A léghűtéses TruPlasma RF 1001 Air nagyfrekvenciás generátor akár 1000 watt nagy pontosságú, reprodukálható nagyfrekvenciás energiát ad rendkívül finom felbontásban – 100 mW-os lépésekben –, és így a legkülönbözőbb plazma alkalmazásokhoz is alkalmas. Félvezetők, napelemek vagy képernyők gyártásánál – a szabadalmaztatott TRUMPF Hüttinger technológia mindenhol a legnagyobb megbízhatóságot és a legjobb folyamat-eredményeket garantálja a modern folyamat funkcióknak köszönhetően.
Optimális és nagyon gyors frekvenciaigazítást és így a generátor és matchbox optimális együttműködését garantálja.
Az igényes és újszerű eljárások biztonságos vezetése a termék védelmét garantálja.
Az impulzusforma több fokozatú, rugalmas vezérlése a jobb folyamat-eredményekért a modern plazma folyamatokban.
Rugalmas alkalmazás és a generátorok cseréje lehetséges folyamatmódosítások vagy retrofit esetén.
A szabadalmaztatott CombineLine technológia egyenletes folyamatteljesítményt garantál a valódi 50 ohmos kimenő impedanciának köszönhetően.
A különböző teljesítményosztályokkal a nagyfrekvenciás termékcsaládon belül valamennyi folyamatkövetelmény lefedhető.
Folyamatmódosítások vagy a rendszer módosításai esetén a kábelhossz igazítás már nem szükséges.
A TruPlasma RF Air 1000 sorozat nagyfrekvenciás generátorai ideálisak az olyan eljárásokhoz, mint a RIE, ALD, PECVD és RF fémbevonás. Ezeket az eljárásokat többek között félvezető részegységek és mikromechanikus rendszerek (MEMS) gyártásánál, valamint síkképernyők és napelemek bevonatolásánál alkalmazzák.
A TruPlasma RF Air 1000 sorozat tipikus alkalmazási területei az igényes PECVD, marási és nagyfrekvenciás fémbevonó eljárásai a napelem-iparban.
Félvezetők gyártásánál különböző plazma folyamatok kerülnek alkalmazásra a lehúzási folyamatoktól a száraz maratáson át a zónaolvasztásig tiszta szilícium gyártánál. A TruPlasma RF Air 1000 sorozat generátorai minden előfeltételt biztosítanak a stabil és optimális, a mindenkori eljáráshoz igazított áramellátáshoz, így kiváló, reprodukálható eredmények érhetők el.
Legkiválóbb termelékenység és rendelkezésre állás
A nagyfrekvenciás generátorok rugalmas, robusztus formatervezése a teljesítmény növelését és az üzemeltetési költségek csökkentését teszi lehetővé.
Stabil eljárások, reprodukálható eredmények
A szabadalmaztatott CombineLine technológia az intelligens valós idejű illesztéssel a TruPlasma RF 1001 Air optimális rendelkezésre állását garantálja, és megbízhatóan megakadályozza a plazma ingadozásokat és szennyeződéseket.
Kompakt és rugalmasan alkalmazható
A kompakt felépítésnek köszönhetően (½ 19 hüvelykes betolás) a nagyfrekvenciás generátor igen helytakarékos – ideálisan alkalmas újratelepítésnél és retrofit megoldásként a meglévő berendezésekben. Az integráció a számos rendelkezésre álló interfésznek (konfigurálható analóg interfész, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) köszönhetően nagyon egyszerű.
Tizedesjegyre pontosan
A precíz, 100 mW-os lépésekben való energia adagolásnak köszönhetően a TruPlasma RF 1001 Air-rel a legmodernebb, legigényesebb alkalmazásokban is, pl. ALD, a legjobb eredmények érhetők el. A nagyfrekvenciás generátor rendkívül precíz teljesítményszabályozása a legjobb Wafer-to-Wafer ismételhetőséget garantálja.
A legjobb folyamat-eredmények a modern folyamatfunkcióknak köszönhetően
Az olyan digitális vezérlőfunkciókkal, mint a Smart Auto Frequency Tuning 2.0, spontán ívkisülés kezelés és a Multi-Level Pulsing, a nagyfrekvenciás generátor optimálisan a mindenkori eljáráshoz igazítható.
Rugalmas hozzáigazítás az ügyfél alkalmazásához
Különböző teljesítményosztályok és frekvenciák állnak rendelkezésre az egységes generátor formatervezésben, így folyamatmódosítások esetén egyszerű csere lehetséges. A kábelhossz igazítása sem szükséges.
A teljes nagyfrekvenciás rendszer vezérlése a TRUMPF SystemPort-on keresztül
A SystemPort zárt szabályozó körforgást tesz lehetővé az RF jel mérése révén közvetlenül a matchbox be- és kimeneténél, így a nagyfrekvenciás generátorhoz mindig minden mért érték rendelkezésre áll. A folyamatparamétereket állandóan felügyelik, a matchbox jobban védett, és a spontán ívkisülés felismerése időben biztosított.
A szinkronizáló modul több generátor rugalmas és biztonságos szinkronizálását teszi lehetővé komplex plazmarendszerekben.
Az átgondolt spontán ívkisülés kezelés a plazmafolyamat optimális ellenőrzését biztosítja. A célzott spontán ívkisülés felismerés révén nő a termelékenység, egyidejűleg pedig a termék és a berendezés védett a sérülésekkel szemben.
A legújabb plazmaeljárásoknak rugalmasabbaknak kell lenniük az impulzus üzemmódban. Az impulzusforma minden fajtája elérhető a több fokozatú, szabadon válaszható impulzus üzemmóddal. Ezáltal új vezérlő mechanizmus jön létre a plazmafizikában és jobbak a folyamateredmények.
A szabadalmaztatott Auto Freuquency Tuning szimultán és gyors frekvenciaigazítást tesz lehetővé a generátor és matchbox között. Így garantáltak a legjobb folyamateredmények és a legnagyobb reprodukálhatóság.
Web-GUI
Az integrált webszerver a nagyfrekvenciás rendszer üzemét és a webböngészőn keresztüli szoftverfrissítéseket is lehetővé teszi.
TruControl Power
A kezelőbarát vezérlő szoftver a nagyfrekvenciás generátor kényelmes üzembe helyezését és biztonságos felügyeletét teszi lehetővé a teljes TRUMPF RF rendszerben a folyamatban lévő eljárás közben.
Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.
