První volba pro aplikace HiPIMS
Generátory TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2) lze bez modifikací použít jako alternativu ke generátorům stejnosměrného proudu ve stávajících systémech magnetronového naprašování vrstev. Poskytují povlakování tvrdými materiály obzvláště odolné vůči korozi a opotřebení a jsou proto první volbou pro aplikace naprašování magnetronem s vysokovýkonnými impulzy.
Bezvadné špičkové výkony až 4 MW vytvářejí extrémně hustou plazmu s vysokými toky iontů.
Jednoduché přizpůsobení dostupným katodovým systémům a procesním podmínkám umožňuje optimální připojení přístrojů.
Jako novinka v oblasti pulzních procesů PVD naprašování vrstev zajišťuje proces HiPIMS povlakování tvrdými materiály obzvláště odolné vůči korozi a opotřebení.
Využitelné i v režimu stejnosměrného proudu, není nutný žádný dodatečný generátor stejnosměrného proudu.
Povlakování tvrdými materiály
Nanášením funkčních vrstev získávají silně namáhané obrobky vyšší tvrdost hran a přilnavost i lepší tepelnou a chemickou stabilitu. Generátory TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2) zajišťují maximálně stabilní plazmový proces a tím i vynikající kvalitu vrstvy.
Polovodiče/fotovoltaika
V oblasti fotovoltaiky a polovodičů jsou četné oblasti použití pro procesní energii upravenou na míru. Generátory TruPlasma Highpulse série 4000 (G2) lze optimálně přizpůsobit příslušnému procesu a umožňují vynikající parametry povlakování a vysokou produktivitu.
Povrstvení skla
Velkoplošné povlakování architektonického skla v plazmovém procesu PVD klade obzvláště vysoké nároky na procesní napájení. Generátory TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2) nabízí ideální předpoklady pro kvalitní výsledek povlakování.
Optimální výsledky procesu
Na základě špičkových vysokých výkonů je vyráběna vysoce ionizovaná plazma a jsou umožněny vysoké toky iontů. Tímto způsobem je možné dosáhnout velmi koherentní a husté filmy bez kapiček. V kombinaci s polarizovanými konfiguracemi substrátu nabízí generátory laserů TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2) zásadní výsledky pro aplikace leptání a výplň rýhy.
Plně digitální správa elektrického oblouku
Nastavitelné trvání pulzu a frekvence, rozšířené výkonové parametry a plně digitální správa elektrického oblouku s velmi malou energií oblouku umožňují naprašování bez kapek, minimální vady filmu a zaručují vysokou kvalitu vrstev a rychlost nanášení vrstev.
Vynikající povlakování
Velká energie a vysoké napětí až 2 kV umožňují výrobu vysoce kvalitních povrstvení jak v malých laboratořích, tak i ve velkých průmyslových zařízeních. Impulzy až 5 ms a frekvence až 10 kHz zvyšují rychlost nanášení vrstev a pomáhají tak snižovat celkové provozní náklady.
Vysoká procesní stabilita
Regulace výkonu s nastavitelnou frekvencí zajišťuje, aby parametry nanášení zůstávaly konstantní i při náročných reaktivních procesech. Procesy tak zůstávají stabilní i celé hodiny a dny, aniž by byl nutný zásah.
Kompaktní jednotka
Generátory řady TruPlasma Highpulse jsou jednotkou s kompaktní velikostí. Nevyžadují žádné externí napájení stejnosměrným proudem, jsou kompletně chlazené vodou a umožňují tak práci v čistých prostorách.
Různé možnosti zaručují optimální přizpůsobení TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2) vaší aplikaci.
Plně digitální správa elektrického oblouku s velmi nízkou energií oblouku umožňuje vysokou kvalitu vrstev i rychlost nanášení vrstev.
PVD Power
Uživatelsky přívětivý, vícejazyčný software PVD Power nabízí rozmanité možnosti ovládání, konfigurace a diagnostiky pro optimalizaci kvality procesu a efektivní odstraňování chyb: zobrazení skutečných hodnot všech relevantních procesních parametrů a varování a hlášení alarmů, požadavek operátora na implicitní hodnoty a záznam a vizualizace důležitých provozních parametrů s vysokým časovým rozlišením (funkce osciloskopu).
V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.
