Shape matters - Bipolar sputtering
Sinus oder Rechteck
Bipolare Pulser der neuesten Generation
Die Prozessstromversorgungen der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) wurden speziell für die plasmagestützte Beschichtung mittels PVD-, PECVD- und reaktiven Sputter-Prozessen entwickelt und liefern mit flexibel formbaren Ausgangssignalen und einem ausgefeilten Arc-Management exzellente Ergebnisse bei der Herstellung von Solarzellen und Halbleitern, bei der Aufbringung dekorativer und verschleißfester Schichten sowie bei der Beschichtung von Architekturglas.
Volldigitales Arc-Management für höchste Schichtqualität und Produktivität.
Einfache Anpassung an unterschiedliche Prozesse durch Variation des Ausgangssignals.
DC, gepulstes DC und Bipolar: Kostenersparnis dank vielfältiger Einstelloptionen.
Keine externen Komponenten erforderlich, daher sehr geringer Platzbedarf.
Stromversorgung der Spitzenklasse
Typische Einsatzgebiete sind die Halbleiter- und Photovoltaik-Produktion, die Architekturglasbeschichtung sowie die Herstellung von dekorativen und verschleißfesten Schichten in höchster Qualität. Dabei kommen insbesondere PVD- und PECVD-Prozesse zum Einsatz.
Perfekte Schichten, hohe Produktivität
Das volldigitale Arc-Management mit sehr geringer Arc-Energie ermöglicht hohe Schichtqualitäten und Abscheideraten. Auch bei anspruchsvollen reaktiven Prozessen gewährleistet die TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) stets eine gleichmäßige Prozessstromversorgung und somit einen stabilen Plasmazustand.
Mehr Flexibilität, geringere Kosten
Über einstellbare Wellenformen können Sie die Generatoren der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) sehr einfach an unterschiedliche Prozessanforderungen anpassen. Dank der flexiblen Wahl des Ausgangssignals (DC, gepulstes DC oder Bipolar) sind sie vielseitig einsetzbar und helfen so, Ihre Gesamtbetriebskosten (TCO) zu senken.
Alles in einem Gehäuse
Dank der vollständig in das vor Umwelteinflüssen geschützten Generatorgehäuses integrierten Wasserkühlung sind keine externen Komponenten erforderlich.
PVD Power
Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener sowie Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskopfunktion).
Durch Auswahl verschiedener Systemkomponenten können Sie den Bipolar-Pulsgenerator bestmöglich an Ihre Systemumgebung anpassen.
Es stehen verschiedene Kabel- und Steckerausführungen für unterschiedliche Anschlussstandards zur Verfügung.
Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.
