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電漿激發
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Air 1000系列

值得信賴的精確度

氣冷型高頻發電機TruPlasma RF 1001 Air可提供高達1000瓦特的高頻能源,其精度高、可再現且解析度極為精細(以100 mW步進),因而適用于豐富多樣的電漿應用。無論是半導體製造、太陽能電池製造還是顯示幕製造——得益于先進的工藝流程功能,已獲專利的TRUMPF霍廷格電子技術可在各個領域確保最高可靠性和最佳工藝結果。

智慧型自動頻率調諧

確保以最優效果快速適配頻率,從而確保發生器與阻抗適配箱之間的最佳協作。

高精度電弧管理

可靠實現嚴苛的新型工藝流程,確保您的產品受到防護。

多級脈衝

多級、靈活的脈衝波形控制系統可在先進的電漿工藝中實現更佳的工藝結果。

隨插即用

可在改動工藝或加裝時靈活使用和更換發生器。

穩定的電漿工藝

已獲專利的CombineLine 技術憑藉 50歐姆的真實輸出阻抗實現穩定的工藝流程功率。

發生器技術一致

高頻產品系列中的不同功率等級可滿足所有工藝流程需求。

不受高頻電纜長度影響

更改工藝流程或改動系統時不再需要調整電纜長度。

純平顯示幕鍍膜的頂級供電系統

TruPlasma RF 1000系列高頻發電機理想地適用於如RIE(反應離子刻蝕)、ALD(原子層沉積)、PECVD(電漿增強化學氣相沉積)和射頻濺鍍法等電漿處理流程。這些工藝主要應用於製造半導體元件和微機械系統 (MEMS) 以及平板顯示器和太陽能電池的塗層。

太陽能電池製造

TruPlasma RF Air 1000系列的典型應用領域是太陽能行業中要求嚴苛的PECVD(電漿增強化學氣相沉積)、刻蝕及高頻濺射等工藝。

射頻電漿發生器工藝圖

在半導體製造中使用不同等離子體工藝,包括透過幹法刻蝕的材料去除工藝和用於製備純矽的區熔法。TruPlasma RF Air 1000系列發生器為最佳適配相應工藝的穩定供電系統提供一切前提條件,從而取得出色的可再現結果。

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TruPlasma RF 1001 Air
RF 輸出口  
輸出功率 1 kW
標稱功率 1 kW
額定負載阻抗 50 Ω
輸出頻率 13.56 MHz
電源連接資料  
電源電壓 110 - 230 V
電源頻率 50-60 Hz
電源輸入功率 1.8 kVA
功率因數 0.9
通訊介面  
同步介面
類比/數位
RS 232 / RS 485
PROFIBUS
EtherCAT
DeviceNet
外殼  
重量 15 kg
防護等級 IP 20
冷卻器條件  
最大水壓 N/A bar
最小壓力差 N/A bar
最小流量 N/A l/min
冷卻介質溫度 5 °C - 35 °C
概覽  
總功率 70 %
證書 / 標準 Semi S2,SEMI F47,UL,CE,RoHs
環境條件  
外部溫度 5 °C - 40 °C
空氣溼度 5 % - 85 %
氣壓 79.5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
技術資料頁

所有產品種類的技術資料均可下載。

超高生產效率與可用性

超高生產效率與可用性

高頻發電機靈活、可靠的設計可提升輸送量並削減運行成本。

已獲專利的CombineLine技術

流程穩定,結果可再現

已獲專利的CombineLine技術具備智慧即時匹配能力,可確保TruPlasma RF 1001 Air具有最佳可用性,並可靠防止電漿波動與污染。

可緊湊、靈活應用

得益於緊湊的結構(½ 19英寸插入式裝置),此高頻發電機極為節省空間——絕佳適合新安裝或者作為現有設施中的加裝解決方案。眾多可用介面(可配置類比介面、乙太網、DeviceNet、PROFIBUS現場匯流排、EtherCAT)使整合非常簡便。

理想適用於刻蝕與鍍膜工藝

精確到小數點後一位

得益於以100 mW步進的精確能量計量,即使是在ALD(原子層沉積)等最為先進、要求最高的應用中,TruPlasma RF 1001 Air亦可取得最佳結果。高頻發電機的高精度功率調節器確保實現最佳晶圓間可重複性。

建築玻璃

先進的工藝流程功能確保最佳工藝結果

智慧自動頻率調諧2.0、電弧管理和多級脈衝等數位控制功能可針對相應工藝流程以最佳效果適配高頻發電機。

TruPlasma RF 1003:生產效率最高的高頻發生器

靈活適配客戶應用

可提供一致而功率等級與頻率不同的發生器設計,從而實現在更改工藝流程時輕鬆更換。亦不再需要適配電纜長度。

透過TRUMPF SystemPort控制整套高頻系統

SystemPort透過直接量測阻抗適配箱輸入端和輸出端上的RF信號,形成閉環控制回路,使高頻發電機能夠隨時獲取所有量測值。由此實現持續監測製程參數、保護阻抗適配箱並確保及早識別電弧。

Auto Frequency Tuning(自動頻率調諧):
智慧型自動頻率調諧(AFT)

已獲專利的自動頻率調諧能夠快速同步適配頻率,確保發生器與阻抗適配器之間的最佳協作。從而確保最佳過程工藝結果和最高可再現性。

快速精確的電弧管理

精心設計的電弧管理可確保對電漿工藝實施最佳監控。針對性電弧識別可提升生產效率,同時保護產品和設施免於受損。

多級脈衝

最新電漿工藝要求脈衝振蕩方式具備更高的靈活性。可自由選擇的多級脈衝振蕩方式可以形成任何脈衝波形。這在電漿物理學中催生出一套全新控制機制,也可實現更佳的工藝結果。

同步模組(脈衝、CEX、電弧)

同步模組可在複雜的電漿系統中靈活可靠地同步多個發生器。

TruControl Power

易於操作的控制軟體實現在工藝運行中便捷調試和可靠監控高頻發生器或整個TRUMPF RF系統。

網頁圖形化使用者介面

內置網頁伺服器可實現通過網頁流覽器操作高頻系統或進行軟體升級。

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