VCSEL (Vertical cavitiy surface emitting laser ‑ полупроводниковый лазер поверхностного излучения с вертикальным резонатором) представляет собой лазерный диод, который излучает свет в виде конусообразного пучка вертикально от поверхности изготовленной пластины. VCSEL обладают многими преимуществами по сравнению с обычными лазерами с краевым излучением, которые излучают свет с одного или двух краев чипа. Лазеры VCSEL доступны с различными длинами волн и применяются как в промышленности, так и на потребительском рынке. Стандартные длины волн находятся в диапазоне 760 нм, 850 нм и 940 нм.

Преимущества лазеров VCSEL TRUMPF
Что такое лазер VCSEL и какие преимущества он дает по сравнению с другими лазерными диодами? Какое строение делает возможным особый принцип работы матриц VCSEL? На этой странице вы также можете узнать больше о двух типах VCSEL и все подробности о типичных областях применения лазерных диодов в промышленности и на потребительском рынке.
Что такое VCSEL (Vertical cavity surface emitting laser)?

Какие преимущества дают лазеры VCSEL?
Круглая форма луча, который может быть даже в виде Гауссова пучка, низкая дивергенция луча и различные световые моды (многомодовый и одномодовый лазеры) предопределяют применение лазеров VCSEL в различных областях.
Благодаря высокой скорости модуляции, качеству излучения и эффективности использования энергии, матрицы VCSEL идеально подходят для высокотехнологичных областей применения, таких как 3D системы сенсорных датчиков, лидары или оптическая передача данных.
Вертикально-излучающие лазеры позволяют экономить место для установки, а матрицы с большим количеством излучателей могут быть реализованы на одном чипе. Это позволяет производить большие объемы продукции и проводить испытания на уровне пластин.
Потребляемая мощность лазеров VCSEL, составляющая очень мало милливатт, позволяет очень эффективно им работать в мобильных устройствах и даже в центрах обработки данных, в то же время значительно снижая энергопотребление.
Благодаря короткому времени нарастания и спада, с помощью VCSEL можно реализовать очень быстрый импульсный режим. Это особенно важно для использования в оптической передаче данных и во времяпролетных системах (Time-Of-Flight, ToF).
Лазеры VCSEL обеспечивают спектральное световое излучение с чрезвычайно узкой полосой пропускания.
Благодаря вертикальному световому излучению можно легко интегрировать дополнительные функции, такие как поляризационно-стабилизирующие элементы или микрооптика.
Как работает лазер VCSEL

Лазер VCSEL (полупроводниковый лазер поверхностного излучения с вертикальным резонатором) состоит из множества последовательно выращенных эпитаксиальных слоев. Верхний слой служит в качестве контактного слоя для инжекции тока. Далее следует первое из двух зеркал. Оно легировано углеродом и состоит из нескольких слоев арсенида алюминия-галлия (AlGaAs) с различным содержанием алюминия. Отражательная способность верхнего зеркала обычно составляет около 99 процентов.
После верхнего зеркала располагается оксидированная апертура. Она состоит из материала с высоким содержанием алюминия, который частично пассивируется окислением в парах воды. Внутренняя (непассивированная) часть оксидированной апертуры используется для сужения тока и оптического направления. Оксидированная апертура определяет множество важных электрооптических параметров лазера VCSEL.
Активная зона содержит квантовые ямы. Они служат для усиления мощности.
Под активной зоной расположено второе зеркало, которое легировано кремнием и значительно толще верхнего зеркала. Оно служит для того, чтобы отразить как можно больше света обратно в активную зону. Отражательная способность нижнего зеркала обычно составляет около 99,9 процента.
Одномодовые и многомодовые лазеры VCSEL: в чем их различия?

В настоящее время существует два типа лазеров VSCEL: одномодовый и многомодовый. Одномодовый лазер VCSEL создает световой луч с высокой спектральной чистотой и имеет меньшую дивергенцию и большую мощность когерентности, чем многомодовый лазер VCSEL. В то время как одномодовые лазеры VCSEL особенно часто применяются в многочисленных промышленных датчиках, очень компактные многомодовые лазеры VCSEL используются в основном в мобильной потребительской электронике и высокоинтегрированных датчиках.