Une maîtrise souveraine des processus exigeants
Les générateurs pulsés TruPlasma DC Série 4000 (G2) ont été mis au point tout spécialement pour la pulvérisation DC réactive de matériaux difficiles. Les générateurs fonctionnant avec du courant continu pulsé s'imposent en particulier dans les processus PVD et PECVD critiques, pour lesquels une qualité de revêtement et une productivité maximales sont exigées. Les alimentations électriques DC compactes sont utilisables aussi bien en mode pulsé qu'en mode Bias : pour ainsi dire deux appareils dans un unique boîtier !
Le traitement de signal numérique garantit la stabilité des processus et une minimisation des pertes de temps causées par des arcs.
Le traitement rapide des arcs, combiné à la technologie du courant continu pulsé, minimise les endommagements du substrat.
Grâce à un large spectre de fréquence et à une tension inversée adaptable.
Le refroidissement par eau intégré économise de la place et réduit le temps de maintenance.
TruPlasma DC 4010 (G2)
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TruPlasma DC 4020 (G2)
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TruPlasma DC 4040 (G2)
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Sortie | |||
Puissance nominale | 10 kW | 20 kW | 40 kW |
Courant de sortie maximal | 33 A eff | 67 A eff | 133 A eff |
Tension de sortie maximale | 1200 V eff | 1200 V eff | 1200 V eff |
Fréquence de fonctionnement nominale | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
Paramètre arc | |||
Taux arc maximum | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
Energie Arc | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW |
Durée de traitement arc | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs |
Tensions d'allumage | |||
avec dispositif d'aide à l'allumage | 1750 V | 1750 V | 1750 V |
sans dispositif d'aide à l'allumage | 1250 V | 1250 V | 1250 V |
Données de raccordement réseau | |||
Tension de réseau | 3x 360 V - 528 V | 3 x 360 V - 528 V | 3 x 360 V - 528 V |
Fréquence du réseau | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
Interfaces de communication | |||
Analogique/numérique | Oui | Oui | Oui |
RS 232/RS 485 | Oui | Oui | Oui |
PROFIBUS | Oui | Oui | Oui |
EtherCAT | Non | Non | Non |
DeviceNet | Oui | Oui | Oui |
Enceinte | |||
Poids | 65 kg | 75 kg | 150 kg |
Protection IP | 40 | 40 | 40 |
Exigences de refroidissement | |||
Médium de refroidissement | Eau | Eau | Eau |
Pression hydrostatique max. | 7 bar(s) | 7 bar(s) | 7 bar(s) |
Différence de pression max. | 3 bar(s) | 3 bar(s) | 3 bar(s) |
Débit min. | 8 l/min | 8 l/min | 16 l/min |
Température du liquide de refroidissement | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
Données de raccordement courant continu | |||
Nombre de terminaux | 3 | 3 | 3 |
Courant nominal/terminal | 25 A | 45 A | 85 A |
Général | |||
Rendement global | 90 % | 90 % | 90 % |
Certificats/standards | CE | CE | CE |
Conditions d'environnement | |||
Température extérieure | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
Humidité de l'air | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
Pression barométrique | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Les caractéristiques techniques de toutes les variantes de produits en téléchargement.

Qualité de revêtement et productivité élevées
La combinaison de traitement d'arc plus rapide avec la technologie d'impulsion CC réduit les séparations de gouttelettes et les défauts de surface. Les interruptions de processus induites par l'arc sont minimisées, le taux de croissance est augmenté de manière significative.

Adaptation flexible au processus
La fréquence d'impulsion peut être adaptée dans une large plage, et un fonctionnement Bias du générateur CC est de plus possible. Vous pouvez ainsi utiliser le même appareil pour un grand nombre d'applications. Des outils de surveillance sophistiqués vous assistent pour l'optimisation de votre processus.
Diverses options permettent une adaptation optimale du générateur CC pulsé à votre application.
Il est possible d'exploiter plusieurs générateurs à courant continu TruPlasma DC Série 4000 (G2) de manière synchrone. Ce mode permet la synchronisation de l'identification d'arc de plusieurs générateurs qui sont orientés sur les diverses cibles. Le mode d'impulsion peut également être synchronisé.

PVD Power
Le logiciel PVD Power, disponible en plusieurs langues et d'utilisation conviviale, offre de nombreuses possibilités d'utilisation, de configuration et de diagnostic pour une optimisation de la qualité de processus et un dépannage efficace : l'affichage des valeurs réelles de tous les paramètres de processus pertinents ainsi que des avertissements et des messages d'alarme, la prescription des valeurs de consigne par l'opérateur, l'enregistrement et la visualisation de paramètres de fonctionnement importants avec haute résolution temporelle (fonction d'oscilloscope).
Il peut y avoir des différences par rapport à cette gamme de produits et à ces indications dans certains pays. Sous réserve de modification de la technologie, de l’équipement, du prix et de l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur local, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.