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Technologiebild RF Plasmageneratoren

高頻等離子體發生器

所有高科技領域都需要穩定的過程電源。 作為全球領先的製造商,TRUMPF Hüttinger為其直流,中頻和射頻發電機提供所需的頻率和功率,無論是等離子體應用,感應加熱還是CO2雷射激發。 來自TRUMPF Hüttinger的新開發的逆變器為可再生能源的儲能提供了完美的解決方案,被視為未來的存儲技術。

TruPlasma RF Air 1000系列

氣冷型高頻發電機TruPlasma RF 1001 Air可提供高達1000瓦特的高頻能源,其精度高、可再現且解析度極為精細(以100 mW步進),因而適用于豐富多樣的電漿應用。無論是半導體製造、太陽能電池製造還是顯示幕製造——得益于先進的工藝流程功能,已獲專利的TRUMPF霍廷格電子技術可在各個領域確保最高可用性和最佳工藝結果。

TruPlasma RF 3006高頻發生器

TruPlasma RF 1000 / 3000系列 (G2/13)

TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) 系列是最新一代的高頻發生器。借助創新功能,比如獲得專利的CombineLine耦合技術或即時量測所有進程參數,即使在高要求的等離子體進程下也能確保安全的進程供電,為可重複的成果與高生產效率提供最佳前提條件。

TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006高頻發生器

TruPlasma RF 3000系列

性能強勁的TruPlasma RF 3000系列高頻發電機因極其高效和高工藝流程穩定性而出眾。因此非常適合高要求類等離子體工藝,例如用於純平顯示幕、太陽能電池或半導體製造。針對發生器精確調整的阻抗適配箱用於適配阻抗,時刻確保從發生器到等離子體的最佳穩定功率傳輸。

VHF 3000系列產生器

TruPlasma VHF 3000系列

最高製程功率:TruPlasma VHF 3000系列產生器基於創新型平臺理念,甚至可滿足最苛刻的製程要求。模組化純水冷卻結構允許輸出功率最高擴展到80 kW – 而且空間需求極小!

射頻系統解決方案:實現極高工藝穩定性的阻抗適配箱

TruPlasma Match 1000系列 (G2/13)

最佳執行等離子體工藝需注重準確適配高頻發生器輸出阻抗。這由TruPlasma Match 1000 (G2/13) 系列阻抗適配箱完成,協調發生器與工藝。因此形成針對工藝供電的整體解決方案——Trumpf RF系統。

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