Kompakte Gleichstrom-Generatoren der neuen Generation
Die TruPlasma DC Serie 3000 (G2) ist für eine Vielzahl von DC-Sputterprozessen geeignet – auch als Ersatz von gepulsten Prozessstromversorgungen. Denn das fortschrittliche Arc-Management bietet die Gewähr für beste Schichtqualitäten und einen deutlich erhöhten Produktionsertrag. Aufgrund der äußerst kompakten Bauweise können Sie die wassergekühlten Gleichstrom-Generatoren sehr einfach in Ihre bestehende Anwendung integrieren.
Restenergien < 0,3 mJ/kW garantieren beste Schichtqualitäten und hohe Abscheidungsraten.
Sehr kompakte Bauweise (19-Zoll-Einschub), daher einfache Integration auch größerer Leistungen.
Ausgangsleistungen von 20 kW bis 300 kW, somit auch Ersatz größerer Generatoren möglich.
Ermöglicht lange Systemlaufzeiten und reduziert den Wartungsaufwand.
Variable Netzspannung (400 V bis 480 V) und verschiedene Datenschnittstellen.
Hartstoffbeschichtung
Durch Aufbringung funktioneller Schichten mittels DC-Magnetron-Sputtern erhalten stark beanspruchte Werkstücke eine erhöhte Randhärte und Haftreibung sowie eine bessere thermische und chemische Stabilität. Die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) sorgen für einen stabilen Plasma-Prozess und somit für eine optimale Schichtqualität.
Metallisierung
Mittels eines PVD-Prozesses lassen sich hauchdünne Metallschichten auf verschiedene Materialien aufbringen, um diesen bestmögliche optische und elektrische Eigenschaften zu verleihen. Eine optimal an die Prozessparameter angepasste Stromversorgung ermöglicht die Abscheidung absolut homogener, defektfreier Schichten.
Solarzellenherstellung
Zur Beeinflussung der elektrischen Eigenschaften werden Solarzellen, aber auch Flachbildschirme und Touchscreens, mit elektrisch leitfähigen Materialien (TCO) beschichtet. Aufgrund ihrer sehr geringen Arc-Restenergie sind die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) hierfür bestens geeignet.
Architekturglas
Die großflächige Beschichtung von Architekturglas in einem DC-Sputterprozess stellt eine besonders hohe Anforderung an die Prozessstromversorgung. Die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) bieten ideale Voraussetzungen für ein hochwertiges Beschichtungsergebnis.
|
TruPlasma DC 3020 (G2)
Produkt vergleichen
|
TruPlasma DC 3030 (G2)
Produkt vergleichen
|
TruPlasma DC 3040 (G2)
Produkt vergleichen
|
TruPlasma DC 3060 (G2)
Produkt vergleichen
|
TruPlasma DC 3080 (G2)
Produkt vergleichen
|
TruPlasma DC 3120 (G2)
Produkt vergleichen
|
TruPlasma DC 3160 (G2)
Produkt vergleichen
|
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Ausgang | |||||||
| Nennleistung | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 W | - | - | - |
| Maximaler Ausgangsstrom | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff | - | - | - |
| Maximale Ausgangsspannung | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | - | - | - |
| Arc-Parameter | |||||||
| Maximale Arc-Rate | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | - | - | - |
| Arc Energie | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | - | - | - |
| Arc-Behandlungszeit | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | - | - | - |
| Zündspannungen | |||||||
| mit Zündhilfe | 1500 V | 1500 V | 1500 V | 1500 V | - | - | - |
| ohne Zündhilfe | 1000 V | 1000 V | 1000 V | 1000 V | - | - | - |
| Netzanschlussdaten | |||||||
| Netzspannung | (±10%) 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | - | - | - |
| Netzfrequenz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | - | - | - |
| Kommunikationsschnittstellen | |||||||
| Analog/Digital | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| RS 232 / RS 485 | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| EtherCAT | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| DeviceNet | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| Gehäuse | |||||||
| Gewicht | 45 kg | 65 kg | 65 kg | - | - | - | - |
| Schutzart IP | 40 | 40 | 40 | - | - | - | - |
| Kühlungsanforderungen | |||||||
| Kühlmedium | Wasser | Wasser | Wasser | - | - | - | - |
| Max. Wasserdruck | 7 bar | 7 bar | 7 bar | - | - | - | - |
| Min. Druckdifferenz | 1,5 bar | 1,5 bar | 1,5 bar | - | - | - | - |
| Min. Durchflussmenge | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | - | - | - | - |
| Temperatur Kühlmedium | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | - | - | - | - |
| DC Anschlussdaten | |||||||
| Anzahl der Terminals | 3 | 3 | 3 | - | - | - | - |
| Nennstrom / Terminal | 35 A | 53 A | 53 A | - | - | - | - |
| Allgemein | |||||||
| Gesamtwirkungsgrad | 90 % | 90 % | 90 % | - | - | - | - |
| Zertifikate / Standards | CE | CE | CE | - | - | - | - |
| Umgebungsbedingungen | |||||||
| Außentemperatur | 5 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | - | - | - | - |
| Luftfeuchte | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | - | - | - | - |
| Barometrischer Druck | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | - | - | - | - |
|
TruPlasma DC 3020 (G2)
|
TruPlasma DC 3030 (G2)
|
TruPlasma DC 3040 (G2)
|
TruPlasma DC 3060 (G2)
|
TruPlasma DC 3080 (G2)
|
TruPlasma DC 3120 (G2)
|
TruPlasma DC 3160 (G2)
|
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Ausgang | |||||||
| Nennleistung | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 W | - | - | - |
| Maximaler Ausgangsstrom | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff | - | - | - |
| Maximale Ausgangsspannung | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | - | - | - |
| Arc-Parameter | |||||||
| Maximale Arc-Rate | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | - | - | - |
| Arc Energie | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | - | - | - |
| Arc-Behandlungszeit | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | - | - | - |
| Zündspannungen | |||||||
| mit Zündhilfe | 1500 V | 1500 V | 1500 V | 1500 V | - | - | - |
| ohne Zündhilfe | 1000 V | 1000 V | 1000 V | 1000 V | - | - | - |
| Netzanschlussdaten | |||||||
| Netzspannung | (±10%) 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | - | - | - |
| Netzfrequenz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | - | - | - |
| Kommunikationsschnittstellen | |||||||
| Analog/Digital | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| RS 232 / RS 485 | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| EtherCAT | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| DeviceNet | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| Gehäuse | |||||||
| Gewicht | 45 kg | 65 kg | 65 kg | - | - | - | - |
| Schutzart IP | 40 | 40 | 40 | - | - | - | - |
| Kühlungsanforderungen | |||||||
| Kühlmedium | Wasser | Wasser | Wasser | - | - | - | - |
| Max. Wasserdruck | 7 bar | 7 bar | 7 bar | - | - | - | - |
| Min. Druckdifferenz | 1,5 bar | 1,5 bar | 1,5 bar | - | - | - | - |
| Min. Durchflussmenge | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | - | - | - | - |
| Temperatur Kühlmedium | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | - | - | - | - |
| DC Anschlussdaten | |||||||
| Anzahl der Terminals | 3 | 3 | 3 | - | - | - | - |
| Nennstrom / Terminal | 35 A | 53 A | 53 A | - | - | - | - |
| Allgemein | |||||||
| Gesamtwirkungsgrad | 90 % | 90 % | 90 % | - | - | - | - |
| Zertifikate / Standards | CE | CE | CE | - | - | - | - |
| Umgebungsbedingungen | |||||||
| Außentemperatur | 5 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | - | - | - | - |
| Luftfeuchte | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | - | - | - | - |
| Barometrischer Druck | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | - | - | - | - |
Die technischen Daten aller Produktvarianten als Download.
Kostengünstige Alternative zu gepulsten Generatoren
Dank ihres zukunftsweisenden Arc-Managements bewähren sich die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) in vielen Sputter-Prozessen. Als kostengünstige Alternative zu gepulsten DC-Generatoren bieten sie zugleich einen deutlich erhöhten Produktionsertrag.
Kompakte Alternative bei höheren Leistungen
Trotz ihrer sehr kompakten Bauweise übertreffen die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) auch deutlich größere Generatoren hinsichtlich Schichtqualität und Produktivität. Selbst bei großen Ausgangsleistungen von mehr als 60 kW stellen sie somit eine kompakte und entsprechend einfach integrierbare Alternative dar.
Wasserkühlung für längere Systemlaufzeiten
Die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) sind mit einer vollständigen Wasserkühlung ausgestattet. Im Vergleich zu Geräten mit Luftkühlung ermöglicht diese eine höhere Systemlaufzeit, senkt zugleich den Wartungsaufwand und verhindert Verschmutzungen durch eingezogene Staubpartikel.
Verschiedene Optionen ermöglichen eine optimale Anpassung des Gleichstrom-Generators an Ihre Anwendung.
Mehrere Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) können synchron betrieben werden. Dieser Modus ermöglicht die Synchronisierung der Arc-Erkennung mehrerer Generatoren, die auf unterschiedliche Targets ausgerichtet sind. Auch der Puls Modus ist synchronisierbar. Wird eine große Ausgangsleistung benötigt ist auch eine Parallel-Schaltung von bis zu 5 Generatoren des TruPlasma DC 3030 möglich. Diese funktionieren als Einheit TruPlasma DC 3150.
Die Wasserventil-Steuerung reguliert den Kühlwasserdurchlauf um Kondensation zu vermeiden und gleichzeitig den Generator vor Überhitzung zu schützen.
EtherCAT-, sowie EtherNET/IP-Schnittstellen ermöglichen eine einfache Einbindung der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) in bestehende Anlagen.
PVD Power
Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener und Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskop-Funktion).
Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.
