Generadores de plasma

Los generadores de plasma basados en el estado sólido de la serie TruPlasma MW se basan en un innovador concepto de plataforma y generan las más altas densidades de plasma para los exigentes requisitos de los procesos. Los nanopulsos permiten ajustar de forma óptima una amplia gama de parámetros de plasma para la aplicación deseada.

Las alimentaciones de corriente de proceso de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1), con señales de salida configurables de forma flexible y una sofisticada gestión de arco, proporcionan resultados excelentes en la fabricación de semiconductores y células solares, en el recubrimiento de vidrio arquitectónico y en la aplicación de capas decorativas y resistentes al desgaste. Estos generadores de última generación se adaptan excelentemente a procesos de plasma exigentes como pulverización reactiva, PVD y PECVD.

Con los generadores de frecuencia media de la TruPlasma Serie MF 7000 (G2) siempre tiene el control completo de su proceso; como resultado, extraordinarias calidades de capa y máxima productividad, incluso con exigentes aplicaciones de recubrimiento de grandes superficies. Con un pico de eficiencia superior al 90 %, estas alimentaciones eléctricas de la última generación permiten al mismo tiempo un funcionamiento sumamente rentable.

Los suministros de corriente de proceso de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) proporcionan recubrimientos con material duro especialmente resistentes a la corrosión y al desgaste, y son la mejor elección para aplicaciones HIPIMS. En combinación con sustratos polarizados, la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) también se puede utilizar en aplicaciones de semiconductores como, por ejemplo, el decapado, el tratamiento previo de superficies y el llenado de surcos.

La TruPlasma DC Serie 4000 (G2) unifica la excelente gestión de arco de TRUMPF Hüttinger y las ventajas de la tecnología de impulsos de CC. Así puede conseguir mejores resultados de recubrimiento con menos defectos y, al mismo tiempo, una mayor tasa de desprendimiento. El resultado son superficies brillantes y un alto rendimiento de la producción.

Como nueva generación de generadores de corriente continua, la TruPlasma CC Serie 3000 (G2) es ideal para una multitud de procesos de pulverización catódica de CC. Gracias a su avanzada gestión de arco y a la refrigeración por agua integrada, los generadores de CC también son interesantes como alternativa económica a los generadores de CC por impulsos. El diseño muy compacto posibilita además una integración fácil en las aplicaciones existentes.

Los generadores de la TruPlasma Arc Serie 3000 convencen, sobre todo, por los recubrimientos de material duro y decorativos. Su diseño compacto y la refrigeración por aire garantizan un aprovechamiento óptimo de la valiosa superficie útil y facilitan la integración en sistemas nuevos o ya instalados.

El generador de AF refrigerado por aire TruPlasma RF 1001 Air proporciona hasta 1000 vatios de energía de AF reproducible de alta precisión con una resolución extremadamente alta (en saltos de 100 mW). Esto lo convierte en el generador apropiado para una amplísima variedad de aplicaciones de plasma. Tanto si se trata de fabricar semiconductores, como células solares o pantallas: la tecnología patentada de TRUMPF Hüttinger garantiza en todos los lugares la máxima disponibilidad y los mejores resultados de proceso gracias a sus modernas funciones de procesamiento.

Las TruPlasma RF Series 1000 / 3000 (G2/13) son generadores de AF de última generación. Gracias a innovadoras funciones como la tecnología de acoplamiento patentada CombineLine o la medición a tiempo real de todos los parámetros de proceso, se garantiza una alimentación eléctrica segura incluso en exigentes procesos de plasma; requisitos óptimos para obtener resultados reproducibles y una productividad elevada.

Los potentes generadores de AF de la TruPlasma RF Serie 3000 se distinguen por la máxima eficiencia y estabilidad del proceso. Por ello son ideales para procesos de plasma exigentes, como los que se emplean, por ejemplo, para la fabricación de pantallas planas, células solares o semiconductores. Las matchboxes precisamente armonizadas con el generador para la adaptación de la impedancia proporcionan en todo momento una transferencia de potencia estable y óptima, del generador al plasma.

Alto rendimiento para su proceso: los generadores de la TruPlasma VHF Serie 3000 se basan en un concepto innovador de plataforma que cumple hasta los más exigentes requisitos del proceso. La estructura modular y refrigerada completamente por agua de los generadores VHF permite una escalada de la potencia de salida hasta los 80 kW, ¡y esto en un espacio mínimo!

El desarrollo óptimo de un proceso de plasma depende de la adaptación exacta de la impedancia de salida del generador de AF. Esta la proporcionan las matchboxes de la TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) como vínculo entre el generador y el proceso. De este modo surge una solución integral para la alimentación eléctrica de su proceso: el sistema TRUMPF RF.