | 是 |
PROFIBUS | 是 | 是 | 是 | 是 | 是 |
EtherCAT | 是 | 是 |
是
- | 是 | 是 |
DeviceNet | 是 | 是 |
是
- | 是 | 是 |
外殼 | |||||
寬度 | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
高度 | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
深度 | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
重量 | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
防護等級 IP | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
冷卻器條件 | |||||
冷卻介質 | 水 | 水 | 水 | 水 | 水 |
最大水壓 | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
最小壓力差 | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
最小流量 | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
冷卻介質溫度 | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
概覽 | |||||
總功率 | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
環境條件 | |||||
外部溫度 | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
空氣溼度 | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
氣壓 | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
所有產品種類的技術資料均可下載。

完美塗層、提高生產效率
全數位化的電弧管理僅需極低電弧能量,能夠獲得較高的塗層品質和沉積速率。即使在要求嚴苛的反應工藝中,TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列仍始終確保穩定的工藝電源,從而保障穩定的等離子體狀態。

靈活性更高、成本更低
透過可調波形能夠使TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列的產生器相當輕鬆地適應不同的處理要求。藉助於輸出信號的靈活選項(直流電、被動脈衝式直流電或雙極脈衝)能夠多樣化使用發生器並就此降低總運行成本 (TCO)。

全部整合於一個箱體之中
藉助於水冷裝置的完全整合, 於不受環境影響的產生器箱體內,而無需額外的外部元件。

PVD電源
PVD Power多語種軟體易於操作,提供多種操作、配置及診斷選項,以此優化工藝品質並高效排除故障:顯示所有相關工藝參數的實際值以及警告和報警消息,由操作人員規定目標值並以較高的時間解析度記錄重要運行參數並實現視覺化(示波器功能)。
透過選擇不同的系統元件,讓您能夠以最佳方式使兩極性脈衝產生器適應您的系統環境。

提供多種電纜和插頭規格,可用於不同的連接標準。
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