Innovadora, modular, escalable: la nueva plataforma de generador de TRUMPF Hüttinger
Los generadores de la TruPlasma VHF Serie 3000 se basan en un concepto innovador de plataforma que permite altas densidades de potencia y cumple los más exigentes requisitos del proceso. La estructura modular y refrigerada completamente por agua permite una escalada de la potencia de salida hasta 80 kW. Además, los generadores VHF compactos convencen por una alta rentabilidad y un robusto diseño.
Ofrece el mejor control de los procesos de plasma para el Single y Multi-Level Pulsing existente.
Gracias a esto, control muy flexible del comportamiento de encendido del generador.
Ajuste de frecuencia automático para una interacción óptima entre el generador y la matchbox.
Resultados del proceso excelentes y reproducibles gracias a la modulación de frecuencia digital de alta precisión.
No es necesaria una adaptación de la longitud del cable de AF al cambiar de proceso, por lo que los tiempos de preparación se acortan.
Funcionamiento fiable del generador incluso con maladaptación, gracias a la tecnología CombineLine.
Producción de células solares
En el sector de la fotovoltaica, existen numerosos campos de aplicación para la energía de proceso a medida. Estos utilizan diferentes procesos de plasma para la aplicación y la abrasión de material como, por ejemplo, procesos de pulverización catódica, de PECVD y por grabado. Los generadores de la TruPlasma VHF Serie 3000 permiten adaptarse a la perfección a los procesos correspondientes, para lo cual la rápida gestión de arco posibilita un dominio del plasma estable. De esta forma, se garantizan unos resultados de proceso excelentes y una alta productividad.
Fabricación de semiconductores
En la fabricación de semiconductores se utilizan diferentes procesos de plasma, como procesos de abrasión, de grabación en seco o la fundición de zonas para la fabricación de silicio puro. Los generadores de la TruPlasma VHF Serie 3000 ofrecen todos los requisitos para una alimentación eléctrica adecuada, estable y óptima en los procesos correspondientes, para que usted obtenga unos resultados excelentes y reproducibles.
Ideal para el recubrimiento de pantallas planas
Los generadores de la TruPlasma VHF Serie 3000 están perfectamente indicados para procesos de plasma tales como RIE, ALD, PECVD y pulverización catódica por radiofrecuencia. Estos procesos se utilizan para la fabricación de, entre otros, componentes de semiconductores y sistemas microelectromecánicos (MEMS), así como para el recubrimiento de pantallas planas y células solares.
Adaptación flexible al proceso
El concepto de plataforma modular de la TruPlasma VHF Serie 3000 permite una escalada del conductor de salida hasta 80 kW, gracias a la tecnología CombineLine implementada, el generador se comporta de forma muy robusta, incluso en caso de una maladaptación. Su amplio margen de frecuencia, así como la tensión de red variable y la longitud de cable permiten una adaptación flexible a las diferentes aplicaciones y países en donde se utiliza.
Máxima eficiencia y rentabilidad
Los generadores AF de TruPlasma VHF Serie 3000 están construidos completamente con la técnica de semiconductores con transistores de potencia LDMOS. La técnica de estructura plana altamente integrada posibilita las altas densidades de potencia con una alta eficiencia energética al mismo tiempo y una potencia refrigeradora correspondientemente reducida. De esta manera, esta familia ofrece una rentabilidad nunca antes alcanzada en este margen de frecuencia y reduce los costes de servicio habituales del mercado.
TRUMPF SystemPort
La SystemPort posibilita un circuito regulador cerrado mediante la medición de la señal RF directamente en la entrada y la salida de la matchbox. El generador RF tiene disponibles todos los valores de medición. Así, pueden vigilarse mejor los parámetros de proceso, protegerse la matchbox y garantizarse una detección de arco temprana. El sistema RF completo también puede controlarse mediante una sola interfaz de generador.
Diversas opciones permiten una adaptación perfecta del generador VHF a su aplicación.
La sofisticada gestión de arco es el módulo ideal para el mejor control del proceso de plasma. Una detección de arco selectiva garantiza la máxima productividad posible y protege al mismo tiempo el producto y su instalación.
Formación de impulsos flexible: la forma de la señal de salida se puede adecuar a voluntad en las demandas de proceso correspondientes.
La solución patentada Auto Frequency Tuning posibilita una adaptación de la frecuencia simultánea y rápida, y garantiza una interacción óptima entre el generador y la matchbox. Mediante esta tecnología patentada, un mínimo local deja de ser un obstáculo: el sistema RF se lleva al grado óptimo y así, permite los mejores resultados de proceso con una alta reproducibilidad.
TruControl Power
El software de mando TruControl Power, de fácil manejo, permite una puesta en funcionamiento confortable y una supervisión segura del generador de AF o del sistema RF TRUMPF durante el proceso en marcha.
Con la selección de los componentes del sistema idóneos puede adaptar a la perfección el generador VHF a los requisitos de su aplicación.
Perfectamente armonizado: el sistema TRUMPF RF
Los procesos de plasma se comportan como una carga compleja y variable, cuya alimentación eléctrica debe ser seguida continuamente a través del generador. Esto lo realizan que las redes de adaptación, llamadas matchboxes, que en todo momento garantizan una adaptación precisa a la impedancia óptima de 50 ohmios. De este modo surge una solución de sistema perfectamente armonizada entre sí: el sistema TRUMPF RF. Mediante diversas interfaces como EtherCAT, es posible integrar el generador y la matchbox de forma fácil en los entornos de proceso existentes y, con una conexión inteligente entre generador y matchbox, la llamada SystemPort, lograr una solución de sistema optimizada.
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