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TruMicro 5000系列,快速又具經濟效益
TruMicro 5000系列,快速又具經濟效益
短和超短脈衝雷射機

TruMicro 5000系列

快速又具經濟效益

微細材料加工:具有高生產效率

TRUMPF短脈衝和超短脈衝雷射源可以將品質、生產效率和經濟效益完美地結合起來,進行工業上用途非常廣泛的微加工。透過將脈衝生成與脈衝輸出的區隔,實現極佳的脈衝和功率穩定性。具有專利的控制系統確實的監控每個脈衝,使功率和脈衝能量精確地保持在當前用途所需的水準上。TruMicro 5000 系列皮秒雷射器的特點是脈衝極短且脈衝能量最高可達 500 μJ。結合了優異的光束品質與最高可達150瓦的平均功率。這就確保在微細材料加工上的高生產效率。此系列雷射源可以非常快地使幾乎任何一種材料汽化並且不會看到熱效應。因此,非常適合加工半導體材料、金屬、電介質、塑膠和玻璃。

100 %客製化脈衝

超快的功率調製器將功率和脈衝能量準確保持在適當水準。

功能多樣,也適用於冷態的加工任務

用其加工對溫度敏感的材料,不會產生明顯的熱效應。

便於整合

TruMicro系列雷射器易於整合,相容所有現行的介面。

全功率

受益於碟片型雷射的技術,在單個脈衝中也能持續達到100%平均功率。

工業用途非常廣泛

基於成功的TruMicro 5000系列,此系列雷射器設計用於常見的生產任務。

TruMicro 5000系列加工頭結構
高度穩定保證最佳品質

TruMicro 5000系列超短脈衝雷射器的特點:脈衝特別短(小於10 ps),脈衝能量高(最高可達500 μJ)。此系列雷射源可以非常快地使幾乎任何一種材料汽化並且不會看到熱效應。申請了專利的雙級式雷射功率調節裝置整合了一個外置調製器,在整個功率範圍內使每個脈衝的雷射都保持特別穩定。脈衝峰值功率為最大40 MW。

利用TruMicro 5000系列雷射器有針對性的熱量輸入
不產生熱輸入或有針對性地輸入熱量

只需幾個皮秒雷射脈衝就可在幾乎不產生熱效應與機械效應的情況下高效加工材料。為此,雷射脈衝以及能量輸入的持續時間必須足夠短,以免電子與相關原子之間發生溫度平衡。被加工的材料在一瞬間汽化。熱量不會進入周圍材料,熱應力裂紋得以避免。這被稱為「冷加工」。就金屬及許多其他材料而言,理想的脈衝持續時間介於1和10 ps之間。

用TruMicro 5000系列雷射器切割玻璃

雷射切割玻璃

在用TruMicro系列超短脈衝雷射器切割玻璃時,材料的機械應力減少到最低程度,在邊緣不會產生任何裂紋,從而不再需要對切割的部件進行磨平處理。尤其是在顯示器行業,化學淬火的玻璃用作堅固的防護玻璃和支撐基材,必須進行切割處理。

玻璃的高速雷射切割

玻璃的高速雷射切割

在切割斷裂強度高的化學淬火玻璃方面,雷射是目前唯一一種具有保護性又靈活的工藝。經過淬火工藝後,可以用雷射器和TOP Cleave雷射切割頭將玻璃分離,其邊緣品質非常出色。

在用雷射切割玻璃時,製成靈活的幾何形狀

靈活的幾何形狀

與機械工藝相反,利用雷射可以實現無摩損、無接觸的工藝過程,並且也可以靈活地製成各種二維和三維幾何形狀。對此,TruMicro 5000系列皮秒雷射器是最佳工具。

利用TRUMPF短脈衝雷射器切割的醫用支架

雷射切割的醫用支架

生產醫用支架時,無毛刺的切割面和邊緣具有決定性的意義。在生產鎳鈦制醫用支架時,皮秒雷射器可以使生產無需後續加工,並且提高產出率。超短脈衝技術使切割這種由對溫度特別敏感的形狀記憶合金製成的、可生物降解的醫用支架首次成為可能。

高精度地將藍寶石結構化

高精度地將藍寶石結構化

藍寶石保護智慧手機的高解析度攝像頭,在生產LED時用作基材,在高檔產品上用作覆面玻璃。這種材料耐抗性特別好、硬度特別高。這就使得用傳統的手段無裂紋地高效加工藍寶石非常困難。利用TruMicro 5000系列雷射器,可以取得無需後續加工的高品質。

利用TruMicro 5000系列皮秒雷射器切割的藍寶石試樣

雷射切割的藍寶石試樣

利用TruMicro 5000系列皮秒雷射器,可以高品質地切割出精細的幾何形狀。此外,皮秒雷射器較高的平均功率確保很高的生產率。

利用TruMicro 5000系列雷射器對線路板進行雷射鑽孔作業。

線路板鑽孔輕而易舉

先進的線路板採用多重結構,因此特別精巧。帶有銅質內襯的孔眼將各層的線路連接起來。為此要進行鑽孔作業,孔眼的直徑經常小於100 μm。皮秒雷射器只需一個工序就可以完成這個任務。很高的可用脈衝峰值功率可以使用戶獲得所需的幾何形狀和品質,同時生產率很高。

電路板基材中的微型鑽孔

電路板基材中的微型鑽孔

在電路板基材鑽孔的詳圖中,可以看到TruMicro系列雷射器以多麼高的品質完成加工作業。其中的決定性因素是高可用脈衝峰值功率,此外這也提高了生產率。

在陶瓷線路板中的雷射鑽孔

在陶瓷線路板中的雷射鑽孔

良好的電絕緣性以及很高的溫度耐抗性使得工業用陶瓷,例如氮化鋁陶瓷、氧化鋁陶瓷、氮化矽陶瓷和氧化鋯陶瓷成為非常熱門的材料。利用皮秒雷射器,可以高品質地在這些材料上生成直徑很小的鑽孔。

雷射加工的硬脆材料

硬脆材料的雷射加工(陶瓷、玻璃、藍寶石)

利用TruMirco 5000系列雷射器,可以高品質地加工硬脆材料,例如陶瓷。皮秒雷射器主要用於對薄陶瓷的鑽孔和切割。藉助這種雷射器,可以高品質地製作出直徑很小的鑽孔。

微鑽孔

在薄鎢片上的微鑽孔

在0.2 mm薄鎢片上呈網格狀排列、直徑約爲70 μm的微鑽孔。

雷射參數              
平均輸出功率 50 W 100 W 150 W 60 W 90 W 30 W 45 W
射束品質 (M²) < 1.3 標準,M² < 1.2可選 < 1.3 Standard, M² < 1,2 optional < 1.3 Standard, M² < 1,2 optional < 1.3 Standard, M² < 1,2 optional < 1.3 標準,M² < 1.2可選 < 1.3 Standard, M² < 1,2 optional < 1.3 標準,M² < 1.2可選
波長 1030 nm 1030 nm 1030 nm 515 nm 515 nm 343 nm 343 nm
脈衝時間 < 10 ps < 10 ps < 10 ps < 10 ps < 10 ps < 10 ps < 10 ps
最大脈衝能量 500 µJ 500 µJ 250 µJ 150 µJ 150 µJ 75 µJ 75 µJ
最小重複率 100 kHz 200 kHz 600 kHz 400 kHz 600 kHz 400 kHz 600 kHz
最大重複率 1000 kHz 1000 kHz 1000 kHz 1000 kHz 1000 kHz 1000 kHz 1000 kHz
結構型式              
雷射頭尺寸(寬 x 高 x 深) 680 mm x 289 mm x 1060 mm 680 mm x 289 mm x 1060 mm 680 mm x 289 mm x 1060 mm 680 mm x 289 mm x 1060 mm 680 mm x 289 mm x 1060 mm 680 mm x 289 mm x 1060 mm 680 mm x 289 mm x 1060 mm
供電設備的尺寸(寬 x 高 x 深) 442 mm x 1192 mm x 910 mm 442 mm x 1192 mm x 910 mm 442 mm x 1192 mm x 910 mm 442 mm x 1192 mm x 910 mm 442 mm x 1192 mm x 910 mm 442 mm x 1192 mm x 910 mm 442 mm x 1192 mm x 910 mm
安裝              
防護等級 IP54 IP54 IP54 IP54 IP54 IP54 IP54
環境溫度 20 °C - 30 °C 20 °C - 30 °C 20 °C - 30 °C 20 °C - 30 °C 20 °C - 30 °C 20 °C - 30 °C 20 °C - 30 °C
TruControl控制系統

TruControl

TruControl是操作簡便的快速控制系統,用於TRUMPF固體雷射器。其可即時調節雷射功率以取得可再現結果。TruControl可管理、控制和顯示介面分配。得益於面向所有雷射技術統一的控制系統架構。雷射器具備用於控制智慧TRUMPF加工頭(如受監控的聚焦雷射頭CFO或掃描雷射頭PFO)的介面。透過雷射控制系統方便地對雷射加工單元進行程式設計。此外,TRUMPF的遠端支援服務還能在數秒內提供遠端支援的協助。由此不僅可免除現場服務或為此做好準備,還能提升雷射器的可用性。

藉助實用的選配件,您還能使用 TruMicro 5000 系列雷射器進行效率更高、流程更安全的工作。

多樣化介面——方便整合

將TruMicro雷射器整合到機床或生產線之中時,介面起決定性作用。因此TRUMPF的固體雷射器提供與所有常見的現場匯流排系統對接的介面。此外還提供:即時介面、並行數位I/O口、流程感測器介面、OPC UA軟體介面、類比輸入卡、用於智慧TRUMPF加工頭 (CFO,PFO) 的介面。

智慧化設計,直至工件

透過一個自帶介面,可使智慧加工頭與雷射器同步。這樣就能根據目的最佳利用聚焦雷射頭CFO或掃描雷射頭PFO。透過雷射控制系統方便地對雷射加工單元進行程式設計。無需額外的電腦或控制系統。

遠端服務

出現故障時,TRUMPF服務專家可透過安全的遠端連接主動存取雷射器。這樣通常可以直接排除故障或更改雷射器的配置,使備件到達前生產能繼續進行。

TRUMPF提供從雷射器至工件的射束傳導所需的一切部件。因此還提供各式各樣的聚焦透鏡,多年工業應用已證明其精確性與可靠性。加工頭易於整合:既可用於獨立性加工站,也可被整合至整條生產線中。模組化結構確保加工頭始終適配雷射器型號以及各種加工情況。

TOP Cleave雷射切割單元

聚焦鏡頭 TOP Cleave-2 是用於靈活切割透明材料的雷射加工頭,例如玻璃或藍寶石。

TOP Cleave切割光學,高速激光切割玻璃
TOP Cleave

對玻璃的高速雷射切割

超短雷射脈衝不僅超短,還能使能量與功率等脈衝特性達到峰值。為了恰好讓具有這些峰值強度的適當脈衝到達工件,需要特殊的射束引導與成形元件。TRUMPF可提供光閘、偏轉器、擴束裝置及偏振加工頭,它們能優化超短脈衝雷射器的使用。

TruMicro 90°偏轉器
TruMicro 90°偏轉器

TruMicro偏轉器適用於引導超短雷射脈衝的雷射光束,脈衝參數同時得以保留。

可調整的射束分配器
可調整的射束分配器

透過射束分配器可同時為兩條光路分別供應一半的雷射功率,並同時加工兩個工件。機械調整允許將共用的功率以精確等分的方式調整到兩條光束臂內。

TruMicro帶導向投點雷射的光閘
TruMicro光閘

透過光閘,也可將雷射沿兩條光路引導至不同工件。引導雷射器可以方便地調節光路。

圓偏振光
圓偏振光

圓偏振光由線性偏振光藉助四分之一波片產生,能夠在幾何形狀受方向影響的生產應用中實現均勻的加工結果。

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