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TruPlasma DC 4000系列脈衝式產生器
TruPlasma DC 4000系列脈衝式產生器
電漿激發
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC 4000系列

玻璃般透明:實現無瑕表面的脈衝式製程

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電漿激發
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC 4000系列

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高要求電漿製程的首選

TruPlasma DC 4000系列產生器是高要求電漿製程的首選。它們透過寬泛的負載適配範圍提供全功率。因此它們適合高科技濺鍍應用,以及其他各類標準或脈衝直流電漿應用。它們與非脈衝式產生器一樣,也具有出色的電弧管理功能。

工藝穩定,保證結果的一致性

得益於最先進的DSP控制技術,受電弧影響的時間損失降至最低。

卓越的電弧管理

由於微滴沉積和基材損壞減少,取得更佳成果。

一臺產生器可用於多種製程

歸功於寬泛的功率範圍和高達100 kHz的脈衝頻率,實現靈活應用。

TruPlasma DC 4000系列脈衝式產生器

困難材料的反應濺鍍

TruPlasma DC 4000系列脈衝式產生器專為困難材料的反應濺鍍而開發。產生器經過所有PVD與PECVD關鍵製程的考驗,例如在太陽能電池和半導體製造或硬質材料塗覆中。

理想適用於金屬工件表面噴塗

高要求的電漿製程

TruPlasma DC 4000系列產生器是高要求電漿製程的首選。它們透過寬泛的負載適配範圍提供全功率。因此它們適合高科技濺鍍應用,以及其他各類標準或脈衝直流電漿應用。它們與非脈衝式產生器一樣,也具有出色的電弧管理功能。

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電弧管理

高效率

全數位化的電弧管理僅需極低電弧能量,能夠獲得較高的塗層品質和沉積速率。由此更加減少微滴沉積和基材損壞。電弧的殘餘能量非常少,直接改善了製程和最終產品。透過穩定且持續的製程運行(中斷時間極短)保證較高的生產效率。

TruPlasma DC 4000系列脈衝式產生器

方便用戶調整製程

TruPlasma DC 4000系列產生器具有同步化電弧管理、脈衝頻率和相位移動。頻率與脈衝參數可靈活調整,以便使用一臺設備操作眾多製程。也可與多臺TruPlasma DC 4000產生器同時發生脈衝。

易於操作的PVD Power軟體

PVD Power

多語種軟體PVD Power使用者介面易操作,提供多方面的操作、配置及診斷方法,以此優化工藝品質和有效排除故障:顯示所有相關工藝參數的實際值以及警告和報警消息、由操作員規定額定值和以較高的時間解析度記錄重要運行參數並進行視覺化(示波器功能)。

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