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Excitaciones de plasma

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

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Control total del proceso

Con la TruPlasma Serie MF 7000 (G2) tendrá su proceso siempre bajo control: gracias a su inigualable gestión de arco y a su comportamiento de encendido, los generadores son ideales como alimentación eléctrica para recubrimientos de gran superficie (Large Area Coating) y procesos reactivos exigentes en la pulverización catódica por doble magnetrón. Con un pico de eficiencia superior al 90 %, así como una gestión especialmente eficiente del agua refrigerante, al mismo tiempo permiten un funcionamiento sumamente rentable.

Calidad de capa y productividad máximas

Resultados excelentes y altas tasas de recubrimiento incluso en los procesos reactivos más más exigentes.

Máxima eficiencia

Con un pico de eficienciasuperior al 90 %, se alcanzan grados de rendimiento en funcionamiento de más del 80 %.

Alimentación eléctrica estable en todas las condiciones ambientales

Función fiable incluso con altas temperaturas del agua de refrigeración y bajas presiones diferenciales.

Utilizables en todo el mundo

Tensión de conexión variable, por lo que no son necesarias adaptaciones técnicas.

Excelente alimentación eléctrica de frecuencia media

Recubrimiento de gran superficie (Large Area Coating) de vidrio arquitectónico: materiales exigentes como el SiOx plantean requisitos muy elevados a la estabilidad de la alimentación eléctrica.

Aplicación de las capas más finas

Recubrimiento de pantallas planas y paneles táctiles: mediante la pulverización catódica por doble magnetrón se aplican capas de AlxOx extremadamente finas (nm), resistentes y homogéneas.

Fabricación de células solares

Recubrimiento de vidrio solar: la alimentación eléctrica estable del TruPlasma MF Serie 7000 (G2) posibilita la aplicación homogénea de capas de TCO extremadamente finas mediante pulverización catódica por frecuencia media.

Rentabilidad y flexibilidad máximas

Los altos grados de rendimiento en funcionamiento y el concepto de refrigeración flexible de la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantizan la máxima rentabilidad a lo largo de toda la vida útil. La alimentación eléctrica se mantiene estable en todo momento, incluso en condiciones ambientales y de instalación difíciles: las temperaturas elevadas del agua de refrigeración, la presión del agua baja y la humedad del aire elevada no merman la calidad del proceso. Gracias a su amplio margen de tensión de servicio, puede utilizar el generador de frecuencia media en todo el mundo sin adaptaciones técnicas.

Control preciso del proceso

Mediante unos pocos ajustes de parámetros puede controlar con precisión la calidad de capa y la productividad. De este modo hallará el equilibrio óptimo entre la sensibilidad del tratamiento por arco y el rendimiento deseado. Además, el gran número de interfaces y el cómodo software de mando TruControl Power garantizan una configuración y un diagnóstico efectivos.

Gestión de arco superior

Las elevadas velocidades de reacción y la consiguiente reducción de las energías residuales garantizan unos procesos estables y unas velocidades de pulverización catódica máximas. El generador detecta e impide de forma fiable la formación del arco y la fatiga térmica en los objetivos; el resultado son unas capas absolutamente homogéneas en toda la superficie del sustrato. Además, la gestión de arco rápida y fiable permite el correcto funcionamiento del generador en la zona de transición regulada por tensión (transition mode).

Para la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) están disponibles múltiples opciones que le permiten adaptar el generador de frecuencia media a los requisitos de su aplicación.

Deshumidificación activa del armario de distribución

Para entornos con una humedad del aire muy elevada, el armario de distribución del generador puede equiparse con una unidad de deshumidificación activa. Para su funcionamiento es necesaria una regulación del agua de refrigeración.

Puerta del armario de distribución

La puerta del armario de distribución está disponible opcionalmente con un ángulo de apertura de 180° (el estándar es de 130°C).

Preparado para todos los casos

El Profinet, el Profibus, el EtherCAT y las interfaces analógicas y digitales permiten una conexión sencilla de la TruPlasma MF Serie 7000 a las instalaciones existentes.

Gestión de arco ultrarrápida

La TruPlasma MF Serie 7000 (G2) puede ser equipada con una gestión de arco especialmente sensible (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, el estándar es ≤ 10 mJ/kW). Para el UltraFastTreatment se requiere la categoría de seguridad 3.

Ayuda de encendido

Reduce la formación de arco y la fatiga térmica. La tensión de encendido y el tiempo de rampa son regulables de forma individual.

Margen de frecuencia ampliado

Los generadores de frecuencia media con una potencia de hasta 100 kW están disponibles opcionalmente con un margen de frecuencia ampliado de 20 - 70 kHz (el estándar es 20 - 50 kHz).

TruControl Power

El software de mando multilingüe de fácil manejo TruControl Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico.

Puede seleccionar los componentes del sistema adecuados para adaptar de forma óptima el TruPlasma MF Serie 7000 (G2) a su entorno del sistema.

Cables de potencia para frecuencia media
Para la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) recibirá cables de potencia para frecuencia media optimizados de TRUMPF Hüttinger. Estos garantizan el rendimiento óptimo del sistema en todo momento.

Dependiendo del país, es posible que existan diferencias con respecto a esta gama de productos y a estos datos. Nos reservamos el derecho a realizar modificaciones en la técnica, equipamiento, precio y oferta de accesorios. Póngase en comunicación con su persona de contacto en su zona para saber si el producto está disponible en su país.

PDF - 2 MB
Gestión de arc
La formación de arc durante la pulverización por magnetrón FM: Un problema bien conocido en la pulverización catódica por magnetrón reactiva es la formación de arc en los cátodos.
PDF - 941 KB
Sinusoidal o rectangular
Desde la introducción de la pulverización catódica por magnetrón dual (DMS) para capas altamente aislantes, existe la posibilidad de elegir entre una alimentación eléctrica de impulsos de onda cuadrada o de onda sinusoidal.
PDF - 1 MB
Modo de transición regulado por tensión
La pulverización catódica reactiva sigue siendo un método de gran éxito en la industria moderna para crear recubrimientos aislantes y recubrimiento duros. En comparación con la evaporación, la pulverización catódica ofrece las ventajas del recubrimiento asistido por iones, lo que lo hace atractivo para la industria a pesar de los significativos costes de instalación y electricidad.

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