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Generatori ad alta frequenza TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Generatori ad alta frequenza TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Eccitazioni plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Serie 3000

Tecnologia HF senza compromessi

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    • Panoramica
    • Applicazioni
    • Dati tecnici
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    • Software
    • Componenti di sistema
    • Sistema RF
    • Più Meno
    Garanti per eccellenti risultati di processo

    Con questi generatori ad alta frequenza andate sul sicuro: la serie TruPlasma RF 3000 si contraddistingue per la struttura robusta e per l'elevata efficienza. Ciò rende i generatori di questa serie perfettamente idonei per processi al plasma stabili e riproducibili, come ad esempio nella produzione di schermi piatti, di celle solari o di semiconduttori. Installati in migliaia di applicazioni, questi generatori garantiscono un'elevata produttività con eccezionali risultati di processo.

    Efficienza e redditività

    Rendimenti fino all'80% permettono di ridurre fino al 50% i costi per l'energia elettrica.

    Eccellente gestione degli archi RF

    Conduzione sicura anche di processi complessi e di nuovo tipo.

    Elevata robustezza e stabilità di processo

    Tecnologia CombineLine: protezione affidabile da potenze riflesse in caso di disadattamento.

    Massima flessibilità

    Erogazione continua o pulsata di potenza che permette un impiego versatile.

    Ideali per processi di incisione e rivestimento

    Processi di incisione e rivestimento

    I generatori ad alta frequenza TruPlasma RF Serie 3000 sono adatti soprattutto per processi di incisione e rivestimento, come ad esempio incisione al plasma, incisione ionica reattiva, ALD e PECVD.

    Ideali per il rivestimento di pezzi metallici

    Rivestimento di pezzi metallici

    I processi al plasma consentono sia di applicare materiale su superfici, sia di asportarlo, ad esempio nel rivestimento di pezzi metallici con uno strato protettivo antiusura oppure nella strutturazione di componenti elettronici tramite incisione al plasma o trattamenti al plasma di incenerimento fotoresistenti.

    Alimentazione elettrica di alto livello per il rivestimento di schermi piatti

    Rivestimento di schermi piatti e celle solari

    I generatori ad alta frequenza TruPlasma RF Serie 3000 sono ideali per processi al plasma quali RIE, ALD, PECVD e sputtering RF. Questi processi vengono impiegati fra l'altro nel rivestimento di schermi piatti e celle solari.

    Uscita alta frequenza          
    Potenza di uscita 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
    Potenza nominale 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
    Impedenza carico nominale 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω
    Frequenza di uscita 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
    Dati di collegamento alla rete          
    Tensione di rete 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V
    Frequenza di rete 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
    Potenza di assorbimento rete 16,6 kVA 28,1 kVA 33,3 kVA 80 kVA 100 kVA
    Fattore di potenza 0,93 0,93 0,93 - -
    Interfacce di comunicazione          
    Sinc. interfacce
    Analogico/digitale
    RS 232 / RS 485
    PROFIBUS
    EtherCAT No No
    DeviceNet
    Alloggiamento          
    Peso 57 kg 117 kg 117 kg 1000 kg 1200 kg
    Tipo di protezione IP 20 20 20 54 54
    Requisiti di raffreddamento          
    Pressione max dell'acqua 7 bar 7 bar 7 bar 6 bar 6 bar
    Differenza min. di pressione 2 bar 2 bar 2 bar 2,5 bar 2,5 bar
    Portata min. 10 l/min 20 l/min 20 l/min 46 l/min 56 l/min
    Temperatura refrigerante 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1
    In generale          
    Rendimento totale 78 % 75 % 75 % - -
    Certificati / standard SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs CE, SEMI F47 CE, SEMI F47
    Condizioni ambientali          
    Temperatura esterna 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    Umidità dell'aria 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Pressione barometrica 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Scheda tecnica

    I dati tecnici di tutte le varianti dei prodotti, disponibili per il download.

    Tecnologia CombineLine integrata

    Massima efficienza e stabilità di processo

    Il dimezzamento della potenza dissipata e la riduzione della quantità di acqua di raffreddamento necessaria, grazie all'eccellente rendimento, riducono al minimo i costi di esercizio. La struttura particolarmente robusta dei generatori permette tempi di esercizio più lunghi anche in processi critici e di conseguenza una maggiore velocità di rivestimento superficiale. Le oscillazioni del plasma vengono contrastate con successo dalla tecnologia CombineLine con un'impedenza di uscita reale di 50 ohm, permettendo così processi assolutamente stabili.

    Generatore ad alta frequenza TruPlasma RF 3012

    Sicurezza in tutte le situazioni

    La struttura robusta garantisce la massima affidabilità e produttività del processo. La protezione al 100% dal disadattamento garantisce un funzionamento sicuro anche in caso di carichi critici. La potenza di uscita continua o pulsata, a seconda delle esigenze, supporta un'ampia gamma di requisiti di processo. In tutto il mondo sono installati oltre 20.000 impianti, più di qualsiasi altro tipo di alimentazione elettrica per impianti al plasma.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    La SystemPort permette di chiudere il circuito di regolazione misurando il segnale RF direttamente sull'entrata e sull'uscita della rete di adattamento. Tutti i valori rilevati vengono messi a disposizione del generatore RF. Sono così garantiti un controllo migliore dei parametri di processo, la protezione della rete di adattamento e un tempestivo riconoscimento di archi. L'intero sistema RF può essere controllato anche mediante una singola interfaccia del generatore.

    Diverse opzioni permettono di adattare in modo ottimale il generatore ad alta frequenza alla vostra applicazione.

    Gestione degli archi voltaici

    Il modulo Arc Management è la soluzione ideale per il miglior controllo del processo al plasma. Un riconoscimento mirato degli archi garantisce la massima produttività possibile e protegge contemporaneamente il prodotto e l'impianto.

    Software intuitivo TruControl Power

    TruControl Power

    Il software di comando user-friendly TruControl Power consente l'agevole messa in funzione comoda ed un controllo sicuro del generatore HF o dell'intero sistema RF TRUMPF nel processo corrente.

    Tutti i componenti del sistema TRUMPF RF sono abbinati in maniera ottimale.

    Soluzione di sistema RF: matchbox per la massima stabilità di processo
    TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

    Le reti di adattamento TruPlasma Match garantiscono un trasferimento ottimale della potenza dal generatore alla scarica. La rete di adattamento funziona autonomamente oppure mediante una connessione intelligente tra generatore e rete di adattamento stessa, la cosiddetta SystemPort.

    Oscillatore master per la stabilizzazione di processi al plasma sincroni critici
    Oscillatori master

    Gli oscillatori master consentono di stabilizzare ed ottimizzare processi al plasma sincroni critici. Un sintetizzatore digitale di frequenza e di fase integrato garantisce un'elevata stabilità di frequenza e di fase e permette la regolazione della posizione della fase ad intervalli ridottissimi. Per la frequenza 13,56 MHz, come anche per diverse combinazioni di frequenze, sono disponibili diverse versioni di oscillatori master.

    Commutatori ad alta frequenza per l'utilizzo di un generatore ad alta frequenza su sistemi al plasma flessibili
    Commutatore HF

    I commutatori ad alta frequenza permettono l'utilizzo multiplo di un generatore ad alta frequenza su diverse stazioni di processo al plasma, ad esempio per l'alimentazione elettrica di processi sequenziali oppure su sistemi con diversi punti di alimentazione. Sono disponibili diversi commutatori ad alta frequenza in due classi di potenza come anche con 2, 3 o 4 uscite.

    Cavo coassiale per la trasmissione della potenza specificata
    Cavo coassiale

    Per la trasmissione della potenza ad alta frequenza, TRUMPF Hüttinger offre cavi coassiali sviluppati specificamente per l'impiego in sistemi da 50 ohm.

    Generatore e rete di adattamento: una soluzione di sistema perfettamente abbinata

    Abbinamento perfetto: generatore e matchbox

    I processi al plasma si comportano come un carico complesso e variabile a cui il generatore deve fornire continuamente alimentazione elettrica. Ciò avviene tramite reti di adattamento attive, le cosiddette matchbox, che garantiscono un preciso adattamento all'impedenza ottimale di 50 ohm in qualsiasi momento. Nasce così un sistema perfettamente abbinato, il sistema RF TRUMPF. Le varie interfacce, come ad es. EtherCAT, consentono di integrare molto facilmente generatore e rete di adattamento nell'ambiente di processo esistente e ottenere una soluzione di sistema ottimizzata mediante una connessione intelligente tra generatore e rete di adattamento, la cosiddetta SystemPort.

    Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio referente locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

    Note a piè di pagina
    • La temperatura dell'acqua di raffreddamento deve superare il punto di rugiada della temperatura ambiente, per evitare la condensazione.

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    Contatto

    Klaus Nock
    Sales Plasma
    Fax: +49 761 89711150
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    Brochure TruPlasma RF Serie 3000
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