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Plasmaanregungen

TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

Die Besten ihrer Klasse

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Volle Kontrolle über den Prozess

Mit der TruPlasma Serie MF 7000 (G2) haben Sie Ihren Prozess jederzeit unter Kontrolle: Mit ihrem überlegenen Arc-Management und Zündverhalten eignen sich die Generatoren ideal als Stromversorgungen für großflächige Beschichtungen (Large Area Coating) und anspruchsvolle reaktive Prozesse beim Dual Magnetron Sputtering. Mit Spitzenwirkungsgraden von über 90 % sowie einem besonders effizienten Kühlwassermanagement sind sie zugleich äußerst wirtschaftlich im Betrieb.

Höchste Schichtqualität und Produktivität

Exzellente Ergebnisse und hohe Beschichtungsraten selbst in schwierigsten reaktiven Prozessen.

Maximale Effizienz

Mit Spitzenwirkungsgraden
über 90 % werden Betriebswirkungsgrade über 80 % erreicht.

Stabile Stromversorgung bei jedem Klima

Zuverlässige Funktion auch bei hohen Kühlwassertemperaturen und niedrigen Differenzdrücken.

Weltweit einsetzbar

Variable Anschlussspannung, daher keine technischen Anpassungen erforderlich.

MF-Stromversorgung der Spitzenklasse

Großflächenbeschichtung (Large Area Coating) von Architekturglas: Anspruchsvolle Materialien wie SiOx stellen höchste Ansprüche an die Stabilität der Stromversorgung.

Aufbringung dünnster Schichten

Beschichtung von Flachbildschirmen und Touch Panels: Mittels Dual Magnetron Sputtering werden dünnste (nm), hochfeste und homogene AlxOx Schichten aufgebracht.

Mittelfrequenzgenerator der TruPlasma MF Serie 7000 (G2) zum Auftragen ultradünner Schichten

Solarzellenherstellung

Beschichtung von Solarglas: Die stabile Stromversorgung der TruPlasma MF Serie 7000 (G2) ermöglicht die homogene Aufbringung dünnster TCO-Schichten mittels MF- Sputtering.

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Ausgang
Nennleistung	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Maximaler Ausgangsstrom	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff
Maximale Ausgangsspannung	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff
Nennbetriebsfrequenz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Arc-Parameter
Maximale Arc-Rate	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Arc Energie	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Arc-Behandlungszeit	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Zündspannungen
mit Zündhilfe	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
ohne Zündhilfe	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Netzanschlussdaten
Netzspannung	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Netzfrequenz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Netzaufnahmeleistung	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Leistungsfaktor	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Gehäuse
Gewicht	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
Schutzart IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Kühlungsanforderungen
Kühlmedium	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser
Max. Wasserdruck	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
Min. Druckdifferenz	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar
Min. Durchflussmenge	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Temperatur Kühlmedium	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
Allgemein
Gesamtwirkungsgrad	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Zertifikate / Standards	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18
Umgebungsbedingungen
Außentemperatur	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

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Ausgang
Nennleistung	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Maximaler Ausgangsstrom	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff
Maximale Ausgangsspannung	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff
Nennbetriebsfrequenz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Arc-Parameter
Maximale Arc-Rate	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Arc Energie	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Arc-Behandlungszeit	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Zündspannungen
mit Zündhilfe	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
ohne Zündhilfe	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Netzanschlussdaten
Netzspannung	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Netzfrequenz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Netzaufnahmeleistung	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Leistungsfaktor	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Gehäuse
Gewicht	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
Schutzart IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Kühlungsanforderungen
Kühlmedium	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser
Max. Wasserdruck	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
Min. Druckdifferenz	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar
Min. Durchflussmenge	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Temperatur Kühlmedium	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
Allgemein
Gesamtwirkungsgrad	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Zertifikate / Standards	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18
Umgebungsbedingungen
Außentemperatur	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

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Technisches Datenblatt

Die technischen Daten aller Produktvarianten als Download.

Die Generatoren TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantieren höchste Effizienz

Höchste Wirtschaftlichkeit und Flexibilität

Die hohen Betriebswirkungsgrade und das flexible Kühlungskonzept der TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantieren höchste Wirtschaftlichkeit über die gesamte Lebensdauer. Auch unter schwierigen Klima- und Installationsbedingungen bleibt die Stromversorgung jederzeit stabil – hohe Kühlwassertemperaturen, geringer Wasserdruck und hohe Luftfeuchtigkeiten beeinträchtigen die Prozessqualität nicht. Dank seines breiten Betriebsspannungsbereichs können Sie den MF-Generator ohne technische Anpassungen weltweit einsetzen.

Mittelfrequenzgenerator der TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

Präzise Steuerung des Prozesses

Mit nur wenigen Parametereinstellungen können Sie die Schichtqualität und Produktivität präzise steuern. So finden Sie die optimale Balance zwischen der Empfindlichkeit der Arc-Behandlung und dem gewünschten Durchsatz. Außerdem gewährleisten eine Vielzahl von Schnittstellen und die komfortable Bediensoftware TruControl Power eine effektive Konfiguration und Diagnose.

Überlegenes Arc-Management

Hohe Reaktionsgeschwindigkeiten und entsprechend reduzierte Restenergien sorgen für stabile Prozesse und höchste Sputterraten. Arc-Bildung und thermischer Stress an den Targets erkennt und verhindert der Generator zuverlässig – das Ergebnis sind absolut homogene Schichten über die gesamte Substratfläche. Außerdem erlaubt das schnelle und zuverlässige Arc-Management einen problemlosen Betrieb des Generators im spannungsgeregelten Übergangsbereich (transition mode).

Für die TruPlasma MF Serie 7000 (G2) sind umfangreiche Optionen verfügbar, mit denen Sie den MF-Generator an die Anforderungen Ihrer Anwendung anpassen können.

Erweiterter Frequenzbereich

Die MF-Generatoren bis 100 kW Leistung sind optional mit einem erweiterten Frequenzbereich von 20 - 70 kHz verfügbar (Standard ist 20 - 50 kHz).

Zündhilfe

Hierdurch werden Arc-Bildung und thermischer Stress reduziert. Zündspannung und Rampenzeit sind individuell regelbar.

Ultraschnelles Arc-Management

Die TruPlasma MF Serie 7000 (G2) kann mit einem besonders empfindlichen Arc-Management ausgestattet werden (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, Standard ist ≤ 10 mJ/kW). Für das UltraFastTreatment ist Sicherheitskategorie 3 erforderlich.

Für alle Fälle gerüstet

Profinet, Profibus, EtherCAT sowie analoge und digitale Schnittstellen ermöglichen eine einfache Einbindung der TruPlasma MF Serie 7000 in bestehende Anlagen.

Schaltschranktür

Die Schaltschranktür ist wahlweise mit einem besonders weiten Öffnungswinkel von 180° erhältlich (Standard ist 130 °C).

Aktive Schaltschrankentfeuchtung

Für Umgebungen mit sehr hoher Luftfeuchtigkeit kann der Generator-Schaltschrank mit einer aktiven Entfeuchtungseinheit ausgestattet werden. Für deren Betrieb ist eine Kühlwasserregelung erforderlich.

TruControl Power

Die anwendungsfreundliche, mehrsprachige Steuerungssoftware TruControl Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose.

Durch Auswahl geeigneter Systemkomponenten können Sie den TruPlasma MF Serie 7000 (G2) bestmöglich an Ihre Systemumgebung anpassen.

MF-Leistungskabel

Für die TruPlasma MF Serie 7000 (G2) erhalten Sie optimierte TRUMPF Hüttinger MF-Leistungskabel. Diese sichern jederzeit die optimale Systemleistung.

Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

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Ich kann diese Einwilligung jederzeit, auch teilweise, unter mailings_deutschland@de.trumpf.com widerrufen.

Mehr zum Thema Datenschutz bei TRUMPF finden Sie in unserer Datenschutzerklärung. *

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