Az igényes eljárások független kezelése
A TruPlasma DC 4000 (G2) sorozatot speciálisan a nehéz anyagokkal való reaktív DC fémbevonáshoz fejlesztették ki. Az impulzusvezérlésű egyenárammal működő generátorok különösen a kritikus PVD és PECVD eljárásokban válnak be, amelyeknél egyidejűleg követelmény a legjobb rétegminőség és termelékenység. A kompakt DC folyamat áramellátás az impulzusvezérlésű és a Bias üzemben is alkalmazható – úgymond két készülék egy burkolatban!
A digitális jelfeldolgozás stabil eljárásokat és minimális spontán ívkisülés általi időveszteséget garantál.
A gyors spontán ívkisülés kezelés a DC impulzus technológiával kombinálva minimalizálja a szubsztrátum sérüléseit.
A széles frekvencia-spektrumnak és az igazítható tartalék feszültségnek köszönhetően.
Az integrált vízhűtés helyet takarít meg, és csökkenti a karbantartásigényt.
Kemény anyag bevonatolás
A funkcionális rétegek felvitelével az erősen igénybe vett munkadarabok kéregedzése és tapadó súrlódása, valamint a termikus és vegyi stabilitása jobb lesz. A TruPlasma DC 4000 (G2) sorozat impulzusvezérlésű generátorai stabil plazma eljárásról és így optimális rétegminőségről gondoskodnak.
Fémbevonat
A PVD eljárás segítségével a leheletvékony fémrétegek felvihetők a különböző anyagokra, hogy optimális optikai és elektromos tulajdonságokat biztosítsanak nekik. Az optimálisan a folyamatparaméterekhez igazított áramellátás teljesen homogén, hibátlan rétegek leválasztását teszi lehetővé.
Napelem gyártás
Az elektromos tulajdonságok befolyásolására a napelemeket, de a síkképernyőket és érintőképernyőket is, elektromosan vezetőképes anyagokkal (TCO) vonják be. Az igen alacsony spontán ívkisülés energia miatt a TruPlasma DC 4000 (G2) sorozat impulzusvezérlésű generátorai erre kiválóan alkalmasak.
Építészeti üveg
Az építészeti üveg nagy felületű bevonatolása a PVD plazma eljárásban különösen magas követelményeket támaszt az eljárás áramellátásával szemben. A TruPlasma DC 4000 (G2) sorozat impulzusvezérlésű generátorai ideális feltételeket nyújtanak a kiváló minőségű bevonatoláshoz.
|
TruPlasma DC 4010 (G2)
|
TruPlasma DC 4020 (G2)
|
TruPlasma DC 4040 (G2)
|
|
|---|---|---|---|
| Kimenet | |||
| Névleges teljesítmény | 10 kW | 20 kW | 40 kW |
| Maximális kimeneti áramerősség | 33 A eff | 67 A eff | 133 A eff |
| Maximális kimeneti feszültség | 1200 V eff | 1200 V eff | 1200 V eff |
| Névleges üzemi frekvencia | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
| Spontán ívkisülés paraméter | |||
| Maximális spontán ívkisülés-arány | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Arc Energia | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW |
| Spontán ívkisülés kezelési ideje | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs |
| Gyújtási feszültségek | |||
| gyújtási segítséggel | 1750 V | 1750 V | 1750 V |
| gyújtási segítség nélkül | 1250 V | 1250 V | 1250 V |
| Hálózati csatlakozási adatok | |||
| Hálózati feszültség | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V |
| Hálózati frekvencia | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Kommunikációs interfészek | |||
| Analóg/Digitális | Igen | Igen | Igen |
| RS 232 / RS 485 | Igen | Igen | Igen |
| PROFIBUS | Igen | Igen | Igen |
| EtherCAT | Nem | Nem | Nem |
| DeviceNet | Igen | Igen | Igen |
| Burkolat | |||
| Tömeg | 65 kg | 75 kg | 150 kg |
| IP védettség | 40 | 40 | 40 |
| Hűtési követelmények | |||
| Hűtőközeg | Víz | Víz | Víz |
| Max. víznyomás | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. nyomáskülönbség | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. térfogatáram | 8 l/min | 8 l/min | 16 l/min |
| Hűtőközeg hőmérséklete | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| DC csatlakozás adatai | |||
| Csatlakozók száma | 3 | 3 | 3 |
| Névleges áram / csatlakozó | 25 A | 45 A | 85 A |
| Általános | |||
| Teljes hatásfok | 90 % | 90 % | 90 % |
| Tanúsítványok / Szabványok | CE | CE | CE |
| Környezeti feltételek | |||
| Külső hőmérséklet | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Páratartalom | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrikus nyomás | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Minden termékváltozat műszaki adatainak letöltésre.
Kiváló rétegminőség és termelékenység
A gyors spontán ívkisülés kezelés és DC impulzus technológia kombinációja hatására kisebb a cseppek aránya és kevesebb a felületi sérülés. Az eljárásnak a spontán ívkisülés miatti megszakításai minimalizálódnak, a leválasztási arány jelentősen nő.
Rugalmas hozzáigazítás az eljáráshoz
Az impulzusfrekvencia széles tartományban igazítható, ezenfelül a DC generátor Bias üzeme lehetséges. Így ugyanazt a készüléket számos alkalmazáshoz használhatja. A mellékelt felügyelő eszközök segítenek Önnek az eljárás optimalizálásában.
A különböző opciók révén a DC impulzusvezérlésű generátor optimálisan az alkalmazáshoz igazítható.
A TruPlasma DC 4000 (G2) sorozat több egyenáramú generátora egyidejűleg üzemeltethető. Ez az üzemmód több egyenáramú generátor spontán ívkisülés felismerésének szinkronizálását teszi lehetővé, amelyek különböző célokhoz vannak igazítva. Az impulzus üzemmód is szinkronizálható.
PVD Power
A kezelőbarát, többnyelvű PVD Power szoftver a kezelés, konfiguráció és diagnózis sokrétű lehetőségeit kínálja az eljárás minőségének és a hatékony hibaelhárítás optimalizálásához, minden releváns folyamatparaméter tényleges értékének, illetve a figyelmeztetések és riasztások kijelzéséhez, valamint az előírt értékek kezelő általi megadásához, illetve a fontos üzemi paraméterek feljegyzését és megjelenítését időbeli felbontással (oszilloszkóp funkcióval).
Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.
