Volle Kontrolle über den Prozess
Mit der TruPlasma Serie MF 7000 (G2) haben Sie Ihren Prozess jederzeit unter Kontrolle: Mit ihrem überlegenen Arc-Management und Zündverhalten eignen sich die Generatoren ideal als Stromversorgungen für großflächige Beschichtungen (Large Area Coating) und anspruchsvolle reaktive Prozesse beim Dual Magnetron Sputtering. Mit Spitzenwirkungsgraden von über 90 % sowie einem besonders effizienten Kühlwassermanagement sind sie zugleich äußerst wirtschaftlich im Betrieb.
Exzellente Ergebnisse und hohe Beschichtungsraten selbst in schwierigsten reaktiven Prozessen.
Mit Spitzenwirkungsgraden
über 90 % werden Betriebswirkungsgrade über 80 % erreicht.
Zuverlässige Funktion auch bei hohen Kühlwassertemperaturen und niedrigen Differenzdrücken.
Variable Anschlussspannung, daher keine technischen Anpassungen erforderlich.
MF-Stromversorgung der Spitzenklasse
Großflächenbeschichtung (Large Area Coating) von Architekturglas: Anspruchsvolle Materialien wie SiOx stellen höchste Ansprüche an die Stabilität der Stromversorgung.
Aufbringung dünnster Schichten
Beschichtung von Flachbildschirmen und Touch Panels: Mittels Dual Magnetron Sputtering werden dünnste (nm), hochfeste und homogene AlxOx Schichten aufgebracht.
Solarzellenherstellung
Beschichtung von Solarglas: Die stabile Stromversorgung der TruPlasma MF Serie 7000 (G2) ermöglicht die homogene Aufbringung dünnster TCO-Schichten mittels MF- Sputtering.
Höchste Wirtschaftlichkeit und Flexibilität
Die hohen Betriebswirkungsgrade und das flexible Kühlungskonzept der TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantieren höchste Wirtschaftlichkeit über die gesamte Lebensdauer. Auch unter schwierigen Klima- und Installationsbedingungen bleibt die Stromversorgung jederzeit stabil – hohe Kühlwassertemperaturen, geringer Wasserdruck und hohe Luftfeuchtigkeiten beeinträchtigen die Prozessqualität nicht. Dank seines breiten Betriebsspannungsbereichs können Sie den MF-Generator ohne technische Anpassungen weltweit einsetzen.
Präzise Steuerung des Prozesses
Mit nur wenigen Parametereinstellungen können Sie die Schichtqualität und Produktivität präzise steuern. So finden Sie die optimale Balance zwischen der Empfindlichkeit der Arc-Behandlung und dem gewünschten Durchsatz. Außerdem gewährleisten eine Vielzahl von Schnittstellen und die komfortable Bediensoftware TruControl Power eine effektive Konfiguration und Diagnose.
Überlegenes Arc-Management
Hohe Reaktionsgeschwindigkeiten und entsprechend reduzierte Restenergien sorgen für stabile Prozesse und höchste Sputterraten. Arc-Bildung und thermischer Stress an den Targets erkennt und verhindert der Generator zuverlässig – das Ergebnis sind absolut homogene Schichten über die gesamte Substratfläche. Außerdem erlaubt das schnelle und zuverlässige Arc-Management einen problemlosen Betrieb des Generators im spannungsgeregelten Übergangsbereich (transition mode).
Für die TruPlasma MF Serie 7000 (G2) sind umfangreiche Optionen verfügbar, mit denen Sie den MF-Generator an die Anforderungen Ihrer Anwendung anpassen können.
Für Umgebungen mit sehr hoher Luftfeuchtigkeit kann der Generator-Schaltschrank mit einer aktiven Entfeuchtungseinheit ausgestattet werden. Für deren Betrieb ist eine Kühlwasserregelung erforderlich.
Die Schaltschranktür ist wahlweise mit einem besonders weiten Öffnungswinkel von 180° erhältlich (Standard ist 130 °C).
Profinet, Profibus, EtherCAT sowie analoge und digitale Schnittstellen ermöglichen eine einfache Einbindung der TruPlasma MF Serie 7000 in bestehende Anlagen.
Die TruPlasma MF Serie 7000 (G2) kann mit einem besonders empfindlichen Arc-Management ausgestattet werden (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, Standard ist ≤ 10 mJ/kW). Für das UltraFastTreatment ist Sicherheitskategorie 3 erforderlich.
Hierdurch werden Arc-Bildung und thermischer Stress reduziert. Zündspannung und Rampenzeit sind individuell regelbar.
Die MF-Generatoren bis 100 kW Leistung sind optional mit einem erweiterten Frequenzbereich von 20 - 70 kHz verfügbar (Standard ist 20 - 50 kHz).
TruControl Power
Die anwendungsfreundliche, mehrsprachige Steuerungssoftware TruControl Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose.
Durch Auswahl geeigneter Systemkomponenten können Sie den TruPlasma MF Serie 7000 (G2) bestmöglich an Ihre Systemumgebung anpassen.
Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.
