Une maîtrise souveraine des processus exigeants
Les générateurs pulsés TruPlasma DC Série 4000 (G2) ont été mis au point tout spécialement pour la pulvérisation DC réactive de matériaux difficiles. Les générateurs fonctionnant avec du courant continu pulsé s'imposent en particulier dans les processus PVD et PECVD critiques, pour lesquels une qualité de revêtement et une productivité maximales sont exigées. Les alimentations électriques DC compactes sont utilisables aussi bien en mode pulsé qu'en mode Bias : pour ainsi dire deux appareils dans un unique boîtier !
Le traitement de signal numérique garantit la stabilité des processus et une minimisation des pertes de temps causées par des arcs.
Le traitement rapide des arcs, combiné à la technologie du courant continu pulsé, minimise les endommagements du substrat.
Grâce à un large spectre de fréquence et à une tension inversée adaptable.
Le refroidissement par eau intégré économise de la place et réduit le temps de maintenance.
Revêtement en matériau dur
Les pièces à usiner fortement sollicitées se voient assorties d'une dureté de bord et d'une adhérence augmentées ainsi que d'une meilleure stabilité thermique et chimique par l'ajout d'un revêtement fonctionnel. Les générateurs pulsés TruPlasma DC Série 4000 (G2) assurent un processus plasma stable et ainsi une qualité de revêtement optimale.
Métallisation
Des couches de métal extrêmement fines peuvent être posées sur divers matériaux au moyen d'un processus PVD afin de leur conférer des caractéristiques optiques et électriques optimales. Une alimentation électrique adaptée de manière optimale aux paramètres de processus permet la croissance de couches homogènes totalement sans défaut.
Fabrication de cellules photovoltaïques
Les cellules photovoltaïques tout comme les écrans plats et les écrans tactiles, sont revêtues de matériaux conducteurs (TCO) pour affecter leurs propriétés électriques. En raison de leur énergie d'arc très faible, les générateurs pulsés TruPlasma DC Série 4000 (G2) sont parfaitement appropriés à cette fin.
Verre architectural
Le revêtement de grande surface du verre architectural dans un processus à plasma PVD est particulièrement exigeant envers l'alimentation électrique du processus. Les générateurs pulsés TruPlasma DC Série 4000 (G2) offrent des conditions préalables idéales pour un résultat de revêtement de haute qualité.
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TruPlasma DC 4010 (G2)
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TruPlasma DC 4020 (G2)
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TruPlasma DC 4040 (G2)
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|---|---|---|---|
| Sortie | |||
| Puissance nominale | 10 kW | 20 kW | 40 kW |
| Courant de sortie maximal | 33 A eff | 67 A eff | 133 A eff |
| Tension de sortie maximale | 1200 V eff | 1200 V eff | 1200 V eff |
| Fréquence de fonctionnement nominale | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
| Paramètre arc | |||
| Taux arc maximum | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Energie Arc | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW |
| Durée de traitement arc | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs |
| Tensions d'allumage | |||
| avec dispositif d'aide à l'allumage | 1750 V | 1750 V | 1750 V |
| sans dispositif d'aide à l'allumage | 1250 V | 1250 V | 1250 V |
| Données de raccordement réseau | |||
| Tension de réseau | 3x 360 V - 528 V | 3 x 360 V - 528 V | 3 x 360 V - 528 V |
| Fréquence du réseau | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Interfaces de communication | |||
| Analogique/numérique | Oui | Oui | Oui |
| RS 232/RS 485 | Oui | Oui | Oui |
| PROFIBUS | Oui | Oui | Oui |
| EtherCAT | Non | Non | Non |
| DeviceNet | Oui | Oui | Oui |
| Enceinte | |||
| Poids | 65 kg | 75 kg | 150 kg |
| Protection IP | 40 | 40 | 40 |
| Exigences de refroidissement | |||
| Médium de refroidissement | Eau | Eau | Eau |
| Pression hydrostatique max. | 7 bar(s) | 7 bar(s) | 7 bar(s) |
| Différence de pression max. | 3 bar(s) | 3 bar(s) | 3 bar(s) |
| Débit min. | 8 l/min | 8 l/min | 16 l/min |
| Température du liquide de refroidissement | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Données de raccordement courant continu | |||
| Nombre de terminaux | 3 | 3 | 3 |
| Courant nominal/terminal | 25 A | 45 A | 85 A |
| Général | |||
| Rendement global | 90 % | 90 % | 90 % |
| Certificats/standards | CE | CE | CE |
| Conditions d'environnement | |||
| Température extérieure | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Humidité de l'air | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Pression barométrique | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
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Qualité de revêtement et productivité élevées
La combinaison de traitement d'arc plus rapide avec la technologie d'impulsion CC réduit les séparations de gouttelettes et les défauts de surface. Les interruptions de processus induites par l'arc sont minimisées, le taux de croissance est augmenté de manière significative.
Adaptation flexible au processus
La fréquence d'impulsion peut être adaptée dans une large plage, et un fonctionnement Bias du générateur CC est de plus possible. Vous pouvez ainsi utiliser le même appareil pour un grand nombre d'applications. Des outils de surveillance sophistiqués vous assistent pour l'optimisation de votre processus.
Diverses options permettent une adaptation optimale du générateur CC pulsé à votre application.
Il est possible d'exploiter plusieurs générateurs à courant continu TruPlasma DC Série 4000 (G2) de manière synchrone. Ce mode permet la synchronisation de l'identification d'arc de plusieurs générateurs qui sont orientés sur les diverses cibles. Le mode d'impulsion peut également être synchronisé.
PVD Power
Le logiciel PVD Power, disponible en plusieurs langues et d'utilisation conviviale, offre de nombreuses possibilités d'utilisation, de configuration et de diagnostic pour une optimisation de la qualité de processus et un dépannage efficace : l'affichage des valeurs réelles de tous les paramètres de processus pertinents ainsi que des avertissements et des messages d'alarme, la prescription des valeurs de consigne par l'opérateur, l'enregistrement et la visualisation de paramètres de fonctionnement importants avec haute résolution temporelle (fonction d'oscilloscope).
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