晶體外延生長是在相同材料的單晶襯底上生成單晶層（如單晶矽層）的過程。襯底位於由石墨製成的感應加熱基座上——在此對溫度均勻性提出了非常高的要求。晶體外延生長主要用於LED生產。TRUMPF霍廷格電子中頻發生器可靠而穩定地提供所需工藝電源。
晶體外延生長
最純淨的逐層生長
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