TruPlasma DC 4000 (G2) 系列

脈衝式工藝確保光亮表面

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輕鬆處理困難製程

TruPlasma DC 4000 (G2) 系列專為困難材料的直流反應濺射而開發。以脈衝式直流電工作的該款發生器經受住尤為嚴苛的PVD（物理氣相沉積）和PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）工藝的考驗，這些工藝對塗層品質與生產效率均有極高要求。緊湊型直流電源可在脈衝與偏壓模式下使用——亦即兩種設備集於同一外殼！

出色的塗層品質和生產效率

數位化信號處理讓工藝穩定運行——受電弧限制的時間損失最小化。

在關鍵性鍍膜工藝中也取得最佳結果

快速電弧處理與直流脈衝技術相結合，減少了微滴沉積和基板損壞。

輕鬆適配工藝

得益於寬泛的頻率範圍與可調的反向電壓。

精巧又堅固的結構

整合的水冷裝置節省空間並降低維護成本。

硬質鍍膜

透過施加功能性塗層，承受強大負荷的工件獲得更高的表面硬度和靜摩擦力以及更好的熱穩定性與化學穩定性。TruPlasma DC 4000 (G2) 系列脈衝式產生器實現穩定的電漿工藝和最佳塗層品質。

金屬噴鍍

藉助PVD工藝可將薄如蟬翼的金屬塗層施加到不同材料上，以賦予其最佳光學與電氣特性。與工藝參數最佳適配的電源實現絕對均勻、毫無缺陷的塗層沉積。

太陽能電池製造

為了影響其電氣特性，太陽能電池、平面顯示器及觸控式螢幕需要鍍膜導電材料 (TCO)。TruPlasma DC 4000 (G2) 系列脈衝式產生器的電弧能量極少，特別適合此類應用。

建築玻璃

大面積建築玻璃鍍膜在PVD電漿製程中，對電源提出了極高要求。TruPlasma DC 4000 (G2) 系列脈衝式產生器為取得高品質的鍍膜成果提供理想前提。

	TruPlasma DC 4010 (G2)	TruPlasma DC 4020 (G2)	TruPlasma DC 4040 (G2)
輸出口
標稱功率	10 kW	20 kW	40 kW
最大輸出電流	33 A eff	67 A eff	133 A eff
最大輸出電壓	1200 V eff	1200 V eff	1200 V eff
額定運行頻率	0 kHz - 100 kHz	0 kHz - 100 kHz	0 kHz - 100 kHz
電弧參數
最大電弧比率	20000 1/s	20000 1/s	20000 1/s
電弧能源	<0.3 mJ/kW	<0.3 mJ/kW	<0.3 mJ/kW
電弧處理時間	<0.1 µs	<0.1 µs	<0.1 µs
點火電壓
帶有點火助件	1750 V	1750 V	1750 V
無點火助件	1250 V	1250 V	1250 V
電源連接資料
電源電壓	3x 360 V - 528 V	3x 360 V - 528 V	3x 360 V - 528 V
電源頻率	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz
通訊介面
類比／數位	是	是	是
RS 232 / RS 485	是	是	是
PROFIBUS	是	是	是
EtherCAT	否	否	否
DeviceNet	是	是	是
外殼
重量	65 kg	75 kg	150 kg
防護等級 IP	40	40	40
冷卻器條件
冷卻介質	水	水	水
最大水壓	7 bar	7 bar	7 bar
最小壓力差	3 bar	3 bar	3 bar
最小流量	8 l/min	8 l/min	16 l/min
冷卻介質溫度	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C
DC 連接資料
終端數目	3	3	3
額定電流／終端	25 A	45 A	85 A
概覽
總功率	90 %	90 %	90 %
證書 / 標準	CE	CE	CE
環境條件
外部溫度	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
空氣溼度	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %
氣壓	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa