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TruMicro Série 6000

Notre système de puissance femtoseconde : pour une cadence maximale et des taux d'enlèvement élevés dans la production en série

30 - 200 W Puissance laser moyenne
257 nm, 343 nm, 515 nm, 1030 nm Longueur d'onde
< 500 fs, < 850 fs, < 5 ps Durée d'impulsion
2 mJ à 1 MHz Energie d'impulsion maximale

Variantes de produit TruMicro Série 6000 Puissance laser moyenne Qualité du faisceau (M²) Longueur d'onde Durée d'impulsion Energie par pulse max. Fréquence d'impulsion
TruMicro 6020
200 W < 1,3 (en option < 1,2) 1030 nm < 850 fs, < 5 ps 200 µJ à 1 MHz ou, 2 mJ à 100 kHz  2000 kHz (single pulse picking)
TruMicro 6220
100 W 515 nm < 850 fs 100 µJ 1000 kHz 2000 kHz
TruMicro 6320
30 W (< 500 fs) ou, 62,5 W (< 850 fs) 343 nm < 500 fs ou, < 850 fs 37,5 µJ à 800 kHz (30 W) ou, 62,5 µJ à 1 MHz (62,5 W) 

Énergie d'impulsion élevée

– pour les processus exigeants et les volumes de production élevés

Les lasers TruMicro Série 6000 sont spécialisés dans les processus nécessitant des énergies d'impulsion élevées. Selon l'application, vous pouvez choisir entre des variantes avec différentes longueurs d'onde, des durées d'impulsion allant jusqu'à la plage des femtosecondes et des énergies d'impulsion allant jusqu'à 2 millijoules. Ainsi, les lasers sont compatibles avec un large éventail d'applications, de la coupe rapide de films de batterie jusqu'à l'enlèvement de verre allant jusqu'à 10 millimètres d'épaisseur, en passant par le gravage de disques de frein revêtus. Ils démontrent également leur efficacité en production de série : avec une puissance laser moyenne élevée, ils offrent la cadence appropriée et, grâce à leur construction robuste et stable, ils ont déjà fait leurs preuves à maintes reprises en fonctionnement industriel continu 24 h/24 et 7 j/7.

Les atouts du TruMicro Série 6000

– Aperçu de ses particularités
Produire plus vite et avec plus de puissance, grâce à une énergie d'impulsion élevée
Produire plus vite et avec plus de puissance, grâce à une énergie d'impulsion élevée

Les lasers TruMicro Série 6000 offrent une énergie d'impulsion plus élevée que les lasers TruMicro Série 2000. Vous augmentez ainsi la vitesse de production tout en maintenant la fréquence d'impulsion, et usinez efficacement même les composants de grande taille, comme les wafers ou les circuits imprimés.

Adapté à toute matière, grâce à des longueurs d'onde appropriées
Adapté à toute matière, grâce à des longueurs d'onde appropriées

Les lasers TruMicro Série 6000 sont disponibles avec différentes longueurs d'onde, en fonction de la matière que vous souhaitez usiner. Les lasers infrarouges conviennent à la céramique et au verre. Les lasers à longueur d'onde verte sont particulièrement adaptés aux métaux non ferreux comme le laiton ou le cuivre, ainsi qu'aux matières organiques. Les lasers UV sont utilisés pour les films, les matières plastiques et les circuits imprimés, tandis que les lasers DUV sont destinés aux empilements de films et aux films multicouches.

Usinage délicat pour les matériaux via des impulsions ultracourtes
Usinage délicat pour les matériaux via des impulsions ultracourtes

Le TruMicro Série 6000 fonctionne avec des impulsions ultracourtes qui délivrent leur énergie à la matière en un temps extrêmement court. Il en résulte une zone affectée thermiquement quasiment inexistante, pour un usinage à froid sans déformation, traces de brûlure ni retouches complexes. Dans le même temps, chaque impulsion individuelle enlève de la matière de manière ciblée, sans accumulation d'énergie dans le composant. Cela vous permet de contrôler précisément l'enlèvement de matière et d'obtenir des résultats reproductibles de manière constante. De cette manière, même des matériaux très réfléchissants tels que le cuivre ou des matériaux transparents peuvent être usinés de manière fiable.

Adaptable à toutes les tâches, avec des paramètres d'impulsion contrôlables avec précision
Adaptable à toutes les tâches, avec des paramètres d'impulsion contrôlables avec précision

Vous pouvez ajuster avec précision l'énergie et la fréquence d'impulsion en fonction de la matière et de l'application. Chaque impulsion individuelle est stabilisée énergétiquement, ce qui garantit des résultats reproductibles. Des impulsions de courte durée, de l'ordre de la femtoseconde, permettent de limiter l'apport de chaleur. La fréquence d'impulsion peut également être ajustée en cours de processus, par exemple en fonction de la vitesse d’avance de l’optique d'usinage.

Parfaitement adapté à chaque contour, avec une fréquence d'impulsion ajustée
Parfaitement adapté à chaque contour, avec une fréquence d'impulsion ajustée

Grâce à la fonction Advanced Pulse on Demand, le TruMicro Série 6000 déclenche chaque impulsion laser précisément au moment où elle est nécessaire. Cette fonction maintient l'intervalle d'impulsion constant, même en cas de variation des vitesses d'avance, par exemple dans les courbes où le faisceau laser est guidé plus lentement. Les impulsions ne se chevauchent donc pas et peuvent être positionnées avec précision le long du contour souhaité, avec une résolution spatiale allant jusqu'à l'échelle submicrométrique. Cela garantit des résultats homogènes et reproductibles, même avec des contours courts et complexes présentant des changements fréquents de vitesse et de direction, par exemple avec les évidements les plus fins, tels que les encoches d'écran.

Polyvalent dans ses effets matériels, grâce à des modes de fonctionnement flexibles
Polyvalent dans ses effets matériels, grâce à des modes de fonctionnement flexibles

En fonction de l'application, vous déterminez comment le laser émet ses impulsions : des impulsions ultracourtes uniques jusqu'aux fréquences d'impulsion élevées en mode Quasi-Continuous-Wave (QCW). En mode Burst, vous regroupez plusieurs impulsions ultracourtes en un paquet d'impulsions compact, et vous contrôlez de manière ciblée leur synchronisation et leur distribution d'énergie. Cela vous permet, par exemple, de faire fondre des surfaces de manière contrôlée ou d'enlever de la matière plus efficacement. Cela offre notamment de nouvelles possibilités d’adapter précisément le processus d’usinage à chaque application, en particulier pour les métaux.

Autres avantages

  • Une intégration facile et une évolutivité flexible, grâce aux interfaces bus de terrain communes

    Le TruMicro Série 6000 dispose d’interfaces compatibles avec tous les systèmes de bus de terrain courants, ce qui vous permet d’intégrer facilement les lasers dans le système de commande central de votre production automatisée. Cela réduit le câblage nécessaire et facilite les extensions ultérieures de l’installation.

TruMicro Série 6000 en action

– ce à quoi vous pouvez vous attendre

Différents matériaux, volumes de production élevés et résultats précis et constants : le TruMicro Série 6000 est conçu pour cela. Le champ d'application s'étend de la découpe de films pour circuits imprimés à la découpe de couches de séparation pour la production de semi-conducteurs, en passant par le perçage et l'enlèvement de matière de céramique.

Découpe de films de protection très fins

Découpe de films de protection très fins

Découper rapidement et proprement des films de batterie très fins est un défi : des bavures peuvent se former sur les bords de coupe et dans le cas du cuivre, les réflexions peuvent également provoquer des dommages thermiques.

Les lasers TruMicro Série 6000 maintiennent un faible apport de chaleur grâce à des impulsions ultracourtes et à haute énergie. Vous usinez ainsi proprement même les matériaux les plus fins, sans risque de brûlure ni de décollement. Cela augmente la durée de vie des produits et réduit vos coûts matière.

Séparer le verre proprement

Séparer le verre proprement

La séparation du verre, par exemple pour des écrans pliables, exige des bords de coupe lisses avec une faible rugosité, ce qui nécessite souvent d'importantes retouches ultérieures.

Avec les lasers TruMicro Série 6000 et notre système optique TOP Cleave, vous pouvez modifier l’arête de coupe en un seul passage, à des vitesses pouvant atteindre plusieurs mètres par seconde. Cela permet d'obtenir une rugosité < 1 µm, de sorte qu'aucune retouche n'est nécessaire.

Microperçage dans les interposeurs

Microperçage dans les interposeurs

Dans les interposeurs en verre des puces électroniques, les "Through Glass Vias" (TGV) assurent la connexion électrique entre les différentes couches. Pour cela, des centaines de trous ou de canaux doivent être réalisés avec une grande précision et à haute vitesse.

Le TruMicro Série 6000 offre des impulsions ultracourtes, des énergies d'impulsion élevées et la possibilité de générer des trains d'impulsions (Bursts). En combinaison avec notre système optique TOP Cleave, cela vous permet de modifier un canal à travers toute la matière, en une seule fois. Cette modification peut ensuite être ouverte en un TGV, par exemple par gravage laser sélectif. La technologie Advanced Pulse on Demand contrôle précisément chaque impulsion, ce qui permet des vitesses de processus élevées avec un positionnement précis.

Séparation précise des wafers à grande vitesse

Séparation précise des wafers à grande vitesse

Les scies mécaniques sont relativement lentes pour la séparation des wafers. De plus, le matériau dur des wafers accélère leur usure, ce qui implique un grand besoin en maintenance.

Les impulsions laser ultracourtes sont largement insensibles aux propriétés des matériaux, ce qui leur permet de couvrir un large éventail d'applications d’ablation. Grâce à son énergie d’impulsion élevée, le TruMicro Série 6000 usine également de manière fiable les matériaux cristallins et les matériaux durs et cassants, comme le silicium. De plus, l'usinage laser sans contact ne génère aucune usure.

Fonctionnalisation ciblée des surfaces

Fonctionnalisation ciblée des surfaces

Vous devez structurer, graver ou nettoyer avec précision les surfaces de différents matériaux, tels que du verre, du cuivre, de l'or et de la céramique, et leur conférer des fonctions spécifiques, comme un effet antireflet.

Grâce aux impulsions ultracourtes du TruMicro Série 6000, vous pouvez modifier les surfaces de manière ciblée et leur conférer les propriétés souhaitées. La combinaison d'une énergie d'impulsion élevée et d'une stabilité énergétique permet, par exemple, de répartir l'énergie sur une plus grande surface grâce à des éléments de mise en forme du faisceau. Cela vous permet d'atteindre des vitesses de processus élevées, même lors de l'usinage de surfaces.

Un seul système. Entièrement TRUMPF

– Découvrez les composants et services disponibles pour ce laser

Un laser seul n'est pas une solution. Ce n'est qu'en combinant une optique précise, des capteurs intelligents et des services parfaitement adaptés que l'on obtient un système qui rend vos applications possibles et assure des processus fiables. Avec TRUMPF, vous avez un partenaire qui ne se contente pas de fournir de la technologie, mais des résultats de processus fiables - des solutions qui font progresser votre fabrication de manière mesurable et qui s'avèrent rentables grâce à leur succès durable.

Un technicien SAV TRUMPF en conversation

Services pour une disponibilité maximale des installations

pour que votre production fonctionne

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Combien de temps d'arrêt pouvez-vous vous permettre ? Les arrêts de production coûtent du temps, de l'argent - et dans le pire des cas, des clients. Pour que vos lasers et systèmes laser restent durablement opérationnels, nous vous soutenons avec des services bien pensés. Cela comprend une surveillance préventive de l'état, une aide rapide en cas d'urgence ainsi que des packs de services individuels à des coûts fixes et planifiables - exactement adaptés à vos besoins.

Condition Monitoring keyvisual

Condition Monitoring pour lasers et systèmes laser

Grâce au Condition Monitoring, nos experts, assistés par des algorithmes propres à TRUMPF, gardent en permanence un œil sur l'état de vos lasers. Les changements critiques sont détectés à temps, avant qu'il n'y ait des défaillances imprévues.

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Dans nos centres d'application laser répartis sur huit sites dans le monde, nous optimisons avec vous les processus, résolvons les défis spécifiques aux applications et créons ainsi la base d'une qualité constante, des phases d'initialisation plus courtes et une entrée plus rapide sur le marché.

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Téléchargements

Brochure Lasers à impulsions courtes et ultracourtes Brochure Lasers à impulsions courtes et ultracourtes

Aperçu de tous les lasers à impulsions courtes et ultracourtes TruMicro de TRUMPF.

Dépliant : TruMicro 6000 Dépliant : TruMicro 6000

Comparaison des produits de la gamme TruMicro

Produit TruMicro Série 6000, image produit

TruMicro Série 6000

Notre système de puissance femtoseconde : pour une cadence maximale et des taux d'enlèvement élevés dans la production en série
TruMicro Série 2000

TruMicro Série 2000

Notre professionnel de la précision dans un format compact : un micro-usinage délicat avec une flexibilité maximale dans les paramètres de processus
TruMicro 9010

TruMicro Série 9000

Notre précurseur : le micro-usinage révolutionnaire de grandes surfaces avec une puissance de 1kW
Puissance laser moyenne 30 W - 200 W 10 W - 20 W 1000 W
Longueur d'onde 343 nm, 515 nm, 1030 nm 515 nm, 1030 nm 1030 nm
Qualité du faisceau (M²) < 1,3 (en option ≤ 1,2) < 1,2 (<1,3 bei 515 nm) < 1,3
Durée d'impulsion < 850 fs (en option < 5 ps à 1030 nm et < 500 fs à 343 nm) < 350 fs  (1030 nm réglable de manière variable jusqu'à 20 ps) 1 ps (fixe entre 1 et 20 ps en option)
Energie par pulse max. 2 mJ à 100 kHz 100 µJ à 200 kHz 10 mJ à 100 kHz
Fréquence d'impulsion Single Shot jusqu'à 3 MHz (50 MHz avec option QCW) Single Shot jusqu'à  2 MHz (50 MHz avec option QCW) Single Shot jusqu'à 1 MHz (50 MHz avec option QCW)

En fonction du pays, il peut y avoir des différences par rapport à cette gamme de produits et à ces indications. Sous réserve de modification de la technologie, de l'équipement, du prix et de l'offre d'accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur sur place, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.