A jelen weboldal rendelkezésre bocsátásához és működtetéséhez sütiket használunk. Ha további célokra is használhatunk sütiket, kérjük, kattintson ide. Sütik kikapcsolásával és adatvédelemmel kapcsolatos információk
RF rendszermegoldás: matchbox a legnagyobb folyamatstabilitás érdekében
RF rendszermegoldás: matchbox a legnagyobb folyamatstabilitás érdekében
Plazmagerjesztések
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat

Intelligens illesztés valós idejű méréssel

RF rendszermegoldás egy öntésből

A TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat új matchboxai ideális kiegészítései a TRUMPF Hüttinger nagyfrekvenciás generátorainak. Az intelligens illesztő algoritmusnak és a folyamatfelügyelethez való digitális vezérlő platformnak köszönhetően olyan teljes megoldás jön létre, amelyben minden komponens optimálisan együttműködik – a TRUMPF RF rendszer.

Intelligens illesztő algoritmus

Gyors, stabil és reprodukálható impedancia igazítás 50 ohmhoz még kritikus eljárásokban is.

A teljes rendszer optimális együttműködése

Modern szoftver és továbbfejlesztett kommunikáció a generátor és a matchbox között.

A nagyfrekvenciás teljesítmény valós idejű mérése

A rendszer gyors utánállítása a matchbox és terhelés minden impedancia változásánál.

Zárt szabályozó körforgás

A folyamatparaméterek optimális felügyelete, valamint időben történő spontán ívkisülés felismerés.

Kezelőbarát folyamat-ellenőrzés

Grafikus felhasználói felület és hatékony eszközök (Smith diagram, valós idejű oszcilloszkóp).

RF rendszermegoldás: matchbox a legnagyobb folyamatstabilitás érdekében

Félvezetők, napelemek és síkképernyők gyártása

Félvezetők, napelemek és síkképernyők esetén a stabil plazmafolyamatok döntő fontosságúak. A TRUMPF Hüttinger nagyfrekvenciás generátorokkal kapcsolatban a TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat matchboxai teljes megoldást kínálnak a legnagyobb folyamatstabilitás és termelékenység érdekében.

Támogatás a kemény anyag bevonatolásban: a TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat matchboxai

A kemény anyag és kopásvédő rétegek felvitele

A funkcionális rétegek felvitelével az erősen igénybe vett munkadarabok mechanikai keménysége, valamint a termikus és vegyi stabilitásuk jobb lesz. A TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat matchboxai a TRUMPF Hüttinger nagyfrekvenciás generátorával együttműködve tökéletes rétegminőséget biztosítanak.

Ideálisan alkalmas a nagy felületű bevonatoláshoz: a TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat matchboxai

Felületek eltávolítása és bevonatolása

A TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat matchboxai minden megszokott plazmafolyamathoz használhatók felületek eltávolításához és bevonatolásához – például plazmamarás, reaktív ionmarás, ALD, PECVD, RF-Sputtering vagy fotoreziszt plazmaégetés. A TRUMPF Hüttinger egyik nagyfrekvenciás generátorával való együttműködésben optimális folyamateredmények érhetők el.

- / -
Nagyfrekvenciás kimenet        
Kimenő teljesítmény 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
Névleges teljesítmény 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
Kimeneti frekvencia 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Hálózati csatlakozási adatok        
Hálózati feszültség (±10%) 23,5 V - 24,5 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 23,5 V - 24,5 V
Hálózati frekvencia 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz 50 Hz - 60 Hz
Kommunikációs interfészek        
Szink. interfészek Igen Igen Igen Igen
Analóg/Digitális Igen Igen Igen Igen
RS 232 / RS 485 Igen Igen Igen Igen
PROFIBUS Igen Igen Igen Igen
EtherCAT Igen Igen Igen Igen
DeviceNet Nem Nem Nem Nem
Burkolat        
Tömeg 8 kg 27 kg 30 kg 15 kg
IP védettség 21 21 21 21
Hűtési követelmények        
Max. víznyomás - 6 bar 6 bar -
Min. nyomáskülönbség - 1,5 bar 1,5 bar -
Min. térfogatáram - 3,5 l/min 5 l/min -
Hűtőközeg hőmérséklete - 10 °C - 30 °C 1 10 °C - 30 °C 1 -
Általános        
Tanúsítványok / Szabványok CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47
Környezeti feltételek        
Külső hőmérséklet 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C
Páratartalom 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 %
Barometrikus nyomás 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa
PDF <1MB
Műszaki adatlap

Minden termékváltozat műszaki adatai letöltésre.

A nagyfrekvenciás generátor teljes teljesítményleadása mindig garantált

Mindig tökéletes folyamat-ellenőrzés

A matchbox mindig gondoskodik az impedancia 50 ohmos gyors és közvetlen igazításról – így a nagyfrekvenciás generátor teljes teljesítményleadása mindig garantált. A folytonos kommunikáció a matchbox és a generátor között optimális folyamat-ellenőrzést és időben történő spontán ívkisülés felismerést tesz lehetővé.

Kezelőbarát TruControl Power szoftver

Az összes paraméter áttekintése

A nagyfrekvenciás be- és kimenő teljesítmény valós idejű mérése dinamikus impedancia változásokat jelez, a hűtés érzékelők a veszteségi teljesítmény megbízható előrejelzését teszik lehetővé. A komplex ábrázolási opciókkal rendelkező grafikus kezelői szoftvernek köszönhetően (Smith-Chart, valós idejű oszilloszkóp) minden releváns folyamatparaméter mindig áttekinthető.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

A SystemPort zárt szabályozó körforgást tesz lehetővé az RF jel mérése révén közvetlenül a matchbox bemeneténél és kimeneténél. Az RF generátornak minden mért érték rendelkezésére áll. Így a folyamatparaméterek jobban felügyelhetők, a matchbox jobban védhető, és a spontán ívkisülés felismerés időben biztosítható. A teljes RF rendszer egyes generátor interfészeken keresztül vezérelhetők.

A különböző opciók a TRUMPF RF rendszernek az alkalmazáshoz való optimális hozzáigazítását teszik lehetővé.

Nagyfrekvenciás árammérés

Rendkívül pontos AC árammérés a plazma anomáliák felismeréséhez, az eljáráshoz közeli matchboxba helyezve, közvetlenül a kamránál.

Spontán ívkisülés kezelés

Az átgondolt spontán ívkisülés kezelés az ideális modul a legjobb plazma eljárás ellenőrzéshez. A célzott spontán ívkisülés felismerés a lehető legjobb termelékenységet garantálja, és egyidejűleg védi a terméket és a berendezést.

Interfészek

Opcionális interfészként analóg/digitális PROFIBUS és EtherCAT áll rendelkezésre. A standard az EtherNet, a SystemPort és az RS232/485.

Kezelőbarát TruControl Power szoftver

TruControl Power

A TruControl Power kezelőbarát vezérlő szoftver a nagyfrekvenciás generátor kényelmes üzembe helyezését és biztonságos felügyeletét teszi lehetővé a teljes TRUMPF RF rendszerben a folyamatban lévő eljárás alatt.

Kezelőbarát TruControl Power szoftver

Grafikus kezelői szoftver

A komplex grafikus ábrázolások lehetővé teszik minden releváns folyamatparaméter átfogó ellenőrzését. A terhelés és matchbox impedancia egy Smith diagram segítségével, a nagyfrekvenciás be- és kimenő teljesítmény, beleértve a frekvencia- és fázisállapotot, egy valós idejű oszcilloszkóp segítségével jelenik meg.

A nagyfrekvenciás generátorból és matchboxból álló TRUMPF RF rendszer tökéletesen egymásra hangolt teljes rendszert képez a legjobb folyamateredmények érdekében.

Kezelőbarát TruControl Power szoftver
Grafikus kezelői szoftver

A komplex grafikus ábrázolások lehetővé teszik minden releváns folyamatparaméter átfogó ellenőrzését. A terhelés és matchbox impedancia egy Smith diagram segítségével, a nagyfrekvenciás be- és kimenő teljesítmény, beleértve a frekvencia- és fázisállapotot, egy valós idejű oszcilloszkóp segítségével jelenik meg.

Főoszcillátor a kritikus szinkron plazma eljárások stabilizálásához
Főoszcillátorok

A főoszcillátorokkal a kritikus szinkron plazma eljárások stabilizálhatók és optimalizálhatók. Egy integrált digitális frekvencia- és fázis-szintetizátor gondoskodik nagyfokú frekvencia- és fázisstabilitásról, és a fázisállapot beállítását igen kis lépéstávolságokkal teszi lehetővé. Különböző kivitelű főoszcillátorokból lehet választani 13,56 MHz frekvenciákhoz, valamint különböző frekvencia kombinációhoz.

Nagyfrekvenciás átkapcsoló nagyfrekvenciás generátor rugalmas plazmarendszerekben való használatához
Nagyfrekvenciás átkapcsoló

A nagyfrekvenciás átkapcsoló a nagyfrekvenciás generátor plazma eljárás különböző állomásain való többszörös felhasználást teszi lehetővé, például a szekvenciális eljárások áramellátásához vagy különböző betáplálási pontokkal rendelkező rendszerekben. Különböző nagyfrekvenciás átkapcsolók kaphatók két teljesítményosztályban, valamint 2, 3 vagy 4 kimenettel.

Koaxiális vezeték a meghatározott teljesítmény átviteléhez
Koaxiális vezeték

A nagyfrekvenciás teljesítményátvitelhez a TRUMPF Hüttinger olyan koaxiális vezetékeket kínál, amelyeket az 50 ohmos rendszerekben való üzemhez terveztek.

Generátor és matchbox: egy tökéletesen egymásra hangolt rendszermegoldás

A plazmafolyamat optimális irányítása

A plazmafolyamatok olyan komplex, változó terhelésként viselkednek, amelyhez az áramellátást a generátoron keresztül folyamatosan után kell állítani. Ezt az aktív igazító hálózatok, az úgynevezett matchboxok teljesítik, amelyek mindig biztosítják az 50 ohmos optimális impedancia precíz igazítását. Így jön létre egy tökéletesen egymásra hangolt rendszermegoldás, a TRUMPF RF rendszer. A különböző interfészeken, többek között az EtherCAT-en keresztül, a generátor és a matchbox igen egyszerűen a folyamat meglévő környezetébe integrálható, és egy intelligens generátor matchbox kapcsolattal, az úgynevezett SystemPort-tal, optimalizált rendszermegoldás érhető el.

Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.

Lábjegyzetek
  • A hűtővízhőmérséklet a kondenzáció elkerülése érdekében magasabb kell, hogy legyen a szobahőmérséklet harmatpontjánál.

Ezek a témák is érdekelhetik Önt

Kapcsolat

Klaus Nock
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Letöltések

TruPlasma RF rendszer brosúra
TruPlasma RF rendszer brosúra
pdf - 6 MB
Szerviz & kapcsolat

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Hungary . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Hungary
United States

Or select a country or region.