Innovatív, moduláris, kalibrálható: a TRUMPF Hüttinger új generátor platformja
A TruPlasma VHF 3000 sorozat generátorainak alapja egy olyan innovatív platform koncepció, amely a legnagyobb teljesítményspektrumot teszi lehetővé, és a legigényesebb folyamatkövetelményeket is teljesíti. A VHF generátorok moduláris és tisztán vízhűtéses felépítése a kimenő teljesítmény legfeljebb 80 kW-ig történő kalibrálását teszi lehetővé. Ezenfelül a kompakt VHF generátorok a nagyfokú gazdaságossággal és robusztus dizájnnal hívják fel magukra a figyelmet.
A meglévő Single és Multi-Level Pulsing-hoz ez a legjobb plazma eljárás ellenőrzést nyújtja.
Ezáltal a generátor gyújtás igen rugalmas vezérlése lehetséges.
Automatikus frekvenciaigazítás a generátor és matchbox optimális együttműködése érdekében.
Kiváló, reprodukálható folyamat-eredmények a rendkívül pontos digitális frekvenciamodulációnak köszönhetően.
A nagyfrekvenciás kábel hosszának igazítása nem szükséges, ezért rövid a felszerszámozási idő.
A generátorok megbízható működése hibás igazítás esetén is a CombineLine technológiának köszönhetően.
Napelemek gyártása
A napelemek területén számos alkalmazási területe van a méretre szabott munkaenergiának. Itt következő plazmafolyamatok kerülnek alkalmazásra az anyagok felhordásához és lehúzásához, pl. fémbevonó, PECVD és maratási eljárás. A TruPlasma VHF 3000 sorozat generátorai optimálisan a mindenkori eljáráshoz igazíthatóak, a gyors spontán ívkisülés kezelés a plazma stabil ellenőrzését teszi lehetővé. Így garantáltak a kiváló folyamateredmények és a nagyfokú termelékenység.
Félvezető gyártás
Félvezetők gyártásánál különböző plazmafolyamatok kerülnek alkalmazásra a lehúzási folyamatoktól a száraz maratáson át a zónaolvasztásig tiszta szilícium gyártásnál. A TruPlasma VHF 3000 sorozat generátorai minden előfeltételt biztosítanak a stabil és optimális, a mindenkori eljáráshoz igazított áramellátáshoz, így kiváló, reprodukálható eredmények érhetők el.
Ideális kis síkképernyők bevonatolásához
A TruPlasma VHF 3000 nagyfrekvenciás generátorai ideálisak az olyan eljárásokhoz, mint a RIE, ALD, PECVD és RF fémbevonás. Ezeket az eljárásokat többek között félvezető részegységek és mikromechanikus rendszerek (MEMS) gyártásánál, valamint síkképernyők és napelemek bevonatolásánál alkalmazzák.
|
Truplasma VHF 1000-2.5/60
|
TruPlasma VHF 3000-5/40
|
TruPlasma VHF 3000-10/40
|
|
|---|---|---|---|
| Nagyfrekvenciás kimenet | |||
| Kimenő teljesítmény | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW |
| Névleges teljesítmény | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW |
| Névleges terhelő impedancia | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω |
| Kimeneti frekvencia | 60 MHz | 40,68 MHz | 40,68 MHz |
| Hálózati csatlakozási adatok | |||
| Hálózati feszültség | 200 - 480 V | 200 - 480 V | 200 - 480 V |
| Hálózati frekvencia | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Bemeneti teljesítmény | 4 kVA | 9,3 kVA | 18,6 kVA |
| Teljesítménytényező | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Kommunikációs interfészek | |||
| Szink. interfészek | Igen | Igen | Igen |
| Analóg/Digitális | Igen | Igen | Igen |
| RS 232 / RS 485 | Igen | Igen | Igen |
| PROFIBUS | Nem | Nem | Nem |
| EtherCAT | Igen | Igen | Igen |
| DeviceNet | Igen | Igen | Igen |
| Burkolat | |||
| Tömeg | 23 kg | 32 kg | 53 kg |
| IP védettség | 30 | 30 | 30 |
| Hűtési követelmények | |||
| Max. víznyomás | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. nyomáskülönbség | 2 bar | 2 bar | 2 bar |
| Min. térfogatáram | 8 l/min | 8 l/min | 10 l/min |
| Hűtőközeg hőmérséklete | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C |
| Általános | |||
| Teljes hatásfok | 70 % | 70 % | 70 % |
| Tanúsítványok / Szabványok | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs |
| Környezeti feltételek | |||
| Külső hőmérséklet | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Páratartalom | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrikus nyomás | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
Minden termékváltozat műszaki adatainak letöltésre.
Rugalmas hozzáigazítás az eljáráshoz
A TruPlasma VHF 3000 sorozat moduláris platform koncepciója lehetővé teszi a kimenő vezeték kalibrálását akár 80 kW-ig. Az implementált CombineLine technológiának köszönhetően a generátor hibás igazítás esetén is igen erős marad. A széles frekvenciatartománya, valamint a változtatható hálózati feszültsége és kábelhossza a különböző alkalmazásokhoz és az alkalmazási országhoz való rugalmas testreszabást tesz lehetővé.
A legnagyobb hatékonyság és gazdaságosság
A TruPlasma VHF 3000 sorozat nagyfrekvenciás generátorai teljesen a legmodernebb félvezető technikában LDMOS teljesítménytranzisztorokkal vannak felszerelve. A kiválóan integrált planáris felépítési technika a legszélesebb teljesítményspektrumot és egyidejűleg nagyfokú energiahatékonyságot és megfelelően csökkentett hűtőteljesítményt tesz lehetővé. Ezáltal ez a család ebben a frekvenciatartományban eddig el nem ért gazdaságosságot kínál, és csökkenti a piacon szokásos üzemeltetési költségeket.
TRUMPF SystemPort
A SystemPort zárt szabályozó körforgást tesz lehetővé az RF jel mérése révén közvetlenül a matchbox bemeneténél és kimeneténél. Az RF generátornak minden mért érték rendelkezésére áll. Így a folyamatparaméterek jobban felügyelhetők, a matchbox jobban védhető, és a spontán ívkisülés felismerés időben biztosítható. A teljes RF rendszer egyes generátor interfészeken keresztül vezérelhetők.
A különböző opciók a VHF generátornak az alkalmazáshoz való optimális testreszabását teszik lehetővé.
A szabadalmaztatott Auto Freuquency Tuning megoldás szimultán és gyors frekvenciaigazítást tesz lehetővé, valamint a generátor és matchbox optimális együttműködését garantálja. E szabadalmaztatott technika révén a helyi minimum már nem akadály: az RF rendszer a legnagyobb teljesítményt nyújtja, így a legjobb folyamat-eredményeket és nagyfokú reprodukálhatóságot tesz lehetővé.
Az átgondolt spontán ívkisülés kezelés az ideális modul a legjobb plazma eljárás ellenőrzéshez. A célzott spontán ívkisülés felismerés a lehető legjobb termelékenységet garantálja, és egyidejűleg védi a terméket és a berendezést.
Rugalmas impulzusformálás: a kimeneti jel formája a folyamat mindenkori követelményeihez igazítható.
TruControl Power
A TruControl Power kezelőbarát vezérlő szoftver a nagyfrekvenciás generátor kényelmes üzembe helyezését és biztonságos felügyeletét teszi lehetővé a teljes TRUMPF RF rendszerben a folyamatban lévő eljárás alatt.
Az alkalmas rendszerkomponensek kiválasztásával a VHF generátorokat optimálisan az alkalmazásának követelményeihez igazíthatja.
A TruPlasma Match igazító hálózatok gondoskodnak arról, hogy a generátorok optimálisan adják át a teljesítményt a plazma kisülésbe. A matchbox önállóan vagy egy intelligens generátor-matchbox kapcsolaton, az úgynevezett SystemPort-on keresztül tud üzemelni.
Ennek tartalma: egy vízcsatlakozókhoz való adapter, HARTING AC ellátáshoz való készlet, jumper az interlock funkcióhoz, LEMO EPL adapter BNC female-en (Clock and Pulse sync csatlakozódugóhoz)
A főoszcillátorokkal a kritikus szinkron plazma eljárások stabilizálhatók és optimalizálhatók. Egy integrált digitális frekvencia- és fázis-szintetizátor gondoskodik nagyfokú frekvencia- és fázisstabilitásról, és a fázisállapot beállítását igen kis lépéstávolságokkal teszi lehetővé. Különböző kivitelű főoszcillátorokból lehet választani 13,56 MHz frekvenciákhoz, valamint különböző frekvencia kombinációhoz.
A nagyfrekvenciás átkapcsoló a nagyfrekvenciás generátor plazma eljárás különböző állomásain való többszörös felhasználást teszi lehetővé, például a szekvenciális eljárások áramellátásához vagy különböző betáplálási pontokkal rendelkező rendszerekben. Különböző nagyfrekvenciás átkapcsolók kaphatók két teljesítményosztályban, valamint 2, 3 vagy 4 kimenettel.
A nagyfrekvenciás teljesítményátvitelhez a TRUMPF Hüttinger olyan koaxiális vezetékeket kínál, amelyeket az 50 ohmos rendszerekben való üzemhez terveztek.
Tökéletesen egymásra hangolva: a TRUMPF RF rendszer
A plazmafolyamatok olyan komplex, változó terhelésként viselkednek, amelyhez az áramellátást a generátoron keresztül folyamatosan után kell állítani. Ezt az aktív igazító hálózatok, az úgynevezett matchboxok teljesítik, amelyek mindig biztosítják az 50 ohmos optimális impedancia precíz igazítását. Így jön létre egy tökéletesen egymásra hangolt rendszermegoldás, a TRUMPF RF rendszer. A különböző interfészeken, többek között az EtherCAT-en keresztül, a generátor és a matchbox igen egyszerűen a folyamat meglévő környezetébe integrálható, és egy intelligens generátor matchbox kapcsolattal, az úgynevezett SystemPort-tal, optimalizált rendszermegoldás érhető el.
Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.
Lábjegyzetek-
A hűtővízhőmérséklet a kondenzáció elkerülése érdekében magasabb kell, hogy legyen a szobahőmérséklet harmatpontjánál.
