TruPlasma DC 4000 (G2) 系列

脉冲式工艺确保光亮表面

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可靠处理苛刻工艺

TruPlasma DC 4000 (G2) 系列专为困难材料的直流反应溅射而开发。以脉冲式直流电工作的该款发生器经受住尤为严苛的 PVD （物理气相沉积）和 PECVD （等离子体增强化学气相沉积）工艺的考验，这些工艺对涂层质量与生产效率均有极高要求。紧凑型直流电源可在脉冲与偏压模式下使用——亦即两种设备集于同一外壳！

出色的涂层质量和生产效率

数字化信号处理确保工艺稳定并将受电弧限制的时间损失最小化。

即便工艺条件严苛，也能实现最佳结果

快速电弧处理与直流脉冲技术相结合，将基板损坏最小化。

轻松适配工艺

得益于宽泛的频率范围和可调反向电压。

紧凑又坚固的结构

集成水冷装置节省空间，减少维护工作。

硬质镀膜

通过施加功能性涂层，承受强大负荷的工件获得更高的表面硬度和静摩擦力以及更好的热稳定性与化学稳定性。TruPlasma DC 4000 (G2) 系列脉冲式发生器实现稳定的等离子体工艺和最佳涂层质量。

金属喷镀

借助 PVD 工艺可将薄如蝉翼的金属涂层施加到不同材料上，以赋予其最佳光学与电气特性。与工艺参数最佳适配的电源实现绝对均匀、毫无缺陷的涂层沉积。

太阳能电池制造

为了影响其电气特性，需要给太阳能电池、纯平显示屏及触摸屏镀膜导电材料 (TCO)。TruPlasma DC 4000 (G2) 系列脉冲式发生器的电弧能量极少，特别适合此类应用。

建筑玻璃

在 PVD 等离子体工艺中，大面积建筑玻璃镀膜对工艺电源提出了极高要求。TruPlasma DC 4000 (G2) 系列脉冲式发生器为取得高质量的镀膜成果提供理想前提。

	TruPlasma DC 4010 (G2)	TruPlasma DC 4020 (G2)	TruPlasma DC 4040 (G2)
输出端
标称功率	10 kW	20 kW	40 kW
最大输出电流	33 A eff	67 A eff	133 A eff
最高输出电压	1200 V eff	1200 V eff	1200 V eff
标称工作频率	0 kHz - 100 kHz	0 kHz - 100 kHz	0 kHz - 100 kHz
光弧参数
最大光弧比率	20000 1 次/秒	20000 1 次/秒	20000 1 次/秒
光弧能量	<0.3 mJ/kW	<0.3 mJ/kW	<0.3 mJ/kW
光弧处理时间	<0.1 µs	<0.1 µs	<0.1 µs
点火电压
附带助燃	1750 V	1750 V	1750 V
不带助燃	1250 V	1250 V	1250 V
标称连接数据
电源供应器电压	3x 360 V - 528 V	3x 360 V - 528 V	3x 360 V - 528 V
电源频率	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz
通信接口
模拟/数字	是	是	是
RS 232 / RS 485	是	是	是
PROFIBUS	是	是	是
Ethercat	否	否	否
DeviceNet	是	是	是
外壳
重量	65 kg	75 kg	150 kg
防护等级 IP	40	40	40
冷却要求
冷却介质	水	水	水
最高水压	7 bar	7 bar	7 bar
最小压差	3 bar	3 bar	3 bar
最小流量	8 l/min	8 l/min	16 l/min
冷却介质温度	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C
DC 连接数据
终端数量	3	3	3
标称电流/终端	25 A	45 A	85 A
通用
总效率	90 %	90 %	90 %
认证书/标准	CE	CE	CE
周围条件
外部温度	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
空气湿度	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %
气压计压力	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa