Plazmagerjesztések

TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat

A legjobban az osztályukban

Bezár

Az eljárás teljes ellenőrzése

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozattal mindig ellenőrzés alatt tartja az eljárást: az átgondolt spontán ívkisülés kezeléssel és gyújtással a generátorok ideálisak áramellátásként a nagy felületű bevonatoláshoz (large area coating) és az olyan igényes reaktív eljárásokhoz a kettős magnetron fémbevonásnál. A több mint 90%-os kimagasló hatékonysági fokkal, valamint a rendkívül hatékony hűtővíz kezeléssel egyidejűleg rendkívül gazdaságosak üzemelés közben.

Legkiválóbb rétegminőség és termelékenység

Kiváló eredmények és nagy bevonatolási arány a legnehezebb reaktív eljárásokban is.

Maximális hatékonyság

A több mint
90%-os kimagasló hatékonysági fokkal a gyártás hatékonysági foka 80% felett van.

Stabil áramellátás minden klímában

Megbízható működés magas hűtővíz-hőmérséklet és alacsony nyomáskülönbségek esetén is.

Világszerte alkalmazható

Változó hálózati feszültség, ezért nem szükséges műszaki igazítás.

Csúcskategóriás, közepes formátumú áramellátás

Építészeti üveg nagy felületű bevonatolása (large area coating): az olyan igényes anyagok, mint a SiOx a legkomolyabb elvárásokat támasztják az áramellátás stabilitásával szemben.

A legvékonyabb rétegek felvitele

Síkképernyők és érintőpanelek bevonatolása: a kettős magnetron fémbevonással a legvékonyabb (nm), nagy szilárdságú és homogén AlxOx rétegek kerülnek felvitelre.

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat középfrekvenciás generátora ultravékony rétegek felviteléhez

Napelem gyártás

Szolárüveg bevonatolása: a TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat stabil áramellátása a legvékonyabb TCO rétegek homogén felvitelét teszi lehetővé közepes formátumú fémbevonással.

-/-

Megszakítás

Termékek összehasonlítása

Kiinduló termék Az Ön kiinduló terméke

Összehasonlítás most

	TruPlasma MF 7050 (G2) UltraFast Termék összehasonlítása	TruPlasma MF 7075 (G2) UltraFast Termék összehasonlítása	TruPlasma MF 7100 (G2) UltraFast Termék összehasonlítása	TruPlasma MF 7120 (G2) UltraFast Termék összehasonlítása	TruPlasma MF 7150 (G2) UltraFast Termék összehasonlítása	TruPlasma MF 7050 (G2) Termék összehasonlítása	TruPlasma MF 7075 (G2) Termék összehasonlítása	TruPlasma MF 7100 (G2) Termék összehasonlítása	TruPlasma MF 7120 (G2) Termék összehasonlítása	TruPlasma MF 7150 (G2) Termék összehasonlítása
Kimenet
Névleges teljesítmény	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Maximális kimeneti áramerősség	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff
Maximális kimeneti feszültség	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff
Névleges üzemi frekvencia	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Spontán ívkisülés paraméter
Maximális spontán ívkisülés-arány	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Arc Energia	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Spontán ívkisülés kezelési ideje	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Gyújtási feszültségek
gyújtási segítséggel	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
gyújtási segítség nélkül	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Hálózati csatlakozási adatok
Hálózati feszültség	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Hálózati frekvencia	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Bemeneti teljesítmény	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Teljesítménytényező	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Burkolat
Tömeg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
IP védettség	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Hűtési követelmények
Hűtőközeg	Víz	Víz	Víz	Víz	Víz	Víz	Víz	Víz	Víz	Víz
Max. víznyomás	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
Min. nyomáskülönbség	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar
Min. térfogatáram	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Hűtőközeg hőmérséklete	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
Általános
Teljes hatásfok	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Tanúsítványok / Szabványok	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18
Környezeti feltételek
Külső hőmérséklet	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

Termékek összehasonlítása Összehasonlítás befejezése Összehasonlítás befejezése	TruPlasma MF 7050 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7075 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7100 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7120 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7150 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7050 (G2)	TruPlasma MF 7075 (G2)	TruPlasma MF 7100 (G2)	TruPlasma MF 7120 (G2)	TruPlasma MF 7150 (G2)
Kimenet
Névleges teljesítmény	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Maximális kimeneti áramerősség	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff
Maximális kimeneti feszültség	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff
Névleges üzemi frekvencia	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Spontán ívkisülés paraméter
Maximális spontán ívkisülés-arány	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Arc Energia	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Spontán ívkisülés kezelési ideje	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Gyújtási feszültségek
gyújtási segítséggel	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
gyújtási segítség nélkül	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Hálózati csatlakozási adatok
Hálózati feszültség	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Hálózati frekvencia	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Bemeneti teljesítmény	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Teljesítménytényező	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Burkolat
Tömeg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
IP védettség	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Hűtési követelmények
Hűtőközeg	Víz	Víz	Víz	Víz	Víz	Víz	Víz	Víz	Víz	Víz
Max. víznyomás	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
Min. nyomáskülönbség	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar
Min. térfogatáram	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Hűtőközeg hőmérséklete	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
Általános
Teljes hatásfok	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Tanúsítványok / Szabványok	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18
Környezeti feltételek
Külső hőmérséklet	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

PDF <1MB

Műszaki adatlap

Minden termékváltozat műszaki adatainak letöltésre.

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat generátorai a legnagyobb fokú hatékonyságot garantálják

Maximális gazdaságosság és rugalmasság

Az üzemelés kiváló hatékonysági foka és a TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat rugalmas hűtési koncepciója a legnagyobb gazdaságosságot garantálja a teljes élettartam alatt. Az áramellátás nehéz klíma- és telepítési feltételek mellett is mindig stabil marad – a magas hűtővíz-hőmérséklet, az alacsony víznyomás és a magas páratartalom nem befolyásolja az eljárás minőségét. A széles üzemi feszültségtartománynak köszönhetően a középfrekvenciás generátor műszaki igazítások nélkül világszerte használható.

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat középfrekvenciás generátora

Az eljárás precíz vezérlése

Csak kevés paraméter beállítással precízen irányíthatja a rétegminőséget és a termelékenységet. Így Ön optimális egyensúlyt talál a spontán ívkisülés kezelés érzékenysége és a kívánt teljesítőképesség között. Ezenkívül számos interfész és a kényelmes TruControl Power kezelői szoftver hatékony konfigurációt és diagnózist biztosít.

Fölényes spontán ívkisülés kezelés

A gyors reakciósebesség és a megfelelően csökkentett maradék energia stabil eljárásról és fémbevonási arányról gondoskodik. A generátor megbízhatóan felismeri és megakadályozza a spontán ívkisülés kialakulását és a céltárgyban keletkező termikus stresszt – az eredmény: teljesen homogén rétegek a szubsztrátum teljes felületén. Ezenkívül a gyors és megbízható spontán ívkisülés kezelés a generátor problémamentes üzemelését teszi lehetővé a feszültségszabályozott átmeneti tartományban (transition mode).

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozathoz számos opció áll rendelkezésre, amelyekkel a középfrekvenciás generátor az alkalmazás követelményeihez igazítható.

Bővített frekvenciatartomány

A legfeljebb 100 kW teljesítményű középfrekvenciás generátorok opcionálisan bővített, 20–70 kHz-es frekvenciatartománnyal is kaphatók (a standard 20–50 kHz).

Gyújtó

Ezáltal csökken a spontán ívkisülés kialakulása és a céltárgyban keletkező termikus stressz. A gyújtófeszültség és a rámpaidő egyénileg beállítható.

Ultragyors spontán ívkisülés kezelés

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat különösen érzékeny spontán ívkisülés kezeléssel szerelhető fel (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, a standard ≤ 10 mJ/kW). Az UltraFastTreatment-hez 3. biztonsági kategória szükséges.

Für alle Fälle gerüstet

Profinet, Profibus, EtherCAT sowie analoge und digitale Schnittstellen ermöglichen eine einfache Einbindung der TruPlasma MF Serie 7000 in bestehende Anlagen.

Minden esethez felszerelve

ProfiNet, Profibus, EtherCAT, valamint analóg és digitális interfészekkel a TruPlasma MF 7000 sorozat egyszerűen a meglévő berendezésekbe integrálható.

Aktive Schaltschrankentfeuchtung

Für Umgebungen mit sehr hoher Luftfeuchtigkeit kann der Generator-Schaltschrank mit einer aktiven Entfeuchtungseinheit ausgestattet werden. Für deren Betrieb ist eine Kühlwasserregelung erforderlich.

Kapcsolószekrény ajtó

A kapcsolószekrény ajtó opcionálisan különösen széles, 180°-os nyílásszöggel kapható (a standard 130°).

Aktív kapcsolószekrény víztelenítő

A magas páratartalmú környezethez a generátor kapcsolószekrény aktív víztelenítő egységgel szerelhető fel. Ennek üzemeléséhez hűtővízszabályozó szükséges.

TruControl Power

Az alkalmazásbarát, többnyelvű TruControl Power vezérlő szoftver a kezelés, konfiguráció és diagnózis sokrétű lehetőségeit kínálja.

Az alkalmas rendszerkomponensek kiválasztásával a TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat kiválóan igazítható a rendszerkörnyezethez.

Közepes formátumú teljesítménykábel

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozathoz optimalizált TRUMPF Hüttinger közepes formátumú teljesítménykábeleket kap. Ezek mindig optimális rendszerteljesítményt biztosítanak.

Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.