Плазмогенераторы

Полупроводниковые плазменные генераторы TruPlasma серии MW оснащены инновационной платформой и способны создавать плазму максимальной плотности, соответствующей самым строгим требованиям к технологии. С помощью технологии Nano-Pulse возможна оптимальная настройка параметров плазмы для соответствующих задач.

Благодаря возможности выбора формы выходных сигналов и продуманной функции управления дугой генераторы TruPlasma Bipolar серии 4000 (G2.1) обеспечивают превосходные результаты при производстве фотоэлементов и полупроводников, изготовлении декоративных и износостойких покрытий, а также при нанесении слоев на архитектурное стекло. Генераторы новейшего поколения прекрасно подходят для сложных процессов плазменной обработки, таких как реактивное ионно-плазменное напыление, вакуумное напыление и ПХГФО.

При использовании среднечастотных генераторов TruPlasma MF серии 7000 (G2) ваш технологический процесс всегда будет под контролем. Результат — выдающееся качество слоев и высочайшая производительность даже при трудоемком нанесении покрытия на поверхность большой площади. Кроме того, благодаря максимальному КПД, превышающему 90 %, эти источники электропитания новейшего поколения чрезвычайно экономичны при эксплуатации.

Генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) позволяют создавать твердосплавные покрытия повышенной стойкости к коррозии и износу и идеально подходят для использования в системах HIPIMS. В сочетании с поляризованной подложкой генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) подходят также для технологических процессов производства полупроводников, таких как заполнение бороздок, предварительная обработка поверхностей и травление.

TruPlasma DC серии 4000 (G2) объединяет превосходное качество дуговой обработки TRUMPF Hüttinger с преимуществами технологии импульсного постоянного тока. Вы получаете лучшие результаты нанесения слоев с меньшим количеством дефектов и повышенной скоростью осаждения. Итог — идеальные поверхности и высокая производительность.

Новое поколение генераторов постоянного тока TruPlasma DC серии 3000 (G2) подходит для многих процессов ионно-плазменного распыления с применением постоянного тока. Благодаря прогрессивной системе управления дугой и встроенному водяному охлаждению генераторы постоянного тока могут быть выгодной альтернативой генераторам пульсирующего постоянного тока. Кроме того, компактность конструкции упрощает их встраивание в готовые установки.

Преимущества генераторов TruPlasma Arc серии 3000 наиболее ярко проявляются при нанесении твердосплавных и декоративных покрытий. Компактная конструкция и воздушное охлаждение позволяют оптимально использовать полезную площадь и упрощают интеграцию в новые или уже действующие системы.

Высокочастотный генератор с воздушным охлаждением TruPlasma RF 1001 Air производит до 1000 ватт воспроизводимой энергии с очень точным разрешением — шагами по 100 мВт — и таким образом подходит для самых разных способов применения плазмы. Современные функции обработки, присущие запатентованной технологии TRUMPF Hüttinger, гарантируют максимальную эксплуатационную готовность и лучшие результаты любого процесса: производство полупроводников, фотоэлементов или дисплеев.

TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13) — это высокочастотные генераторы новейшего поколения. Благодаря инновационным функциям, таким как запатентованная технология коммутации CombineLine и измерение технологических параметров в режиме реального времени, бесперебойное электропитание гарантировано даже для очень сложных процессов в области плазменной обработки — оптимальное условие воспроизводимости результатов и высокой производительности.

Мощные высокочастотные генераторы TruPlasma RF серии 3000 отличаются высочайшей эффективностью и стабильностью технологических процессов. Благодаря этому они идеально подходят для сложных процессов плазменной обработки, таких как производство плоских экранов, фотоэлементов и полупроводников. Коммутирующие коробки, точно соответствующие параметрам генератора и используемые для корректировки полного сопротивления, обеспечивают оптимальную и стабильную передачу мощности из генератора в устройство плазменной обработки.

Максимальная производительность ваших технологических процессов: генераторы TruPlasma VHF серии 3000 основаны на инновационной платформенной концепции, соответствующей самым высоким требованиям к технологическому процессу. Модульная структура генераторов сверхвысоких частот, оснащенная исключительно водной системой охлаждения, позволяет регулировать выходную мощность до 80 кВт, и все это на минимальной занимаемой площади!

Оптимальное ведение процесса плазменной обработки требует точной адаптации выходного сопротивления высокочастотного генератора. С этой задачей справляются коммутирующие коробки TruPlasma Match серии 1000 (G2/13), которые выполняют функцию связующего звена между генератором и технологическим процессом. Так создается комплексная технологическая система электропитания — РЧ-система TRUMPF.