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TruPlasma DC 4040 (G2)
TruPlasma DC 4040 (G2)
Eccitazioni plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC Serie 4000 (G2)

Processi pulsati per superfici brillanti

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    • Panoramica
    • Applicazioni
    • Dati tecnici
    • Vantaggi per il cliente
    • Opzioni
    • Software
    • Più Meno
    Eccellente gestione di processi complessi

    I generatori TruPlasma DC Serie 4000 (G2) sono stati sviluppati specificamente per lo sputtering reattivo CC di materiali difficili. I generatori funzionanti con corrente continua pulsata sono ampiamente collaudati soprattutto per i processi PVD e PECVD critici, in cui vengono richieste contemporaneamente massima qualità dello strato superficiale e massima produttività. Le compatte alimentazioni elettriche CC possono essere impiegate sia in esercizio pulsato, sia in esercizio Bias - praticamente, due apparecchi in un unico alloggiamento.

    Elevata qualità dello strato e grande produttività

    Grazie al dispositivo di elaborazione digitale dei segnali, i processi risultano stabili e si riducono al minimo i ritardi causati dagli archi.

    Risultati ottimi anche in processi di critici

    La combinazione fra la gestione rapida degli archi e la tecnologia a CC pulsata riduce i danneggiamenti del substrato.

    Adattamento semplice al processo

    Grazie all'ampio spettro di frequenze e alla tensione inversa adattabile.

    Struttura compatta e robusta

    Il raffreddamento ad acqua integrato permette di risparmiare spazio e di ridurre i costi per la manutenzione.

    Rivestimento con materiale duro

    Rivestimento con materiale duro

    L'applicazione di strati funzionali su pezzi soggetti ad alte sollecitazioni meccaniche crea una maggiore durezza superficiale ed un maggiore attrito statico, nonché una migliore stabilità termica e chimica. I generatori pulsati TruPlasma DC Serie 4000 (G2) garantiscono un processo al plasma stabile e, dunque, una qualità dello strato ottimale.

    Idonei per l'applicazione di sottilissimi strati metallici

    Metallizzazione

    Il processo PVD consente di applicare sottilissimi strati di metallo su diversi materiali, al fine di conferire loro caratteristiche ottiche ed elettriche ottimali. L'alimentazione elettrica adattata alla perfezione ai parametri di processo permette la separazione di strati assolutamente omogenei e privi di difetti.

    Produzione di celle solari

    Produzione di celle solari

    Per influire sulle caratteristiche elettriche di celle solari, schermi piatti e touchscreen, tali elementi vengono rivestiti con materiali elettroconduttori (TCO). Grazie alla loro bassissima energia dell'arco i generatori pulsati TruPlasma DC Serie 4000 (G2) si prestano alla perfezione a tale scopo.

    Vetro architettonico

    Vetro architettonico

    Nel processo al plasma PVD, il rivestimento di grandi superfici di vetro architettonico richiede un'alimentazione elettrica adeguata. I generatori pulsati TruPlasma DC Serie 4000 (G2) offrono i presupposti ideali per un rivestimento di altissima qualità.

    TruPlasma DC 4010 (G2)
    TruPlasma DC 4020 (G2)
    TruPlasma DC 4040 (G2)
    Uscita      
    Potenza nominale 10 kW 20 kW 40 kW
    Corrente di uscita massima 33 A eff 67 A eff 133 A eff
    Tensione di uscita massima 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
    Frequenza nominale di esercizio 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
    Parametri scarica ad arco      
    Frequenza massima di manifestazione scariche ad arco 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
    Energia Arc <0,3 mJ/kW <0,3 mJ/kW <0,3 mJ/kW
    Tempo di trattamento della scarica ad arco <0,1 µs <0,1 µs <0,1 µs
    Tensioni d'innesco      
    con meccanismo ausiliario d'accensione 1750 V 1750 V 1750 V
    senza meccanismo ausiliario d'accensione 1250 V 1250 V 1250 V
    Dati di collegamento alla rete      
    Tensione di rete 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V
    Frequenza di rete 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
    Interfacce di comunicazione      
    Analogico/digitale
    RS 232 / RS 485
    PROFIBUS
    EtherCAT No No No
    DeviceNet
    Alloggiamento      
    Peso 65 kg 75 kg 150 kg
    Tipo di protezione IP 40 40 40
    Requisiti di raffreddamento      
    Refrigerante Acqua Acqua Acqua
    Pressione max dell'acqua 7 bar 7 bar 7 bar
    Differenza min. di pressione 3 bar 3 bar 3 bar
    Portata min. 8 l/min 8 l/min 16 l/min
    Temperatura refrigerante 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
    Dati di allacciamento CC      
    Quantità di terminali 3 3 3
    Corrente nominale / terminale 25 A 45 A 85 A
    In generale      
    Rendimento totale 90 % 90 % 90 %
    Certificati / standard CE CE CE
    Condizioni ambientali      
    Temperatura esterna 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
    Umidità dell'aria 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Pressione barometrica 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Scheda tecnica

    I dati tecnici di tutte le varianti dei prodotti, disponibili per il download.

    Gestione dell'arco

    Elevata qualità dello strato e grande produttività

    La combinazione fra il trattamento rapido dell'arco e la tecnologia di impulso CC riduce la percentuale di goccioline rilasciate e i difetti superficiali. Le interruzioni del processo causate dagli archi vengono ridotte al minimo, il tasso di separazione viene notevolmente aumentato.

    Strumenti di monitoraggio perfezionati a supporto dei processi

    Adattamento flessibile al processo

    La frequenza di impulso è caratterizzata da un ampio intervallo di adattamento; inoltre il generatore CC può funzionare in modalità Bias. Ciò permette di utilizzare un unico apparecchio per un gran numero di applicazioni. Sofisticati strumenti di monitoraggio aiutano ad ottimizzare il processo.

    Le diverse opzioni permettono di adattare in modo ottimale il generatore pulsato CC all'applicazione in uso.

    Funzionamento parallelo e sincronizzazione

    È possibile far funzionare in maniera sincrona più generatori a corrente continua TruPlasma DC Serie 4000 (G2). Questa modalità permette la sincronizzazione del riconoscimento di archi di più generatori allineati su diversi obiettivi. Anche la modalità di impulso può essere sincronizzata.

    Software intuitivo PVD Power

    PVD Power

    L'intuitivo software multilingue PVD Power offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi per ottimizzare la qualità del processo ed eliminare efficacemente gli errori: visualizzazione dei valori effettivi di tutti i parametri di processo pertinenti nonché di avvisi e messaggi d'allarme, preimpostazione di valori nominali da parte dell'operatore e registrazione e indicazione di importanti parametri di esercizio con alta risoluzione temporale (funzione oscilloscopio).

    Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio referente locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

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    Maggiori informazioni
    Gepulster Generator der TruPlasma DC Serie 4000
    Processi pulsati per superfici perfette

    Grazie alla loro innovativa gestione dell'arco, i generatori della TruPlasma DC Serie 4000 forniscono i risultati migliori. I danneggiamenti al substrato dovuti all'arco sono ridotti al minimo.

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    Contatto

    Klaus Nock
    Sales Plasma
    Fax: +49 761 89711150
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