Высокочастотный генератор с воздушным охлаждением TruPlasma RF 1001 Air производит до 1000 ватт воспроизводимой энергии с очень точным разрешением — шагами по 100 мВт — и таким образом подходит для самых разных способов применения плазмы. Современные функции обработки, присущие запатентованной технологии TRUMPF Hüttinger, гарантируют надежность и лучшие результаты любого процесса: производство полупроводников, фотоэлементов или дисплеев.
Гарантирует оптимальную и быструю адаптацию частоты и надлежащее взаимодействие генератора и коммутирующей коробки.
Надежное управление даже самыми сложными и ранее не опробованными технологическими процессами гарантирует защиту изделия.
Многоуровневое, адаптируемое управление формой импульса обеспечивает лучшие результаты обработки в рамках современных плазменных процессов.
Универсальные возможности применения и замены генераторов при изменении технологического процесса или усовершенствовании.
Запатентованная технология CombineLine гарантирует равномерное распределение мощности благодаря полному выходному сопротивлению 50 Ом.
Среди изделий разных классов мощности внутри высокочастотной линейки найдутся подходящие варианты для любых технологических требований.
При изменении технологического процесса или системы адаптация длины кабеля не требуется.
Высокочастотные генераторы серии TruPlasma RF Air 1000 идеально подходят для плазменных процессов, таких как реактивное ионное травление (РИТ), атомно-слоевое осаждение (АСО), плазмохимическое газофазное осаждение (ПХГФО) и высокочастотное ионно-плазменное распыление. Помимо всего прочего, эти методы применяются при производстве полупроводниковых компонентов и микроэлектромеханических систем (МЭМС), а также нанесении слоев на плоские экраны и фотоэлементы.
Наиболее распространенные области применения TruPlasma RF Air серии 1000: сложные процессы ПХГФО, травления и высокочастотного ионно-плазменного распыления в производстве фотоэлементов.
В сфере производства полупроводников используются различные методы плазменной обработки, от снятия слоев путем сухого травления до метода плавающей зоны при изготовлении чистого кремния. Генераторы TruPlasma RF Air серии 1000 создают все необходимые условия для стабильного электропитания, оптимально адаптированного для конкретных процессов, что позволяет получать отличные результаты с высоким уровнем воспроизводимости.
Максимальная производительность и доступность
Универсальная, прочная конструкция высокочастотных генераторов позволяет повысить производительность и сократить производственные расходы.
Стабильные процессы, воспроизводимые результаты
Запатентованная технология CombineLine с интеллектуальной функцией калибровки в режиме реального времени гарантирует эксплуатационную готовность TruPlasma RF 1001 Air и надежно предотвращает колебания плазмы и загрязнения.
Компактность и универсальность
Благодаря компактной конструкции (вставной отсек ½ -19 дюйм) высокочастотный генератор занимает мало места и идеально вписывается как в новую, так и в уже эксплуатируемую установку. Интеграцию упрощают многочисленные интерфейсы (аналоговый интерфейс с изменяемой конфигурацией, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCat).
С точностью до десятичного разряда
Точное дозирование энергии с шагом в 100 мВт позволяет достичь при помощи TruPlasma RF 1001 Air лучших результатов даже при использовании в самых сложных современных процессах, таких как АСО. Точная регулировка мощности высокочастотного генератора гарантирует воспроизводимость полупроводниковых пластин.
Лучшие результаты технологического процесса благодаря современным функциям обработки
Цифровые функции управления, например, продуманная автоматическая настройка частоты 2.0, управление дугой и многоуровневая пульсация, позволяют оптимально адаптировать высокочастотный генератор к соответствующему процессу.
Легкая адаптация к производственным условиям заказчика
Предлагаются генераторы разных классов мощности и частоты, но при этом универсальной конструкции, что упрощает замену при внесении изменений в технологический процесс. Изменение длины кабеля больше не требуется.
Управление всей высокочастотной системой через TRUMPF SystemPort
SystemPort позволяет использовать замкнутый контур регулирования благодаря измерению РЧ-сигнала непосредственно на входе и выходе коммутирующей коробки, за счет чего высокочастотному генератору постоянно доступны все результаты измерений. Технологические параметры непрерывно контролируются, что обеспечивает защиту коммутирующей коробки и раннее распознавание дуги генератора.
Модуль синхронизации создает возможность регулируемой, надежной синхронизации нескольких генераторов в комплексных плазменных системах.
Продуманное управление дугой обеспечивает оптимальный контроль процесса плазменной обработки. Целенаправленное распознавание дуги повышает производительность и защищает изделие и установку от повреждений.
Новейшие процессы плазменной обработки требуют большей универсальности в импульсном режиме. Любую форму импульса можно получить посредством многоуровневого, регулируемого импульсного режима. Возникает совершенно новый для физики плазмы механизм управления, способствующий лучшим результатам обработки.
Запатентованная автоматическая настройка частоты обеспечивает синхронную и быструю адаптацию частоты генератора и коммутирующей коробки. Лучшие результаты технологического процесса и точная воспроизводимость гарантированы.
Пользовательский веб-интерфейс
При помощи интегрированного веб-сервера можно пользоваться высокочастотной системой и обновлять программное обеспечение через веб-браузер.
TruControl Power
Программное обеспечение системы управления с удобным интерфейсом упрощает ввод в эксплуатацию и способствует надежному контролю высокочастотного генератора, а также всей РЧ-системы TRUMPF в процессе эксплуатации.
В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.
