La technologie bipolaire au service des plus hautes exigences
L'alimentation électrique des processus par le TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) a été conçue spécialement pour le revêtement au plasma à l'aide des procédés PVD, PECVD et de pulvérisation réactive. Grâce à la forme variable de leur signal de sortie et à leur gestion de l'arc perfectionnée, ces pulseurs bipolaires de dernière génération sont très souples d'utilisation. Pour la fabrication de semi-conducteurs et de cellules photovoltaïques aussi bien que pour le revêtement de verre architectural, vous pouvez compter sur des performances maximales en matière de qualité et de taux de revêtement.
Gestion de l'arc entièrement numérique pour une qualité de revêtement et une productivité maximales.
Simplicité d'adaptation à des processus différents grâce à la variation du signal de sortie.
Courant continu, courant continu pulsé et mode bipolaire : économisez sur les coûts grâce à de multiples options de réglage.
Pas besoin de composants externes, d'où un encombrement très réduit.
Alimentation électrique très haut de gamme
Les domaines d'utilisation typiques sont la production de semi-conducteurs et de cellules photovoltaïques, le revêtement de verre architectural et la création de revêtements décoratifs et résistants à l'usure de très haute qualité. Les procédés PVD et PECVD sont notamment utilisés pour ces processus.
|
TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
Comparer le produit
|
TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
Comparer le produit
|
TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
Comparer le produit
|
TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
Comparer le produit
|
TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
Comparer le produit
|
|
|---|---|---|---|---|---|
| Sortie | |||||
| Puissance nominale | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
| Courant de sortie maximal | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
| Tension de sortie maximale | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
| Fréquence de fonctionnement nominale | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
| Paramètre arc | |||||
| Taux arc maximum | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Energie Arc | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW |
| Tensions d'allumage | |||||
| avec dispositif d'aide à l'allumage | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
| Données de raccordement réseau | |||||
| Tension de réseau | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
| Fréquence du réseau | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Facteur de puissance | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Interfaces de communication | |||||
| Analogique/numérique | Oui | Oui | Oui | Oui | Oui |
| RS 232/RS 485 | Oui | Oui | Oui | Oui | Oui |
| PROFIBUS | Oui | Oui | Oui | Oui | Oui |
| EtherCAT | Oui | Oui |
Oui
- |
Oui | Oui |
| DeviceNet | Oui | Oui |
Oui
- |
Oui | Oui |
| Enceinte | |||||
| Largeur | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
| Hauteur | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
| Profondeur | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
| Poids | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
| Protection IP | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Exigences de refroidissement | |||||
| Médium de refroidissement | Eau | Eau | Eau | Eau | Eau |
| Pression hydrostatique max. | 7 bar(s) | 7 bar(s) | 7 bar(s) | 7 bar(s) | 7 bar(s) |
| Différence de pression max. | 3 bar(s) | 3 bar(s) | 3 bar(s) | 3 bar(s) | 3 bar(s) |
| Débit min. | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
| Température du liquide de refroidissement | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Général | |||||
| Rendement global | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
| Conditions d'environnement | |||||
| Température extérieure | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Humidité de l'air | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Pression barométrique | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
|
TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
|
|
|---|---|---|---|---|---|
| Sortie | |||||
| Puissance nominale | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
| Courant de sortie maximal | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
| Tension de sortie maximale | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
| Fréquence de fonctionnement nominale | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
| Paramètre arc | |||||
| Taux arc maximum | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Energie Arc | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW |
| Tensions d'allumage | |||||
| avec dispositif d'aide à l'allumage | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
| Données de raccordement réseau | |||||
| Tension de réseau | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
| Fréquence du réseau | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Facteur de puissance | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Interfaces de communication | |||||
| Analogique/numérique | Oui | Oui | Oui | Oui | Oui |
| RS 232/RS 485 | Oui | Oui | Oui | Oui | Oui |
| PROFIBUS | Oui | Oui | Oui | Oui | Oui |
| EtherCAT | Oui | Oui |
Oui
- |
Oui | Oui |
| DeviceNet | Oui | Oui |
Oui
- |
Oui | Oui |
| Enceinte | |||||
| Largeur | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
| Hauteur | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
| Profondeur | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
| Poids | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
| Protection IP | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Exigences de refroidissement | |||||
| Médium de refroidissement | Eau | Eau | Eau | Eau | Eau |
| Pression hydrostatique max. | 7 bar(s) | 7 bar(s) | 7 bar(s) | 7 bar(s) | 7 bar(s) |
| Différence de pression max. | 3 bar(s) | 3 bar(s) | 3 bar(s) | 3 bar(s) | 3 bar(s) |
| Débit min. | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
| Température du liquide de refroidissement | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Général | |||||
| Rendement global | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
| Conditions d'environnement | |||||
| Température extérieure | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Humidité de l'air | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Pression barométrique | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Des revêtements parfaits, une productivité élevée
La gestion d'arc totalement numérique avec une très faible énergie d'arc rend des qualités de revêtement et de taux de croissance élevés. Les appareils TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) garantissent une alimentation électrique constante, et donc la stabilité du plasma, même dans le cas des processus réactifs exigeants.
Davantage de flexibilité, moins de coûts
Vous pouvez adapter très simplement les générateurs de la gamme TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) aux exigences de différents processus en configurant la forme des ondes. La libre sélection du signal de sortie (courant continu, courant continu pulsé ou mode bipolaire) les rend très polyvalents et vous permet de réduire votre coût total de possession (TCO).
Tout dans un même boîtier
Le refroidissement par eau étant entièrement intégré dans le boîtier de générateur protégé des influences extérieures, aucun composant externe n'est nécessaire.
PVD Power
Le logiciel PVD Power, disponible en plusieurs langues et d'utilisation conviviale, offre de nombreuses possibilités de commande, de configuration et de diagnostic pour une optimisation de la qualité de processus et un dépannage efficace : l'affichage des valeurs réelles de tous les paramètres de processus pertinents ainsi que des avertissements et des messages d'alerte, la définition des valeurs de consigne par l'opérateur ainsi que l'enregistrement et la visualisation de paramètres de fonctionnement importants avec haute résolution temporelle (fonction d'oscilloscope).
Vous pouvez adapter au mieux le générateur d'impulsions bipolaire à l'environnement de votre système en sélectionnant différents composants du système.
Différentes versions de câbles et de connecteurs, correspondant aux diverses normes de raccordement, sont disponibles.
Il peut y avoir des différences par rapport à cette gamme de produits et à ces indications dans certains pays. Sous réserve de modification de la technologie, de l’équipement, du prix et de l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur local, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.
