Выбор страны/региона и языка
Плазменное возбуждение

TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13)

Максимальная производительность благодаря стабильным процессам

Высокочастотные генераторы нового поколения

В процессе нанесения слоев или структурирования поверхностей определяющее значение имеет стабильное и воспроизводимое электропитание плазменного устройства. Высокочастотные генераторы TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13), оснащенные современной силовой электроникой, способны создать оптимальные условия для этого: благодаря постоянной выходной мощности и точности регулирования они гарантируют лучшие результаты при высокой производительности.

Высокая точность и воспроизводимость

Технология CombineLine: оптимальные показатели процесса благодаря реальному полному выходному сопротивлению 50 Ом.

Независимость от длины высокочастотного кабеля

Корректировка длины кабелей больше не требуется — абсолютное новшество в области высокочастотного оборудования!

Прочность и безопасность

Технология CombineLine: надежная защита от отраженной мощности при неточном согласовании сопротивлений.

Эффективность и экономичность

КПД до 80 % сокращает расходы на электроэнергию до 50 %.

Концепция охлаждения без принудительного вентилирования

Отсутствие нагрева или загрязнения окружающего воздуха, что дает возможность эксплуатации генератора в чистых помещениях.

Идеально подходит для нанесения покрытий на плоские экраны

Высокочастотные генераторы TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13) идеально подходят для плазменной обработки, например для реактивного ионного травления РИТ, атомно-слоевого осаждения (АСО), плазмохимического газофазного осаждения (ПХГФО) и высокочастотного ионно-плазменного распыления. Помимо всего прочего, эти методы применяются при производстве полупроводниковых компонентов и микроэлектромеханических систем (МЭМС), а также нанесении слоев на плоские экраны и фотоэлементы.

Основная область применения: производство фотоэлементов

Наиболее распространенные области применения TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13): сложные процессы ПХГФО, травления и высокочастотного ионно-плазменного распыления в производстве фотоэлементов.

Производство полупроводников

В сфере производства полупроводников используются различные методы плазменной обработки, от снятия слоев путем сухого травления до метода плавающей зоны при изготовлении чистого кремния. Генераторы TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13) создают все необходимые условия для стабильного электропитания, оптимально адаптированного для конкретных процессов, что позволяет получать отличные результаты с высоким уровнем воспроизводимости.

Оптимальная адаптация к вашему технологическому процессу

Интеллектуальная система синхронизации TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13) в режиме реального времени быстро и напрямую корректирует уровень полного сопротивления до 50 Ом. Запатентованная технология CombineLine надежно защищает от колебаний плазмы и загрязнений, а концепция охлаждения без принудительного вентилирования снижает частоту отказов, повышает эффективность и делает возможным применение системы в чистых помещениях.

Максимальная эффективность и универсальность

КПД до 80 % позволяет снизить расходы на электроэнергию до 50 % по сравнению с обычными генераторами. Многочисленные интерфейсы (аналоговый интерфейс с изменяемой конфигурацией, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) упрощают интеграцию в готовые установки — благодаря встроенным источникам питания с большим числом уровней напряжения (в диапазоне 200–480 В пер. тока) техническая адаптация не требуется. Несмотря на большую плотность мощности, устройство обладает компактной конструкцией (вставной отсек 19 или ½-19 дюймов), благодаря чему его интеграция в любую готовую производственную установку не требует много места.

TRUMPF SystemPort

SystemPort позволяет использовать замкнутый контур регулирования благодаря измерению РЧ-сигнала непосредственно на входе и выходе коммутирующей коробки. Для РЧ-генератора доступны все результаты измерения. Это позволяет лучше контролировать технологические параметры, защищает коммутирующую коробку и обеспечивает раннее распознавание дуги генератора. Таким образом, один интерфейс генератора обеспечивает управление всей РЧ-системой.

Различные опции дают возможность оптимальной адаптации высокочастотного генератора к вашей цели применения.

Автоматическая настройка частоты

Запатентованное решение для автоматической настройки частоты обеспечивает синхронную и быструю адаптацию частоты и гарантирует оптимальное взаимодействие генератора и коммутирующей коробки. Благодаря этой запатентованной технологии локальный минимум больше не является препятствием: РЧ-система настраивается на оптимальные параметры, что позволяет получать наилучшие результаты технологических процессов с высокой степенью воспроизводимости.

Управление высокочастотной дугой

Продуманная система управления дугой представляет собой идеальный модуль, обеспечивающий наилучший контроль за плазменным процессом. Целенаправленное распознавание дуги гарантирует максимально возможную производительность и одновременно с этим защищает изделие и установку.

Все компоненты РЧ-системы TRUMPF оптимально согласованы по своим характеристикам.

Коммутирующая коробка TruPlasma Match серии 1000 (G2/13)
Согласующие четырехполюсники TruPlasma Match обеспечивают оптимальную передачу мощности генератора в плазменный разряд. Эксплуатация коммутирующей коробки может осуществляться в автономном режиме или через интеллектуальную систему связи между генератором и коммутирующей коробкой, так называемый порт SystemPort.
Ведущие осцилляторы
Ведущие осцилляторы позволяют стабилизировать и оптимизировать критические синхронные процессы плазменной обработки. Встроенный цифровой синтезатор частот и фаз поддерживает эти параметры на стабильном уровне и позволяет настраивать фазовое положение с очень малой величиной шага. На выбор доступны разнообразные исполнения ведущих осцилляторов для частоты 13,56 МГц, а также различных сочетаний частот.
Высокочастотный переключатель
Высокочастотный переключатель позволяет многократно использовать высокочастотный генератор на различных станциях плазменной обработки, например для электропитания многостадийных процессов или в системах с разными точками питания. Ассортимент включает в себя высокочастотные переключатели двух классов мощности с двумя, тремя или четырьмя выходами.
Коаксиальный кабель
Компания TRUMPF Hüttinger предлагает коаксиальные кабели для передачи высокочастотной мощности, конструкция которых специально предназначена для эксплуатации в системах 50 Ом.

Идеально настроенные компоненты РЧ-системы TRUMPF

Процессы плазменной обработки подразумевают комплексную переменную нагрузку, требующую непрерывного подвода электропитания от генератора. Его обеспечивают активные согласующие четырехполюсники, так называемые коммутирующие коробки, которые бесперебойно выполняют точную корректировку параметров до оптимального сопротивления 50 Ом. Так создается системное решение с идеально согласованными компонентами — РЧ-система TRUMPF. С помощью различных интерфейсов, например EtherCAT, вы можете с легкостью интегрировать генератор и коммутирующую коробку в имеющиеся технологические условия и добиться оптимального решения благодаря интеллектуальной системе связи между генератором и коммутирующей коробкой, так называемому порту SystemPort.

В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.

Контакты
Сервис
Договоры на сервисное обслуживание Узнать больше Техническая клиентская служба Узнать больше Обучение Узнать больше Оригинальные детали Узнать больше
Загрузки
Сервисное обслуживание и контакты