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TruPlasma DC 3040直流產生器
TruPlasma DC 3040直流產生器
電漿激發
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC 3000 (G2) 系列

完美適合所有表面

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電漿激發
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC 3000 (G2) 系列

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    新一代精巧型直流產生器

    TruPlasma DC 3000 (G2) 系列適合眾多直流濺鍍製程——也可作為脈衝式製程電源的替代品。因為有先進的電弧管理為最佳塗層品質和顯著提升的成品率提供保障。由於結構特別精巧,此水冷式直流產生器可非常方便地整合到現有應用之中。

    同級別中最低的電弧能量

    殘餘能量 < 0.3 mJ/kW 確保最佳塗層品質和高沉積速率。

    高功率密度

    結構極為精巧(19英吋插入式裝置),從而在確保更大功率的同時實現輕鬆整合。

    大功率範圍

    輸出功率為20 kW至300 kW,因此可用作更大發電機的替代品。

    完全水冷

    實現較長的系統執行時間且減少維護工作。

    方便系統整合

    可變線路電壓(400 V至480 V)和不同的數據接口。

    硬質鍍膜

    硬質鍍膜

    透過藉助直流磁控濺鍍施加功能性塗層,承受強大負荷的工件獲得更高的表面硬度和靜摩擦力以及更好的熱穩定性與化學穩定性。TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流產生器確保穩定的電漿製程和最佳塗層品質。

    TruPlasma DC 3040直流產生器

    金屬噴鍍

    藉助PVD製程可將薄如蟬翼的金屬塗層施加到不同材料上,以賦予其極佳的光學與電氣特性。與製程參數最佳適配的電源實現絕對均勻、毫無缺陷的塗層沉積。

    太陽能電池製造

    太陽能電池製造

    為了影響電氣特性,太陽能電池、平面顯示器及觸控式螢幕需要鍍膜導電材料 (TCO)。由於其電弧殘餘能量極少,TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流產生器對此極為適合。

    TruPlasma DC 3040直流產生器

    建築玻璃

    大面積建築玻璃鍍膜在直流濺鍍製程中,對電源提出了極高要求。TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流產生器為取得高品質的鍍膜成果提供理想前提。

    輸出口              
    標稱功率 20 kW 30 kW 40 kW 60 W - - -
    最大輸出電流 50 A eff 75 A eff 100 A eff 150 A eff - - -
    最大輸出電壓 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff - - -
    電弧參數              
    最大電弧比率 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s - - -
    電弧能源 <0.3 mJ/kW <0.3 mJ/kW <0.3 mJ/kW <0.3 mJ/kW - - -
    電弧處理時間 <0.1 µs <0.1 µs <0.1 µs <0.1 µs - - -
    點火電壓              
    帶有點火助件 1500 V 1500 V 1500 V 1500 V - - -
    無點火助件 1000 V 1000 V 1000 V 1000 V - - -
    電源連接資料              
    電源電壓 (±10%) 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V - - -
    電源頻率 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz - - -
    通訊介面              
    類比/數位 - - - -
    RS 232 / RS 485 - - - -
    PROFIBUS - - - -
    EtherCAT - - - -
    DeviceNet - - - -
    外殼              
    重量 45 kg 65 kg 65 kg - - - -
    防護等級 IP 40 40 40 - - - -
    冷卻器條件              
    冷卻介質 - - - -
    最大水壓 7 bar 7 bar 7 bar - - - -
    最小壓力差 1.5 bar 1.5 bar 1.5 bar - - - -
    最小流量 4 l/min 8 l/min 8 l/min - - - -
    冷卻介質溫度 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C - - - -
    DC 連接資料              
    終端數目 3 3 3 - - - -
    額定電流/終端 35 A 53 A 53 A - - - -
    概覽              
    總功率 90 % 90 % 90 % - - - -
    證書 / 標準 CE CE CE - - - -
    環境條件              
    外部溫度 5 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C - - - -
    空氣溼度 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % - - - -
    氣壓 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa - - - -
    PDF <1MB
    技術資料頁

    所有產品種類的技術資料均可下載。

    電弧管理

    脈衝式產生器的低成本替代品

    憑藉其先進的電弧管理,TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流產生器通過許多濺鍍製程的考驗。作為脈衝式產生器的低成本替代品,它們同樣提供顯著提升的成品率。

    提供前所未有的划算:TruPlasma VHF 3000 系列發電機

    在較高功率下的精巧型替代品

    儘管其結構非常精巧,TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流產生器仍能在塗層品質與生產效率上勝過更為龐大的產生器。即使在超過60 kW的大輸出功率下,它們也是可方便整合的精巧型替代品。

    配備完整水冷裝置的直流發生器

    實現較長系統執行時間的水冷裝置

    TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流產生器配備了全水冷裝置。相比於帶有風冷裝置的設備,可增加系統執行時間,同時減少維護工作並防止吸入灰塵顆粒造成污染。

    不同選項使直流產生器以最佳方式適配您的應用。

    並行運行與同步

    多臺TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流發生器可同步運行。對於指向不同目標的多臺發生器,此模式能夠實現電弧的同步識別。脈衝模式也可同步。如需大輸出功率,也可並聯多達5臺TruPlasma DC 3030的發生器。它們將作為TruPlasma DC 3150單元運轉。

    水閥控制系統

    水閥控制系統可調節冷卻水流量以免凝結,同時防止發生器過熱。

    做好萬全準備

    EtherCAT及EtherNET/IP介面方便TruPlasma DC 3000 (G2) 系列融入到現有設備之中。

    易於操作的PVD Power軟體

    PVD Power

    多語種軟體PVD Power使用者介面易操作,提供多方面的操作、配置及診斷方法,以此優化工藝品質和有效排除故障:顯示所有相關工藝參數的實際值以及警告和報警消息、由操作員規定額定值和以較高的時間解析度記錄重要運行參數並進行視覺化(示波器功能)。

    視國家而定,此產品分類與此説明 可能存在偏差。保留技術、裝備、價格與配件範圍方面的更改權利。 請與當地聯絡人取得聯繫,以便瞭解 您所在國家是否提供該產品。

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    Sales(銷售部)
    傳真: +886 3 270 8006
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    TruPlasma DC 3000 (G2) 系列宣傳冊
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