La epitaxia es un proceso en el que se crean capas monocristalinas, p. ej., de silicio, sobre un sustrato monocristalino del mismo material. Los sustratos se encuentran sobre un susceptor de grafito calentado por inducción, que impone unas altas exigencias de homogeneidad de la temperatura. La epitaxia se utiliza, entre otros, en la fabricación de LED. Los generadores de frecuencia media de TRUMPF Hüttinger aportan la energía necesaria para el proceso de manera estable y fiable.
Epitaxia
El crecimiento más limpio capa por capa
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