Идеальный вариант для технологий HIPIMS
Генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) можно без каких-либо изменений использовать в качестве альтернативы генераторам постоянного тока для ионно-плазменного распыления в имеющихся магнетронных системах. С их помощью возможно изготовление твердосплавных покрытий повышенной стойкости к коррозии и износу, поэтому такие генераторы идеально подходят для магнетронного распыления импульсами высокой мощности.
Бесперебойная подача импульсов пиковой мощности до 4 мегаватт создает плазму экстремально высокой плотности с мощными ионными потоками.
Простая адаптация к имеющимся катодным системам и условиям технологического процесса позволяет без труда интегрировать генератор в работающую установку.
Новейшая разработка в сфере импульсных процессов вакуумного напыления — технология HIPIMS — создает твердосплавные покрытия повышенной стойкости к коррозии и износу.
Возможно применение в системах постоянного тока, при этом дополнительный генератор постоянного тока не требуется.
Твердосплавные покрытия
Нанесение функциональных слоев на заготовки, испытывающие большие нагрузки, способствует их поверхностной закалке и повышает трение сцепления, термическую и химическую устойчивость. Генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) обеспечивают стабильность процессов плазменной обработки и, таким образом, выдающееся качество слоев.
Полупроводники/фотоэлектрическая энергетика
В сфере фотоэлектрической энергетики и производства полупроводников очень часто требуются системы подачи энергии, изготовленные по спецификации клиента. Генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) можно отрегулировать в соответствии с текущим процессом, чтобы добиться отличных характеристик нанесения покрытия и высокой производительности.
Покрытие стеклянных поверхностей
Для нанесения слоев на поверхности из архитектурного стекла большой площади с применением вакуумного напыления требуется стабильная технологическая система электропитания. Генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) создают идеальные условия для получения высококачественного покрытия.
Оптимальные результаты технологического процесса
Лазер высокой пиковой мощности создает высокоионизированную плазму и обеспечивает мощный ионный поток. Это позволяет изготавливать надежно сцепленные и герметичные пленки без капель. В сочетании с поляризованными подложками генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) дают превосходные результаты при травлении и заполнении бороздок.
Цифровая система управления дугой
Возможность настройки длительности и частоты импульсов, расширенные параметры мощности и цифровая система управления дугой с очень низким уровнем энергии позволяют выполнять ионно-плазменное распыление без капель, сводят к минимуму дефекты пленки и гарантируют высокое качество слоев и высокую скорость осаждения.
Великолепные покрытия
Высокий уровень энергии и напряжение до 2 кВ позволяют изготавливать высококачественные покрытия как в небольших лабораториях, так и на крупных промышленных установках. Импульсы длительностью до 5 мс и частота до 10 кГц повышают скорость осаждения и помогают снизить общие эксплуатационные расходы.
Высокая стабильность технологического процесса
Регулировка мощности с настраиваемой частотой обеспечивает стабильность параметров осаждения даже во время сложных реактивных процессов. Процесс остается стабильным в течение многих часов и дней без необходимости вмешательства.
Компактный блок
Генераторы серии TruPlasma Highpulse представляют собой единый блок компактных размеров. Внешний источник питания постоянного тока не требуется, охлаждение полностью водяное, что позволяет устанавливать их в чистых помещениях.
Различные опции дают возможность оптимальной адаптации генераторов TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) к вашей цели применения.
Цифровая система управления дугой с очень низким уровнем энергии дуги повышает качество слоев и скорость осаждения.
PVD Power
Удобное для эксплуатации многоязычное программное обеспечение PVD Power предлагает разнообразные возможности управления, изменения конфигурации и диагностики с целью оптимизации качества технологических процессов и эффективного устранения неисправностей: индикация фактических значений всех существенных технологических параметров, предупреждений и аварийных сообщений, предварительная установка заданных значений оператором, регистрация и визуализация важнейших производственных параметров с точным указанием времени (функция осциллографа).
В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.
