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TruPlasma MF 7000 (G2) 系列
TruPlasma MF 7000 (G2) 系列
電漿激發
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF 7000 (G2) 系列

同等級最佳

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    處理過程完全掌控

    透過TruPlasma MF 7000 (G2) 系列可以隨時掌控工藝流程:此款發電機的電弧管理和點火特性獨具優勢,是用於大面積鍍膜(Large Area Coating)以及雙磁控濺射中高要求反應工藝流程的理想供電系統。與此同時,超過 90 % 的頂尖能量轉化率和極為高效的冷卻水管理系統確保極高的運行經濟性。

    卓越的塗層品質和生產效率

    即使在極其嚴苛的反應工藝流程中,仍能實現出色結果與高沉積速率。

    最高效率

    具有頂尖的效率
    超過90%能量轉化率,運行效率可超過 80 %。

    不論環境條件如何均穩定供電

    即使在高冷卻水溫度和低壓差條件下,功能依舊可靠。

    全球適用

    可變供給電壓,因此無需技術調整。

    理想適用於大面積鍍膜的頂級中頻供電系統

    頂尖的中頻供電

    建築玻璃的大面積塗層(Large Area Coating):複合材料,如氧化矽對於電源穩定性提出極高要求。

    純平顯示幕鍍膜的頂級中頻供電系統

    塗覆超薄塗層

    平板顯示器和觸控面板的塗層:藉助雙磁控濺射塗覆超薄型(nm)、高穩定性的均勻氧化鋁塗層。

    TruPlasma MF 7000 (G2) 系列中頻發生器用於塗覆超薄塗層

    太陽能電池製造

    太陽能玻璃的塗層:TruPlasma MF 7000 (G2) 系列的穩定供電系統藉助中頻濺射實現極薄型透明導電氧化物(TCO)塗層的均勻塗覆。

    輸出口                    
    標稱功率 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW
    最大輸出電流 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff
    最大輸出電壓 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff
    額定運行頻率 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz
    電弧參數                    
    最大電弧比率 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s
    電弧能源 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW
    電弧處理時間 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs
    點火電壓                    
    帶有點火助件 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V
    無點火助件 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V
    電源連接資料                    
    電源電壓 (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V
    電源頻率 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
    電源輸入功率 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA
    功率因數 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95
    外殼                    
    重量 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg
    防護等級 IP 54 54 54 54 54 54 54 54 54 54
    冷卻器條件                    
    冷卻介質
    最大水壓 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar
    最小壓力差 2.2 bar 2.2 bar 2.2 bar 2.5 bar 2.5 bar 2.2 bar 2.2 bar 2.2 bar 2.5 bar 2.5 bar
    最小流量 28 l/min 30 l/min 30 l/min 34 l/min 34 l/min 30 l/min 31 l/min 31 l/min 36 l/min 36 l/min
    冷卻介質溫度 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
    概覽                    
    總功率 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 %
    證書 / 標準 CE,SEMI S2-0709,FCC part 18標準 CE,SEMI S2-0709,FCC part 18標準 CE,SEMI S2-0709,FCC part 18標準 CE,SEMI S2-0709,FCC part 18標準 CE,SEMI S2-0709,FCC part 18標準 CE,SEMI S2-0709,FCC part 18標準 CE,SEMI S2-0709,FCC part 18標準 CE,SEMI S2-0709,FCC part 18標準 CE,SEMI S2-0709,FCC part 18標準 CE,SEMI S2-0709,FCC part 18標準
    環境條件                    
    外部溫度 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    PDF <1MB
    技術資料頁

    所有產品種類的技術資料均可下載。

    TruPlasma MF 7000 (G2) 系列發電機確保極高效率

    最高經濟性與靈活性

    TruPlasma MF Serie 7000 (G2) 的較高運行效率和靈活冷卻設計確保持續整個使用壽命的最高經濟效益。即使在惡劣的氣候和安裝條件下,供電系統仍舊隨時保持穩定 — 冷卻水溫度偏高、低水壓和高空氣濕度均不會對進程品質產生干擾。此款中頻發電機工作電壓範圍寬廣,因此無需技術適配,全球可用。

    TruPlasma MF 7000 (G2) 系列中頻發電機

    精確控制進程

    僅利用極少參數設定即可精確控制塗層品質和生產效率。這有助於實現電弧處理的靈敏度和所需產量之間的最佳平衡。提供多種介面,操作軟體TruControl Power方便實用,以此實現高效配置和診斷。

    電弧管理

    電弧管理獨具優勢

    高反應速度和相應減少的殘餘能量實現穩定的進程和最高濺射速率。發電機可靠識別並避免在靶上形成電弧和產生熱應力 — 其結果是遍佈整個基體表面的絕對均勻的塗層。此外,快速可靠的電弧管理能夠實現在電壓可控的過渡範圍(過渡模式)內順利運行發生器。

    TruPlasma MF 7000 (G2) 系列有大量選項可供選擇,以此根據應用要求對中頻發電機進行調整。

    擴展的頻率範圍

    功率可達 100 kW 的中頻發電機可選配 20 ~ 70 kHz 的擴展頻率範圍(標準值為 20 ~ 50 kHz)。

    輔助點火

    借此減少電弧形成和熱應力。點火電壓和斜升時間可單獨調節。

    極速電弧管理

    TruPlasma MF 7000 (G2) 系列可配備極為靈敏的電弧管理(UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW,標準值為 ≤ 10 mJ/kW)。UltraFastTreatment需要3類安全級別。

    做好萬全準備

    Profinet、Profibus、EtherCAT 以及類比與數位介面使 TruPlasma MF 7000 系列能夠輕鬆融入至現有設備之中。

    配電箱櫃門

    可選購具有 180° 極寬張角的配電箱櫃門(標準值為130 °C)。

    主動式配電箱除濕裝置

    針對空氣濕度較高的環境可為發生器配電箱配備主動除濕單元。其運行需要冷卻水控制裝置。

    易於操作的TruControl Power軟體

    TruControl Power

    易於使用的多語種控制軟體TruControl Power提供操作、配置和診斷方面的多種選項。

    透過選擇合適的系統元件能夠使TruPlasma MF 7000 (G2)系列以最優方式調整您的系統環境。

    中頻功率電纜
    中頻功率電纜

    針對TruPlasma MF 7000 (G2) 系列提供優化的TRUMPF Hüttinger中頻功率電纜。它們在全程均確保最佳系統性能。

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