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TruMicro 9000 系列超短脉冲激光器

TruMicro 9000 系列

我们的开拓者产品——以 1 kW 超短脉冲激光功率实现大面积微加工的突破性方案

1000 W 激光平均功率
1030 nm 波长
1 - 20 ps 脉宽
10 mJ(100 kHz 时) 最大脉冲能量

大面积精密微加工

– 源自 1 kW 激光功率

TruMicro 9000 系列的激光功率达到 1 kW,在全球超短脉冲激光领域独树一帜。结合高脉冲频率,让微加工拓展至大面积应用。搭配合适的振镜头,您最高能以每秒一公里的速度在工件表面分布激光脉冲,从而将高脉冲频率转化为相应的高速加工能力。也可通过分光器或光束整形元件,将高功率激光分配至多个加工区域。让纹理化加工、清洗、烧蚀或切割等工艺经济高效地扩展至平方米级面积。

TruMicro 9000 系列的核心优势

– 其产品亮点一览
面积可达平方米,细节依然精微
面积可达平方米,细节依然精微

凭借在全球超短脉冲激光领域独具优势的 1 kW 高功率,以前所未有的速度加工工件。让大面积乃至平方米级的微加工也具备经济性。不仅提高生产产量,也让过去难以采用微加工的应用有了新的选择。

一台激光光源,满足多种工艺需求
一台激光光源,满足多种工艺需求

TruMicro 9000 系列不仅具有高达 10 毫焦耳的脉冲能量,还具备较高的脉冲频率。仅需一台激光光源,即可在同一设备内完成不同工序:以高脉冲频率实现快速加工,以高脉冲能量满足硬脆材料等高能量需求的应用。无需再为不同加工要求分别配置激光光源。

适配高速生产线,卷对卷加工同样出色
适配高速生产线,卷对卷加工同样出色

凭借出色的加工速度,TruMicro 9000 系列激光器尤其适合卷对卷工艺,让塑料薄膜、金属箔材或薄玻璃等大面积基材连续完成放卷、加工与收卷。

加工结果稳定一致——即使在工业连续运行条件下
加工结果稳定一致——即使在工业连续运行条件下

即使在严苛的生产条件下,TruMicro 9000 系列也能确保加工结果始终如一。M² = 1.2 的出色激光光束质量确保能量均匀输入,稳定的激光脉冲则保障加工过程的一致性。即使长时间连续运行,您也可以信赖这款激光器:其电子系统、放大模块和光束传输系统均采用久经考验的通快超短脉冲激光器模块。

脉冲频率按需调整,复杂轮廓也能干净成形
脉冲频率按需调整,复杂轮廓也能干净成形

借助 Advanced Pulse on Demand 功能,TruMicro 9000 系列可在需要的时刻精准触发每个激光脉冲。即使进给速度发生变化,例如激光束在曲线处移动速度减慢时,该功能也能保持脉冲间隔恒定。这样可以避免脉冲相互重叠,并以亚微米级的空间分辨率,沿指定轮廓精准布置激光脉冲。即使加工短小复杂的轮廓,需要频繁变速和转向,也能获得均匀一致的效果,例如显示屏缺口等精细切口。

其它优点

  • 安全可靠,通过了 PL e 认证

    TruMicro 9000 系列激光器符合最高安全性能等级 Performance Level e(PLe)。冗余安全机制与故障快速识别,为您的生产带来更高的安全性,且无需对激光器采取任何额外措施。

TruMicro 9000 系列的应用亮点

– 您将获得的收益

TruMicro 9000 系列为高要求的切割、微加工与表面加工带来了出色的精度和速度,即使面对大面积加工和全天候工业生产,也能胜任。适用于半导体、电池和燃料电池制造,以及航空航天等领域。

薄膜、晶圆与显示屏,高速精密加工

薄膜、晶圆与显示屏,高速精密加工

加工薄膜、晶圆、纸张、织物或显示屏等大面积材料时,加工速度直接决定经济效益。尤其面对大面积加工,激光器必须具备足够的速度,才能达到所需产量。

凭借 TruMicro 9000 系列的高功率,您可将微加工拓展至更高速度和更大面积。让过去因成本过高而难以采用精细微加工的工艺,也变得经济可行。

微孔加工,精细与高速兼得

微孔加工,精细与高速兼得

您需要在有限时间内,在大面积表面加工出大量微孔或精细结构,例如食品行业用微孔过滤器,或电池表面的微结构。

凭借高达 50 MHz 的脉冲频率和每秒 50 米的扫描速度,TruMicro 9000 系列激光器以市场上独具优势的速度加工微结构。需要加工大量孔洞时,还可借助适合的光学系统对激光束进行分束。一次即可同时加工出数百个微孔。

选择性逐层烧蚀

选择性逐层烧蚀

您希望高速、逐层去除燃料电池双极板上的污染物和颗粒,省去耗时的机械或化学处理。

凭借 TruMicro 9000 系列的高脉冲能量,每秒可完成约 40 平方厘米的烧蚀加工,显著缩短加工时间。

电力电子导电线路加工

电力电子导电线路加工

您需要对玻璃、铜、金和陶瓷等不同材料的表面进行精密纹理化加工、雕刻或清洗,并赋予其防眩光等特定功能。

TruMicro 9000 系列通过超短脉冲,精准改变表面纹理,赋予材料所需的表面特性。高脉冲能量与出色的能量稳定性相结合,例如可借助光束整形元件,将能量分布到更大面积上。即使在大面积加工过程中,您也能实现较高的加工速度。

产生次级辐射

产生次级辐射

您希望产生粒子(从相对论性电子到中子)或短波长电磁辐射(从深紫外到相干硬 X 射线),以便用于成像等用途。同时,您还需要缩短辐照时间,以提高处理效率,并确保加工过程具有良好的可重复性和长期稳定性,即使在全天候连续运行条件下也是如此。

TruMicro 9000 系列将高脉冲能量与超短脉冲相结合,从而实现极高的峰值光强。借助这一特性,您可以高效实现频率转换,或产生各种激光等离子体诱导的次级辐射。同时,作为首款千瓦级工业用超短脉冲激光器,TruMicro 9000 系列还能实现与之相匹配的高处理效率。

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TruMicro 9010 宣传册 TruMicro 9010 宣传册

TruMicro 产品家族对比

产品 TruMicro 9010

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TruMicro 6000 系列,产品图

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TruMicro 2000 系列

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平均激光功率 1000 W 30 W - 200 W 10 W - 20 W
波长 1030 nm 343 nm, 515 nm, 1030 nm 515 nm, 1030 nm
光束质量 (M²) < 1.3 < 1.3 (可选配 ≤ 1.2) < 1.2 (<1.3 bei 515 nm)
脉冲宽度 1 ps (可选配 1 至 20 ps 范围内的固定脉宽) < 850 fs (可选配:1030 nm 波长下 < 5 ps,343 nm 波长下 < 500 fs) < 350 fs  (在 1030 nm 波长下,可调节至 20 ps)
最大脉冲能量 10 mJ 在 100 kHz 时 2 mJ 在 100 kHz 时 100 µJ 在 200 kHz 时
脉冲频率 单脉冲最高可达 1 MHz (选配 QCW 功能时可达 50 MHz) 单脉冲最高可达 3 MHz (选配 QCW 功能时可达 50 MHz) 单脉冲最高可达  2 MHz (选配 QCW 功能时可达 50 MHz)

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