A léghűtéses TruPlasma RF 1001 Air nagyfrekvenciás generátor akár 1000 watt nagy pontosságú, reprodukálható nagyfrekvenciás energiát ad rendkívül finom felbontásban – 100 mW-os lépésekben –, és így a legkülönbözőbb plazma alkalmazásokhoz is alkalmas. Félvezetők, napelemek vagy képernyők gyártásánál – a szabadalmaztatott TRUMPF Hüttinger technológia mindenhol a legnagyobb megbízhatóságot és a legjobb folyamat-eredményeket garantálja a modern folyamat funkcióknak köszönhetően.
Optimális és nagyon gyors frekvenciaigazítást és így a generátor és matchbox optimális együttműködését garantálja.
Az igényes és újszerű eljárások biztonságos vezetése a termék védelmét garantálja.
Az impulzusforma több fokozatú, rugalmas vezérlése a jobb folyamat-eredményekért a modern plazma folyamatokban.
Rugalmas alkalmazás és a generátorok cseréje lehetséges folyamatmódosítások vagy retrofit esetén.
A szabadalmaztatott CombineLine technológia egyenletes folyamatteljesítményt garantál a valódi 50 ohmos kimenő impedanciának köszönhetően.
A különböző teljesítményosztályokkal a nagyfrekvenciás termékcsaládon belül valamennyi folyamatkövetelmény lefedhető.
Folyamatmódosítások vagy a rendszer módosításai esetén a kábelhossz igazítás már nem szükséges.
A TruPlasma RF Air 1000 sorozat nagyfrekvenciás generátorai ideálisak az olyan eljárásokhoz, mint a RIE, ALD, PECVD és RF fémbevonás. Ezeket az eljárásokat többek között félvezető részegységek és mikromechanikus rendszerek (MEMS) gyártásánál, valamint síkképernyők és napelemek bevonatolásánál alkalmazzák.
A TruPlasma RF Air 1000 sorozat tipikus alkalmazási területei az igényes PECVD, marási és nagyfrekvenciás fémbevonó eljárásai a napelem-iparban.
Félvezetők gyártásánál különböző plazma folyamatok kerülnek alkalmazásra a lehúzási folyamatoktól a száraz maratáson át a zónaolvasztásig tiszta szilícium gyártánál. A TruPlasma RF Air 1000 sorozat generátorai minden előfeltételt biztosítanak a stabil és optimális, a mindenkori eljáráshoz igazított áramellátáshoz, így kiváló, reprodukálható eredmények érhetők el.
Legkiválóbb termelékenység és rendelkezésre állás
Stabil eljárások, reprodukálható eredmények
Kompakt és rugalmasan alkalmazható
Tizedesjegyre pontosan
A legjobb folyamat-eredmények a modern folyamatfunkcióknak köszönhetően
Rugalmas hozzáigazítás az ügyfél alkalmazásához
A teljes nagyfrekvenciás rendszer vezérlése a TRUMPF SystemPort-on keresztül
A szinkronizáló modul több generátor rugalmas és biztonságos szinkronizálását teszi lehetővé komplex plazmarendszerekben.
Az átgondolt spontán ívkisülés kezelés a plazmafolyamat optimális ellenőrzését biztosítja. A célzott spontán ívkisülés felismerés révén nő a termelékenység, egyidejűleg pedig a termék és a berendezés védett a sérülésekkel szemben.
A legújabb plazmaeljárásoknak rugalmasabbaknak kell lenniük az impulzus üzemmódban. Az impulzusforma minden fajtája elérhető a több fokozatú, szabadon válaszható impulzus üzemmóddal. Ezáltal új vezérlő mechanizmus jön létre a plazmafizikában és jobbak a folyamateredmények.
A szabadalmaztatott Auto Freuquency Tuning szimultán és gyors frekvenciaigazítást tesz lehetővé a generátor és matchbox között. Így garantáltak a legjobb folyamateredmények és a legnagyobb reprodukálhatóság.
Web-GUI
Az integrált webszerver a nagyfrekvenciás rendszer üzemét és a webböngészőn keresztüli szoftverfrissítéseket is lehetővé teszi.
TruControl Power
A kezelőbarát vezérlő szoftver a nagyfrekvenciás generátor kényelmes üzembe helyezését és biztonságos felügyeletét teszi lehetővé a teljes TRUMPF RF rendszerben a folyamatban lévő eljárás közben.
Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.
