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TruPlasma DC 4040 (G2)
TruPlasma DC 4040 (G2)
Eccitazioni plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC Serie 4000 (G2)

Processi pulsati per superfici brillanti

Eccellente gestione di processi complessi

I generatori TruPlasma DC Serie 4000 (G2) sono stati sviluppati specificamente per lo sputtering reattivo CC di materiali difficili. I generatori funzionanti con corrente continua pulsata sono ampiamente collaudati soprattutto per i processi PVD e PECVD critici, in cui vengono richieste contemporaneamente massima qualità dello strato superficiale e massima produttività. Le compatte alimentazioni elettriche CC possono essere impiegate sia in esercizio pulsato, sia in esercizio Bias - praticamente, due apparecchi in un unico alloggiamento.

Elevata qualità dello strato e grande produttività

Grazie al dispositivo di elaborazione digitale dei segnali, i processi risultano stabili e si riducono al minimo i ritardi causati dagli archi.

Risultati ottimi anche in processi di critici

La combinazione fra la gestione rapida degli archi e la tecnologia a CC pulsata riduce i danneggiamenti del substrato.

Adattamento semplice al processo

Grazie all'ampio spettro di frequenze e alla tensione inversa adattabile.

Struttura compatta e robusta

Il raffreddamento ad acqua integrato permette di risparmiare spazio e di ridurre i costi per la manutenzione.

Rivestimento con materiale duro

Rivestimento con materiale duro

L'applicazione di strati funzionali su pezzi soggetti ad alte sollecitazioni meccaniche crea una maggiore durezza superficiale ed un maggiore attrito statico, nonché una migliore stabilità termica e chimica. I generatori pulsati TruPlasma DC Serie 4000 (G2) garantiscono un processo al plasma stabile e, dunque, una qualità dello strato ottimale.

Idonei per l'applicazione di sottilissimi strati metallici

Metallizzazione

Il processo PVD consente di applicare sottilissimi strati di metallo su diversi materiali, al fine di conferire loro caratteristiche ottiche ed elettriche ottimali. L'alimentazione elettrica adattata alla perfezione ai parametri di processo permette la separazione di strati assolutamente omogenei e privi di difetti.

Produzione di celle solari

Produzione di celle solari

Per influire sulle caratteristiche elettriche di celle solari, schermi piatti e touchscreen, tali elementi vengono rivestiti con materiali elettroconduttori (TCO). Grazie alla loro bassissima energia dell'arco i generatori pulsati TruPlasma DC Serie 4000 (G2) si prestano alla perfezione a tale scopo.

Vetro architettonico

Vetro architettonico

Nel processo al plasma PVD, il rivestimento di grandi superfici di vetro architettonico richiede un'alimentazione elettrica adeguata. I generatori pulsati TruPlasma DC Serie 4000 (G2) offrono i presupposti ideali per un rivestimento di altissima qualità.

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TruPlasma DC 4010 (G2)
TruPlasma DC 4020 (G2)
TruPlasma DC 4040 (G2)
Uscita      
Potenza nominale 10 kW 20 kW 40 kW
Corrente di uscita massima 33 A eff 67 A eff 133 A eff
Tensione di uscita massima 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
Frequenza nominale di esercizio 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
Parametri scarica ad arco      
Frequenza massima di manifestazione scariche ad arco 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
Energia Arc <0,3 mJ/kW <0,3 mJ/kW <0,3 mJ/kW
Tempo di trattamento della scarica ad arco <0,1 µs <0,1 µs <0,1 µs
Tensioni d'innesco      
con meccanismo ausiliario d'accensione 1750 V 1750 V 1750 V
senza meccanismo ausiliario d'accensione 1250 V 1250 V 1250 V
Dati di collegamento alla rete      
Tensione di rete 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V
Frequenza di rete 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Interfacce di comunicazione      
Analogico/digitale
RS 232 / RS 485
PROFIBUS
EtherCAT No No No
DeviceNet
Alloggiamento      
Peso 65 kg 75 kg 150 kg
Tipo di protezione IP 40 40 40
Requisiti di raffreddamento      
Refrigerante Acqua Acqua Acqua
Pressione max dell'acqua 7 bar 7 bar 7 bar
Differenza min. di pressione 3 bar 3 bar 3 bar
Portata min. 8 l/min 8 l/min 16 l/min
Temperatura refrigerante 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
Dati di allacciamento CC      
Quantità di terminali 3 3 3
Corrente nominale / terminale 25 A 45 A 85 A
In generale      
Rendimento totale 90 % 90 % 90 %
Certificati / standard CE CE CE
Condizioni ambientali      
Temperatura esterna 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Umidità dell'aria 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Pressione barometrica 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Scheda tecnica

I dati tecnici di tutte le varianti dei prodotti, disponibili per il download.

Gestione dell'arco

Elevata qualità dello strato e grande produttività

La combinazione fra il trattamento rapido dell'arco e la tecnologia di impulso CC riduce la percentuale di goccioline rilasciate e i difetti superficiali. Le interruzioni del processo causate dagli archi vengono ridotte al minimo, il tasso di separazione viene notevolmente aumentato.

Strumenti di monitoraggio perfezionati a supporto dei processi

Adattamento flessibile al processo

La frequenza di impulso è caratterizzata da un ampio intervallo di adattamento; inoltre il generatore CC può funzionare in modalità Bias. Ciò permette di utilizzare un unico apparecchio per un gran numero di applicazioni. Sofisticati strumenti di monitoraggio aiutano ad ottimizzare il processo.

Le diverse opzioni permettono di adattare in modo ottimale il generatore pulsato CC all'applicazione in uso.

Funzionamento parallelo e sincronizzazione

È possibile far funzionare in maniera sincrona più generatori a corrente continua TruPlasma DC Serie 4000 (G2). Questa modalità permette la sincronizzazione del riconoscimento di archi di più generatori allineati su diversi obiettivi. Anche la modalità di impulso può essere sincronizzata.

Software intuitivo PVD Power

PVD Power

L'intuitivo software multilingue PVD Power offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi per ottimizzare la qualità del processo ed eliminare efficacemente gli errori: visualizzazione dei valori effettivi di tutti i parametri di processo pertinenti nonché di avvisi e messaggi d'allarme, preimpostazione di valori nominali da parte dell'operatore e registrazione e indicazione di importanti parametri di esercizio con alta risoluzione temporale (funzione oscilloscopio).

Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio referente locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

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Contatto

Klaus Nock
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
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Flyer TruPlasma DC Serie 4000 (G2)
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