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直流等离子体电源工艺图

等离子体电源

通快霍廷格的等离子体电源为众多高科技行业提供所需的工艺电源, 从而实现太阳能电池和微芯片的功能性涂层、建筑玻璃的大面积镀膜以及半导体元件和纯平显示屏的制造。凭借出色的精度、能效和高工艺稳定性,它们已成为市场中的佼佼者。

中频等离子体电源

凭借出色的精度和生产效率, 成为众多等离子体激发应用的理想解决方案。

直流脉冲等离子体电源

通快霍廷格电子的直流脉冲等离子体电源理想适用于众多反应式工艺中的应用。

直流等离子体电源

通快霍廷格电子的直流等离子体电源是等离子体激发的经典之作。

高频等离子体电源

制造半导体元件、微芯片、太阳能电池或纯平显示屏等高要求应用的首要选择。

MF-Plasmageneratoren

TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1)系列

在太阳能电池与半导体制造、耐磨装饰涂层涂覆以及建筑玻璃镀膜中,TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工艺电源凭借其灵活可塑的输出信号和精湛的电弧管理提供出色结果。最新一代发生器尤其适合高要求的等离子体工艺,如反应溅射、PVD 和 PECVD。

TruPlasma MF 7000 (G2) 系列

使用 TruPlasma MF 7000 (G2) 系列中频电源可始终完全掌控工艺流程:即便在要求严苛的大面积镀膜应用中,仍能最终获得出色的涂层质量和极高的生产效率。与此同时,凭借超过 90 % 的顶尖能量转化率,此款新一代供电系统确保极高的运行经济性。

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