Générateurs de plasma

Les générateurs de plasma à semi-conducteurs de la Série TruPlasma MW reposent sur un concept de plateforme innovant et génèrent des densités de plasma très élevées pour des processus aux exigences particulières. Les nanoimpulsions permettent de régler de manière optimale les nombreux paramètres du plasma pour l'application souhaitée.

Les blocs d'alimentation électrique de processus de la gamme TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1), avec des signaux de sortie souplement configurables et une gestion d'arc perfectionnée, fournissent des résultats excellents pour la fabrication de cellules photovoltaïques et de semi-conducteurs, l'application de couches décoratives et résistantes à l'usure ainsi que le revêtement de verre architectural. Les générateurs de dernière génération sont parfaits pour les processus plasma exigeants tels que la pulvérisation réactive, le PVD et le PECVD.

Avec les générateurs MF TruPlasma Série MF 7000 (G2), vous gardez toujours le plein contrôle de votre processus. Résultat : des revêtements d'une qualité exceptionnelle et une productivité maximale, même pour des applications de revêtement exigeantes sur de grandes surfaces. Avec des rendements de pointe supérieurs à 90 %, ces alimentations électriques de dernière génération sont également très économiques à utiliser.

Les blocs d'alimentation de processus de la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) permettent d'obtenir des revêtements en matière dure particulièrement résistants à la corrosion et à l'usure ; ils représentent le choix numéro un pour les applications HIPIMS. En combinaison avec des substrats polarisés, la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) peut également être utilisée pour des applications de semi-conducteurs, comme le comblement d'interstice, le prétraitement de surfaces et la gravure.

La gamme TruPlasma DC Série 4000 (G2) associe l'excellente gestion d'arc de TRUMPF Hüttinger aux avantages de la technologie du courant continu pulsé. Vous obtenez ainsi de meilleurs résultats de revêtement, avec moins de défauts, pour une vitesse de déposition plus élevée. Résultat : des surfaces parfaites et un rendement soutenu.

Nouvelle génération de générateurs à courant continu, la gamme TruPlasma DC Série 3000 (G2) convient à un grand nombre de processus de pulvérisation à courant continu. Grâce à leur gestion d'arc innovante et à leur refroidissement par eau intégré, ces générateurs à courant continu représentent une alternative intéressante aux générateurs à courant continu pulsé. Leur construction très compacte permet en outre de les intégrer facilement à des applications existantes.

Les générateurs TruPlasma Arc Série 3000 convainquent avant tout pour les revêtements décoratifs et en matériau dur. Leur construction compacte et le refroidissement par air permettent d'optimiser l'utilisation de votre précieuse surface utile et facilitent l'intégration dans des systèmes nouveaux ou existants.

Le générateur HF TruPlasma RF 1001 Air refroidi par air fournit jusqu'à 1 000 W d'énergie HF ultraprécise et reproductible, avec une résolution extrêmement fine – par pas de 100 mW – ce qui en fait l'équipement parfait pour les applications plasma les plus diverses. Pour la fabrication de semi-conducteurs comme pour celle de cellules photovoltaïques ou d'écrans, la technologie TRUMPF Hüttinger brevetée garantit en toutes circonstances une disponibilité maximale et des résultats parfaits grâce à des fonctions de process modernes.

Les appareils TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) sont des générateurs HF de dernière génération. Grâce à des fonctions innovantes, comme la technologie de couplage brevetée CombineLine ou la mesure en temps réel de tous les paramètres de processus, la sécurité de l'alimentation électrique est garantie même dans les procédés plasma les plus exigeants – des conditions optimales pour obtenir des résultats reproductibles et une productivité élevée.

Les puissants générateurs HF de la gamme TruPlasma RF Série 3000 se distinguent par leur efficacité maximale et la stabilité de processus qu'ils permettent. Ils conviennent donc parfaitement aux processus plasma exigeants, tels que ceux utilisés pour la fabrication des écrans plats, des cellules photovoltaïques ou des semi-conducteurs. Des réseaux adaptatifs conçus spécifiquement en fonction du générateur assurent à tout moment un transfert de puissance optimal et stable du générateur au plasma.

Puissance maximale pour votre processus : les générateurs TruPlasma VHF Série 3000 sont basés sur un concept de plateforme innovant, qui répond même aux exigences les plus élevées. La structure modulaire des générateurs VHF, refroidie exclusivement par eau, permet un changement d'échelle de la puissance de sortie jusqu'à 80 kW – et ce, dans un espace très réduit !

Pour un guidage optimal du processus plasma, il faut adapter avec précision l'impédance de sortie du générateur HF. C'est ce que permettent les réseaux adaptatifs de la gamme TruPlasma Match Série 1000 (G2/13), en faisant le lien entre le générateur et le processus. Vous obtenez ainsi une solution complète pour l'alimentation électrique de vos processus – le système RF TRUMPF.