Pro zajištění funkčnosti této webové prezentace používáme cookies. Pokud nám chcete povolit použití cookies i pro další účely, klikněte zde. Informace o deaktivaci cookies a ochraně osobních údajů
VHF generátor série 3000
VHF generátor série 3000
Excitace plazmy
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma VHF série 3000

Vyhoví každému nároku

Inovativní, modulární, škálovatelný: nová platforma generátoru od TRUMPF Hüttinger

Generátory TruPlasma VHF série 3000 jsou založeny na inovativním konceptu platformy, který umožňuje nejvyšší hustoty výkonu a splňuje nejnáročnější procesní požadavky. Modulární a pouze vodou chlazená konstrukce umožňuje škálování výstupního výkonu až do 80 kW. Kromě toho přesvědčí kompaktní VHF generátory vysokou úsporou nákladů a robustním designem.

Přesné a rychlé arbitrární tvarování impulzu

Navíc ke stávajícímu jednoduchému a několikaúrovňovému tvarování impulzu nabízí maximální kontrolu plazmového procesu.

Minimální náběh v čase < 150 ns

Díky tomu je možné velmi flexibilní řízení chování generátoru při zapalování.

Smartes Auto Frequency Tuning

Automatické přizpůsobení frekvence pro optimální souhru generátoru a matchboxu.

Spolehlivá a vylepšená procesní kontrola

Vynikající, opakovatelné výsledky procesu díky vysoce přesné digitální frekvenční modulaci.

Nezávislost na délce kabelu

Žádná nutnost přizpůsobení délky VF kabelu při procesních změnách, z toho plynou krátké doby přípravy stroje.

Robustní design

Spolehlivá funkce generátoru i při chybném přizpůsobení díky technologii CombineLine.

Typická oblast použití TruPlasma VHF série 3000: výroba solárních článků

Výroba solárních článků

Ve fotovoltaice jsou četné oblasti použití pro procesní energii střiženou na míru. Zde se používají různé plazmové procesy pro nanášení a odstraňování materiálu, např. procesy naprašování, PECVD a leptání. Generátory TruPlasma VHF série 3000 lze optimálně přizpůsobit příslušnému procesu, přičemž rychlá správa elektrického oblouku umožňuje stabilní ovládání plazmatu. Tím jsou zaručeny vynikající výsledky procesu a vysoká produktivita.

Ideálně vhodné pro procesy leptání a nanášení

Polovodičová výroba

Při výrobě polovodičů se používají různé plazmové procesy, od procesů odstraňování pomocí suchého leptání až po proces tavby letmou zónou při výrobě nejčistšího křemíku. Generátory TruPlasma VHF série 3000 nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže dosahujete vynikajících, opakovatelných výsledků.

Elektrické napájení střední frekvence špičkové třídy pro povlakování plochých obrazovek

Ideální pro povlakování plochých obrazovek

Vysokofrekvenční generátory TruPlasma VHF série RF 3000 se ideálně hodí pro plazmové procesy jako RIE, ALD, PECVD a vysokofrekvenční naprašování (RF sputtering). Tyto metody se používají mimo jiné při výrobě konstrukčních prvků polovodičů a mikromechanických systémů (MEMS) i při povlakování plochých obrazovek a solárních článků.

- / -
TruPlasma VHF 3005
RF výstup  
Výstupní výkon 5 kW
Jmenovitý výkon 5 kW
Impedance při jmenovitém zatížení 50 Ω
Výstupní frekvece 40,68 MHz
Data připojení k síti  
Síťové napětí 200 - 480 V
Síťová frekvence 50-60 Hz
Příkon v síti 18 kVA
Účiník 0,95
Komunikační rozhraní  
Rozhraní Sync Ano
Analogový/digitální Ano
RS 232 / RS 485 Ano
PROFIBUS Ano
EtherCAT Ano
DeviceNet Ano
Skříň  
Hmotnost 55 kg
Krytí IP 30
Požadavky na chlazení  
Max. tlak vody 7 bar
Min. tlakový rozdíl 2 bar
Min. průtokové množství 8 l/min
Teplota chladiva 5 °C - 35 °C 1
Všeobecně  
Celková účinnost 75 %
Certifikáty / standardy Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs
Podmínky prostředí  
Venkovní teplota 5 °C - 40 °C
Vlhkost vzduchu 5 % - 85 %
Barometrický tlak 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Technický datový list

Technické údaje všech produktových variant jako soubory ke stažení.

Technologie Combine-line TruPlasma VHF série 3000

Flexibilní přizpůsobení procesu

Modulární koncept platformy TruPlasma VHF série 3000 umožňuje škálování výstupního vedení až do 80 kW. Díky implementované technologii CombineLine se generátor chová i při chybném přizpůsobení velmi robustně. Jeho široké frekvenční pásmo i variabilní síťové napětí a délka kabelu dovolují flexibilní přizpůsobení různým aplikacím a zemím použití.

Vysokofrekvenční generátor pro paralelní kmitavé obvody

Maximální efektivita a úspora nákladů

Vysokofrekvenční generátory TruPlasma VHF série 3000 jsou kompletně konstruovány v nejmodernější polovodičové technice s výkonovými tranzistory LDMOS. Vysoce integrovaná planární konstrukční technika umožňuje maximální hustoty výkonu při současně vysoké energetické efektivitě a odpovídajícím způsobem sníženému chladicímu výkonu. Proto tato řada nabízí úsporu nákladů, které nebylo v tomto frekvenčním pásmu dosud dosaženo a snižuje běžné provozní náklady na trhu.

TruPlasma RF_systémový port

TRUMPF SystemPort

SystemPort umožňuje uzavřený regulovaný oběh pomocí měření RF signálu přímo na vstupu a výstupu matchboxu. RF generátor má k dispozici veškeré naměřené hodnoty. Díky tomu lze lépe monitorovat procesní parametry, chránit matchbox a zaručit včasnou identifikaci elektrického oblouku. Kompletní RF systém lze řídit pomocí jednoho generátorového rozhraní.

Různé možnosti umožňují optimální přizpůsobení VHF generátoru vaší aplikaci.

Smart Auto Frequency Tuning

Patentované řešení Auto Frequency Tuning umožňuje simultánní a rychlé přizpůsobení frekvence a zaručuje optimální souhru generátoru a matchboxu. Pomocí této patentované techniky není lokální minimum již žádnou překážkou: RF systém je doveden do optimálního stavu a proto umožňuje ty nejlepší procesní výsledky a vysokou opakovatelnost.

Správa elektrického oblouku

Promyšlená správa elektrického oblouku je ideálním modulem pro optimální kontrolu plazmového procesu. Cílená identifikace elektrického oblouku zaručuje maximální produktivitu a zároveň chrání výrobek a vaše zařízení.

Flexibilní tvarování impulzu

Flexibilní tvarování impulzu: tvar výstupního signálu lze libovolně přizpůsobit příslušným procesním požadavkům.

Uživatelsky přívětivý software TruControl Power

TruControl Power

Uživatelsky přívětivý řídicí software TruControl Power umožňuje pohodlné uvedení do provozu a bezpečnou kontrolu vysokofrekvenčního generátoru, příp. celého TRUMPF RF systému za provozu.

Výběrem vhodných systémových komponent můžete VHF generátor optimálně přizpůsobit požadavkům své aplikace.

Řešení vysokofrekvenčního systému: matchbox pro maximální procesní stabilitu
Matchbox

Přizpůsobovací sítě TruPlasma Match zajišťují optimální přenos výkonu od generátoru do plazmového výboje. Provoz matchboxu může probíhat samostatně nebo přes inteligentní spojení generátoru a matchboxu, tak zvaný SystemPort.

Sada příslušenství pro TruPlasma VHF série
Sada příslušenství

Tato sada obsahuje adaptér pro připojení vody, sadu pro HARTING AC napájení, jumper pro funkci spojení, adaptér LEMO EPL na BNC female (pro konektor Clock and Pulse sync).

Master oscilátor pro stabilizaci kritických synchronních plazmových procesů
Master oscilátory

Pomocí master oscilátorů je možné stabilizovat a optimalizovat kritické synchronní plazmové procesy. Integrovaný digitální frekvenční a fázový syntetizátor zajišťuje vysokou frekvenční a fázovou stabilitu a umožňuje nastavení fázové polohy s velmi malou velikostí kroku. Lze vybrat různá provedení master oscilátorů pro frekvenci 13,56 MHz a různé kombinace frekvencí.

VHF generátor série 3000
VF přepínač

VF přepínač dovoluje vícenásobné použití vysokofrekvenčního generátoru na různých plazmových procesních stanicích, například pro elektrické napájení postupných procesů nebo v systémech s různými napájecími body. K dispozici jsou různé VF přepínače ve dvou výkonových třídách a s 2, 3 nebo 4 výstupy.

Koaxiální kabely pro přenos specifikovaného výkonu
Koaxiální kabely

Pro přenos vysokofrekvenčního výkonu nabízí TRUMPF Hüttinger koaxiální kabely, které jsou speciálně vytvořeny pro provoz v 50ohmových systémech.

Generátor a matchbox: dokonale přizpůsobené systémové řešení

Dokonalá souhra: TRUMPF RF systém

Plazmové procesy se chovají jako komplexní, proměnlivé zatížení, ke kterému je nutné generátorem neustále dovádět elektrické napájení. To činí aktivní přizpůsobovací sítě, tzv. matchboxy, které zajišťují vždy přesné přizpůsobení optimální impedanci 50 ohmů. Tak vzniká dokonale přizpůsobené systémové řešení, systém TRUMPF RF. Pomocí různých rozhraní, mj. EtherCAT, můžete generátor a matchbox velmi jednoduše integrovat do svého stávajícího procesního prostředí a díky inteligentnímu spojení matchboxu a generátoru, tak zvaného SystemPort, dosáhnout optimalizovaného systémového řešení.

V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, výbavy, ceny a nabídky příslušenstvi jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte vašeho místního partnera.

Poznámky pod čarou
  • Teplota chladicí vody musí být vyšší než rosný bod teploty prostředí, aby se zabránilo kondenzaci.

Také by vás mohla zajímat tato témata

Kontakt

Klaus Nock
Odbyt plazmová zařízení
Fax: +49 761 89711150
E-mail

Stažení

Brožura TruPlasma RF System
Brožura TruPlasma RF System
pdf - 6 MB
Leták TruPlasma VHF série 3000
pdf - 1 MB
Servis a kontakt

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Czech Republic . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Czech Republic
United States

Or select a country or region.