TRUMPF Laser Amplifier

โมดูลเมล็ดเลเซอร์กำลังสูง (HPSM) ประกอบด้วยเลเซอร์เมล็ดสองตัว ซึ่งสร้างพัลส์เลเซอร์ขาออกกำลังเพียงไม่กี่วัตต์ และมีส่วนประกอบทางออปติกทั้งแบบแอ็กทีฟและพาสซีฟจำนวนมาก เพื่อปรับรูปทรงลำแสงและให้ได้ความยาวพัลส์ที่เหมาะสมที่สุด แสงจะขยายล่วงหน้าครั้งแรกด้วยแอมพลิฟายเออร์ตัวแรกจนถึงระดับกำลังประมาณ 100 วัตต์ เลเซอร์เมล็ดได้รับการป้องกันจากการสะท้อนกลับด้วยกลไกความปลอดภัย ซึ่งช่วยเพิ่มความเสถียรของระบบโดยรวมและทำให้สามารถรักษากำลัง EUV ที่คงที่ได้ตามต้องการ

สายการขยายพลังงานเลเซอร์กำลังสูง (HPAC) ประกอบด้วยเรโซเนเตอร์สี่ตัวที่ทำหน้าที่เพิ่มกำลัง โดยเชื่อมต่อกันด้วยองค์ประกอบที่ใช้ควบคุมและส่งลำแสง แต่ละเรโซเนเตอร์ได้รับการปรับให้เหมาะสมกับระดับการขยายพลังงาน เช่น ระบบพัดลม การกระตุ้นด้วยคลื่นความถี่วิทยุ ส่วนผสมของก๊าซ และเส้นทางนำแสง วงจรหล่อเย็นสามชุดที่แตกต่างกันช่วยให้ระบบคงความเสถียรได้อย่างต่อเนื่อง พัลส์ระยะสั้นทำให้ได้กำลังขาออกสูงสุดในระดับเมกะวัตต์ ระบบวัดค่าทางแสงแบบออนไลน์ที่ครอบคลุมช่วยให้สามารถตรวจวัดลำแสงได้อย่างต่อเนื่อง

ระบบส่งลำแสง (BTS) ซึ่งประกอบด้วยแผ่นฐาน เพริสโคป และกระจก ทำหน้าที่ส่งลำแสงเลเซอร์ไปยังห้องสุญญากาศที่มีหยดดีบุก ระยะทางสูงสุดถึง 30 เมตร โดยพื้นฐานแล้ว ความเสถียรทางกลของระบบภายใต้ภาระกำลังสูง รวมถึงความแน่นหนาของเส้นทางลำแสง มีความสำคัญต่อการลดการดูดกลืนและการปนเปื้อนให้เหลือน้อยที่สุด

FFA ประกอบด้วยสองส่วนหลัก ได้แก่ แพลตฟอร์มออปติกและชุดโฟกัส เพื่อสร้างการระเบิดของพลาสมาที่เหมาะสมที่สุด พัลส์เลเซอร์ต้องตกกระทบหยดดีบุกเกือบทั้งหมด เนื่องจากหยดดีบุกมีขนาดเล็กกว่าลำแสงเลเซอร์ จึงมีการแยกพัลส์ออกเป็นพัลส์นำและพัลส์หลักภายในแพลตฟอร์มออปติก เพื่อปรับรูปให้เหมาะกับการสร้างแสง EUV พัลส์นำจะยิงกระทบหยดดีบุกด้วยกำลังที่ต่ำกว่า ทำให้หยดดีบุกขยายตัวเป็นแผ่นบางคล้ายจาน ซึ่งช่วยเพิ่มพื้นที่ผิว จากนั้น พัลส์หลักที่ตามมาจะถูกดูดซับโดยฟิล์มของเหลวที่เกิดขึ้นและสร้างพลาสมาซึ่งเป็นแหล่งกำเนิดของแสง EUV ด้วยกระบวนการนี้ พลังงานเลเซอร์ 40 กิโลวัตต์จึงถูกใช้ได้อย่างมีประสิทธิภาพและรับประกันการสร้างแสงพลาสมาที่มีเสถียรภาพสำหรับการฉายแสงบนเวเฟอร์ ชุดโฟกัสทำหน้าที่ปรับโฟกัสของแสงเลเซอร์ให้แม่นยำที่สุดบนหยดดีบุก