A kiváló folyamateredmények garantálói
Ezekkel a nagyfrekvenciás generátorokkal biztosra megy: a TruPlasma RF 3000 sorozata a robusztus felépítésükkel és nagyfokú hatékonyságukkal tűnik ki. Ezért ez ideálisan alkalmas a stabil, reprodukálható plazmafolyamatokhoz, például a félvezetők, napelemek és síkképernyők gyártásánál alkalmazzák őket. Világszerte alkalmazások ezreiben telepítve ezek a generátorok nagyfokú termelékenységet és kimagasló folyamateredményeket garantálnak.
Az akár 80%-os hatékonysági fok az energiaköltségek legfeljebb 50%-os csökkentését teszi lehetővé.
Az igényes és újszerű eljárások biztonságos vezetése.
CombineLine technológia: megbízható védelem a reflektált teljesítmények ellen rossz illesztés esetén.
Folyamatos vagy impulzusos teljesítményleadás, ezért sokoldalúan alkalmazható.
Marási és bevonatoló eljárások
A TruPlasma RF 3000 sorozat nagyfrekvenciás generátorai elsősorban marási és bevonatoló eljárásaihoz alkalmasak, például plazmamarás, reaktív ionmarás, ALD és PECVD.
Fém munkadarabok bevonatolása
A plazmafolyamatok segítségével az anyag felvihető a felületekre és leválasztható onnan, például fém munkadarabok bevonatolásánál vagy elektronikus alkatrészek strukturálásánál plazmamarással vagy fotoreziszt plazmaégetéssel.
Kis síkképernyők és napelemek bevonatolása
A TruPlasma RF 3000 nagyfrekvenciás generátorai ideálisak az olyan eljárásokhoz, mint a RIE, ALD, PECVD és RF fémbevonás. Ezeket az eljárásokat többek között síkképernyők és napelemek bevonatolásánál alkalmazzák.
TruPlasma RF 3012 Termék összehasonlítása |
TruPlasma RF 3020 Termék összehasonlítása |
TruPlasma RF 3024 Termék összehasonlítása |
TruPlasma RF 7040 Termék összehasonlítása |
TruPlasma RF 7050 Termék összehasonlítása | |
|---|---|---|---|---|---|
| Nagyfrekvenciás kimenet | |||||
| Kimenő teljesítmény | 12 kW | 20 kW | 24 kW | 40 kW | 50 kW |
| Névleges teljesítmény | 12 kW | 20 kW | 24 kW | 40 kW | 50 kW |
| Névleges terhelő impedancia | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω |
| Kimeneti frekvencia | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz |
| Hálózati csatlakozási adatok | |||||
| Hálózati feszültség | 400 - 480 V | 400 - 480 V | 400 - 480 V | 400 - 480 V | 400 - 480 V |
| Hálózati frekvencia | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz |
| Bemeneti teljesítmény | 16,6 kVA | 28,1 kVA | 33,3 kVA | 80 kVA | 100 kVA |
| Teljesítménytényező | 0,93 | 0,93 | 0,93 | - | - |
| Kommunikációs interfészek | |||||
| Szink. interfészek | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| Analóg/Digitális | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| RS 232 / RS 485 | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| PROFIBUS | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| EtherCAT | Igen | Igen | Igen | Nem | Nem |
| DeviceNet | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| Burkolat | |||||
| Tömeg | 57 kg | 117 kg | 117 kg | 1000 kg | 1200 kg |
| IP védettség | 20 | 20 | 20 | 54 | 54 |
| Hűtési követelmények | |||||
| Max. víznyomás | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 6 bar | 6 bar |
| Min. nyomáskülönbség | 2 bar | 2 bar | 2 bar | 2,5 bar | 2,5 bar |
| Min. térfogatáram | 10 l/min | 20 l/min | 20 l/min | 46 l/min | 56 l/min |
| Hűtőközeg hőmérséklete | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 | 10 °C - 35 °C 1 | 10 °C - 35 °C 1 |
| Általános | |||||
| Teljes hatásfok | 78 % | 75 % | 75 % | - | - |
| Tanúsítványok / Szabványok | SEMI F47,CE, RoHs | SEMI F47,CE, RoHs | SEMI F47,CE, RoHs | CE, SEMI F47 | CE, SEMI F47 |
| Környezeti feltételek | |||||
| Külső hőmérséklet | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Páratartalom | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrikus nyomás | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
TruPlasma RF 3012
|
TruPlasma RF 3020
|
TruPlasma RF 3024
|
TruPlasma RF 7040
|
TruPlasma RF 7050
| |
|---|---|---|---|---|---|
| Nagyfrekvenciás kimenet | |||||
| Kimenő teljesítmény | 12 kW | 20 kW | 24 kW | 40 kW | 50 kW |
| Névleges teljesítmény | 12 kW | 20 kW | 24 kW | 40 kW | 50 kW |
| Névleges terhelő impedancia | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω |
| Kimeneti frekvencia | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz |
| Hálózati csatlakozási adatok | |||||
| Hálózati feszültség | 400 - 480 V | 400 - 480 V | 400 - 480 V | 400 - 480 V | 400 - 480 V |
| Hálózati frekvencia | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz |
| Bemeneti teljesítmény | 16,6 kVA | 28,1 kVA | 33,3 kVA | 80 kVA | 100 kVA |
| Teljesítménytényező | 0,93 | 0,93 | 0,93 | - | - |
| Kommunikációs interfészek | |||||
| Szink. interfészek | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| Analóg/Digitális | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| RS 232 / RS 485 | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| PROFIBUS | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| EtherCAT | Igen | Igen | Igen | Nem | Nem |
| DeviceNet | Igen | Igen | Igen | Igen | Igen |
| Burkolat | |||||
| Tömeg | 57 kg | 117 kg | 117 kg | 1000 kg | 1200 kg |
| IP védettség | 20 | 20 | 20 | 54 | 54 |
| Hűtési követelmények | |||||
| Max. víznyomás | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 6 bar | 6 bar |
| Min. nyomáskülönbség | 2 bar | 2 bar | 2 bar | 2,5 bar | 2,5 bar |
| Min. térfogatáram | 10 l/min | 20 l/min | 20 l/min | 46 l/min | 56 l/min |
| Hűtőközeg hőmérséklete | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 | 10 °C - 35 °C 1 | 10 °C - 35 °C 1 |
| Általános | |||||
| Teljes hatásfok | 78 % | 75 % | 75 % | - | - |
| Tanúsítványok / Szabványok | SEMI F47,CE, RoHs | SEMI F47,CE, RoHs | SEMI F47,CE, RoHs | CE, SEMI F47 | CE, SEMI F47 |
| Környezeti feltételek | |||||
| Külső hőmérséklet | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Páratartalom | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrikus nyomás | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
Minden termékváltozat műszaki adatainak letöltésre.
A legnagyobb hatékonyság és folyamatstabilitás
A veszteségi teljesítmény felezése és a hűtővíz ráfordítás csökkentése a kiváló hatékonysági fokkal – így Ön minimálisra csökkenti az üzemeltetési költségeket. A generátorok robusztus felépítése hosszabb üzemidőket és így nagyobb bevonatolási arányt tesz lehetővé még kritikus folyamatokban is. A CombineLine technológiával hatékonyan megakadályozhatók a plazma ingadozások valódi 50 ohmos kimenő impedanciával – így abszolút stabil folyamatokat tesz lehetővé.
Biztonság minden körülményben
A robusztus felépítés az eljárás maximális megbízhatóságáról és termelékenységéről gondoskodik. A 100%-os rossz illesztés elleni védelem biztonságos üzemet biztosít kritikus terhelés esetén is. Az opcionálisan folyamatos vagy impulzusos teljesítményleadás a folyamatkövetelmények nagy sávszélességét támogatja. Világszerte már több mint 20.000 egységet telepítettek – többet, mint bármelyik másik plazma áramellátásból.
TRUMPF SystemPort
A SystemPort zárt szabályozó körforgást tesz lehetővé az RF jel mérése révén közvetlenül a matchbox bemeneténél és kimeneténél. Az RF generátornak minden mért érték rendelkezésére áll. Így a folyamatparaméterek jobban felügyelhetők, a matchbox jobban védhető, és a spontán ívkisülés felismerés időben biztosítható. A teljes RF rendszer egyes generátor interfészeken keresztül vezérelhetők.
A különböző opciók a VHF generátornak az alkalmazáshoz való optimális hozzáigazítását teszik lehetővé.
Az átgondolt spontán ívkisülés kezelés az ideális modul a legjobb plazma eljárás ellenőrzéshez. A célzott spontán ívkisülés felismerés a lehető legjobb termelékenységet garantálja, és egyidejűleg védi a terméket és a berendezést.
TruControl Power
A TruControl Power kezelőbarát vezérlő szoftver a nagyfrekvenciás generátor kényelmes üzembe helyezését és biztonságos felügyeletét teszi lehetővé a teljes TRUMPF RF rendszerben a folyamatban lévő eljárás alatt.
A TRUMPF RF rendszer minden komponense optimálisan egymásra van hangolva.
A TruPlasma Match igazító hálózatok gondoskodnak arról, hogy a generátorok optimálisan adják át a teljesítményt a plazma kisülésbe. A matchbox önállóan vagy egy intelligens generátor-matchbox kapcsolaton, az úgynevezett SystemPort-on keresztül tud üzemelni.
A főoszcillátorokkal a kritikus szinkron plazma eljárások stabilizálhatók és optimalizálhatók. Egy integrált digitális frekvencia- és fázis-szintetizátor gondoskodik nagyfokú frekvencia- és fázisstabilitásról, és a fázisállapot beállítását igen kis lépéstávolságokkal teszi lehetővé. Különböző kivitelű főoszcillátorokból lehet választani 13,56 MHz frekvenciákhoz, valamint különböző frekvencia kombinációhoz.
A nagyfrekvenciás átkapcsoló a nagyfrekvenciás generátor plazma eljárás különböző állomásain való többszörös felhasználást teszi lehetővé, például a szekvenciális eljárások áramellátásához vagy különböző betáplálási pontokkal rendelkező rendszerekben. Különböző nagyfrekvenciás átkapcsolók kaphatók két teljesítményosztályban, valamint 2, 3 vagy 4 kimenettel.
A nagyfrekvenciás teljesítményátvitelhez a TRUMPF Hüttinger olyan koaxiális vezetékeket kínál, amelyeket az 50 ohmos rendszerekben való üzemhez terveztek.
Tökéletesen egymásra hangolva: generátor és matchbox
A plazmafolyamatok olyan komplex, változó terhelésként viselkednek, amelyhez az áramellátást a generátoron keresztül folyamatosan után kell állítani. Ezt az aktív igazító hálózatok, az úgynevezett matchboxok teljesítik, amelyek mindig biztosítják az 50 ohmos optimális impedancia precíz igazítását. Így jön létre egy tökéletesen egymásra hangolt rendszermegoldás, a TRUMPF RF rendszer. A különböző interfészeken, többek között az EtherCAT-en keresztül, a generátor és a matchbox igen egyszerűen a folyamat meglévő környezetébe integrálható, és egy intelligens generátor matchbox kapcsolattal, az úgynevezett SystemPort-tal, optimalizált rendszermegoldás érhető el.
Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.
Lábjegyzetek- A hűtővízhőmérséklet a kondenzáció elkerülése érdekében magasabb kell, hogy legyen a szobahőmérséklet harmatpontjánál.
