Bipoláris technológia a legkomolyabb igényekhez
A TruPlasma Bipolar 4000 (G2) sorozat folyamat áramellátását speciálisan a plazma által védett bevonatoláshoz fejlesztették ki a PVD, PECVD és reaktív fémbevonó eljárások segítségével. A rugalmasan alakítható kimeneti jeleknek és kidolgozott spontán ívkisülés kezelésnek köszönhetően a legújabb generációs bipoláris impulzusok sokoldalúan alkalmazhatók. Legyen szó félvezetők és napelemek gyártásáról vagy építészeti üveg bevonatolásáról, minden esetben csúcsteljesítményre számíthat a rétegminőségre és bevonatolási arányra vonatkozólag.
Teljesen digitális spontán ívkisülés kezelés a legkiválóbb rétegminőség és termelékenység érdekében.
Egyszerű igazítás a különböző eljárásokhoz a kimeneti jel variációja révén.
DC, impulzusvezérlésű DC és bipoláris: költségmegtakarítás a sokrétű beállítási opcióknak köszönhetően.
Nincs szükség külső komponensekre, ezért igen kis helyet igényel.
Csúcskategóriás áramellátás
Tipikus alkalmazási terület a félvezető és napelemek gyártása, építészeti üveg bevonatolás, valamint dekoratív és kopásmentes rétegek gyártása a legkiválóbb minőségben. Elsősorban a PVD és PECVD eljárásokat alkalmazzák.
|
TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
Termék összehasonlítása
|
TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
Termék összehasonlítása
|
TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
Termék összehasonlítása
|
TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
Termék összehasonlítása
|
TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
Termék összehasonlítása
|
|
|---|---|---|---|---|---|
| Kimenet | |||||
| Névleges teljesítmény | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
| Maximális kimeneti áramerősség | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
| Maximális kimeneti feszültség | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
| Névleges üzemi frekvencia | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
| Spontán ívkisülés paraméter | |||||
| Maximális spontán ívkisülés-arány | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Arc Energia | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW |
| Gyújtási feszültségek | |||||
| gyújtási segítséggel | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
| Hálózati csatlakozási adatok | |||||
| Hálózati feszültség | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
| Hálózati frekvencia | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Teljesítménytényező | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Kommunikációs interfészek | |||||
| Analóg/Digitális | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| RS 232 / RS 485 | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| PROFIBUS | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| EtherCAT | Igen | Igen |
Igen
- |
Igen | Igen |
| DeviceNet | Igen | Igen |
Igen
- |
Igen | Igen |
| Burkolat | |||||
| Szélesség | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
| Magasság | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
| Mélység | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
| Tömeg | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
| IP védettség | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Hűtési követelmények | |||||
| Hűtőközeg | Víz | Víz | Víz | Víz | Víz |
| Max. víznyomás | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. nyomáskülönbség | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. térfogatáram | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
| Hűtőközeg hőmérséklete | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Általános | |||||
| Teljes hatásfok | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
| Környezeti feltételek | |||||
| Külső hőmérséklet | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Páratartalom | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrikus nyomás | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
|
TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
|
TruPlasma Bipolar 4060 (G2)
|
|
|---|---|---|---|---|---|
| Kimenet | |||||
| Névleges teljesítmény | 10 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW |
| Maximális kimeneti áramerősség | 25 A eff | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff |
| Maximális kimeneti feszültség | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff |
| Névleges üzemi frekvencia | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz | 20 kHz - 80 kHz |
| Spontán ívkisülés paraméter | |||||
| Maximális spontán ívkisülés-arány | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Arc Energia | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW | 0,3 mJ/kW |
| Gyújtási feszültségek | |||||
| gyújtási segítséggel | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V | 2000 V |
| Hálózati csatlakozási adatok | |||||
| Hálózati feszültség | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V | 380 480 V |
| Hálózati frekvencia | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Teljesítménytényező | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Kommunikációs interfészek | |||||
| Analóg/Digitális | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| RS 232 / RS 485 | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| PROFIBUS | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| EtherCAT | Igen | Igen |
Igen
- |
Igen | Igen |
| DeviceNet | Igen | Igen |
Igen
- |
Igen | Igen |
| Burkolat | |||||
| Szélesség | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm | 482 mm |
| Magasság | 178 mm | 266 mm | 355 mm | 355 mm | 622 mm |
| Mélység | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm | 683 mm |
| Tömeg | 60 kg | 60 kg | 100 kg | 100 kg | 160 kg |
| IP védettség | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| Hűtési követelmények | |||||
| Hűtőközeg | Víz | Víz | Víz | Víz | Víz |
| Max. víznyomás | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. nyomáskülönbség | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. térfogatáram | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | 12 l/min | 12 l/min |
| Hűtőközeg hőmérséklete | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Általános | |||||
| Teljes hatásfok | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % | 90 % |
| Környezeti feltételek | |||||
| Külső hőmérséklet | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Páratartalom | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrikus nyomás | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Tökéletes rétegek, nagyfokú termelékenység
A csekély spontán ívkisülés energiával járó, teljesen digitális spontán ívkisülés kezelés kiváló rétegminőséget és leválasztási arányt tesz lehetővé. A TruPlasma Bipolar 4000 (G2) sorozat igényes reaktív eljárásoknál is egyenletes folyamat áramellátást és így stabil plazmaállapotot biztosít.
Nagyobb rugalmasság, alacsonyabb költségek
Az állítható hullámformákkal a TruPlasma Bipolar 4000 (G2) sorozat generátorait igen egyszerűen a különböző folyamatkövetelményekhez igazíthatja. A kimeneti jel (DC, impulzusvezérlésű DC vagy bipoláris) rugalmas kiválasztásának köszönhetően sokoldalúan alkalmazhatók, és ezáltal csökkentik a teljes üzemeltetési költséget (TCO).
Minden egy burkolatban
A teljesen a környezeti hatásoktól védett generátor burkolatba integrált vízhűtésnek köszönhetően nincs szükség külső komponensekre.
PVD Power
A kezelőbarát, többnyelvű PVD Power szoftver a kezelés, konfiguráció és diagnózis sokrétű lehetőségeit kínálja az eljárás minőségének és a hatékony hibaelhárítás optimalizálásához, minden releváns folyamatparaméter tényleges értékének, illetve a figyelmeztetések és riasztások kijelzéséhez, valamint az előírt értékek kezelő általi megadásához, illetve a fontos üzemi paraméterek feljegyzését és megjelenítését időbeli felbontással (oszilloszkóp funkcióval).
A különböző rendszerkomponensek kiválasztásával a bipoláris impulzusgenerátort a lehető legjobban a rendszerkörnyezethez igazíthatja.
Különböző kábel és csatlakozódugó kivitelek állnak rendelkezésre a különböző csatlakoztatási standardokhoz.
Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.
