Il generatore ad alta frequenza raffreddato ad aria TruPlasma RF 1001 Air eroga fino a 1000 watt di energia ad alta frequenza riproducibile di alta precisione e con risoluzione estrema – in step da 100 mW. Per questo motivo è idoneo per le più svariate applicazioni al plasma. Che si tratti di produrre semiconduttori, celle solari o display, la tecnologia brevettata TRUMPF Hüttinger garantisce sempre la massima disponibilità e i migliori risultati, grazie a moderne funzioni di processo.
Garantisce un adattamento ottimale e molto veloce della frequenza, assicurando così un'interazione ottimale fra il generatore e la rete di adattamento.
Conduzione sicura anche di processi complessi e di nuovo tipo: protezione garantita del prodotto.
Controllo flessibile e multi-stadio della forma dell'impulso, per risultati migliori nei moderni processi al plasma.
Impiego flessibile e possibilità di sostituire i generatori nei casi di cambio di processo o retrofit.
La tecnologia brevettata CombineLine garantisce prestazioni ottimali dei processi grazie alla reale impedenza in uscita di 50 ohm.
Le diverse classi di potenza della famiglia di prodotti AF permettono di soddisfare i requisiti di qualsiasi processo.
In caso di variazioni nel processo o nel sistema, non è più necessario adattare la lunghezza del cavo.
I generatori ad alta frequenza TruPlasma RF Air Serie 1000 sono ideali per processi al plasma quali RIE, ALD, PECVD e sputtering RF. Questi processi vengono impiegati fra l'altro nella produzione di elementi costruttivi a semiconduttore e di sistemi micromeccanici (MEMS) nonchè nel rivestimento di schermi piatti e di pannelli solari.
Campi di applicazione tipici dei generatori TruPlasma RF Air Serie 1000 sono complessi processi PECVD, di incisione e di sputtering HF nel settore dell'energia solare.
Nella produzione di semiconduttori trovano impiego diversi processi al plasma, dai processi di asportazione, passando per l'incisione a secco fino alla fusione a zone nella produzione di silicio puro. I generatori TruPlasma RF Air Serie 1000 offrono tutti i presupposti per un'alimentazione elettrica stabile e adattata alla perfezione al rispettivo processo, in modo da garantire risultati eccellenti e riproducibili.
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TruPlasma RF 1000 - 1/13 Air
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| Uscita alta frequenza | |
| Potenza di uscita | 1 kW |
| Potenza nominale | 1 kW |
| Impedenza di carico nominale | 50 Ω |
| Frequenza di uscita | 13,56 MHz |
| Dati di collegamento alla rete | |
| Tensione di rete | 190 - 240 V |
| Frequenza di rete | 50-60 Hz |
| Potenza di assorbimento rete | 1,8 kVA |
| Fattore di potenza | 0,9 |
| Interfacce di comunicazione | |
| Sinc. interfacce | Sì |
| Analogico/digitale | Sì |
| RS 232/RS 485 | Sì |
| PROFIBUS | No |
| EtherCAT | Sì |
| DeviceNet | Sì |
| Alloggiamento | |
| Peso | 15 kg |
| Tipo di protezione IP | 20 |
| Requisiti di raffreddamento | |
| Pressione max dell'acqua | N/A bar |
| Differenza di pressione min | N/A bar |
| Portata min | N/A l/min |
| Temperatura refrigerante | 5 °C - 35 °C |
| In generale | |
| Rendimento totale | 70 % |
| Certificati/standard | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs |
| Condizioni ambientali | |
| Temperatura esterna | 5 °C - 40 °C |
| Umidità dell'aria | 5 % - 85 % |
| Pressione barometrica | 79,5 kPa - 106 kPa |
Dati tecnici di tutte le varianti dei prodotti, disponibili per il download.
Massima produttività e disponibilità
Il design robusto e flessibile dei generatori ad alta frequenza permette di aumentare la quantità del materiale lavorato e di ridurre i costi di esercizio.
Processi stabili, risultati riproducibili
La tecnologia brevettata CombineLine, con matching intelligente in tempo reale, garantisce la disponibilità ottimale del TruPlasma RF 1001 Air e impedisce in maniera affidabile oscillazioni del plasma e impurità.
Compatto e versatile
Grazie alla sua struttura compatta (apparecchio da innesto da 19 pollici ½), il generatore ad alta frequenza presenta ingombri minimi e risulta ideale per nuove installazioni e come soluzione di retrofit in impianti esistenti. Le numerose interfacce disponibili (interfaccia analogica configurabile, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) ne semplificano l'integrazione.
Precisione decimale
Il dosaggio preciso dell'energia in step da 100 mW del TruPlasma RF 1001 Air permette di ottenere i migliori risultati anche nelle applicazioni più moderne ed esigenti, come la Atomic Layer Deposition (ALD). La regolazione della potenza di massima precisione del generatore ad alta frequenza garantisce la migliore riproducibilità wafer-to-wafer.
I migliori risultati grazie a moderne funzioni di processo
Funzioni di comando digitali, come Smart Auto Frequency Tuning 2.0, Arc Management e Multi-Level Pulsing, consentono un adattamento ottimale del generatore ad alta frequenza al rispettivo processo.
Adattamento flessibile all'applicazione del cliente
Nel design unitario dei generatori sono disponibili diverse classi di potenza e frequenze, pertanto i generatori possono essere sostituiti quando lo richiedono le variazioni che intercorrono nel processo. Non è più necessario neppure adattare la lunghezza del cavo.
Controllo dell'intero sistema HF dalla TRUMPF SystemPort
La SystemPort permette di chiudere il circuito di regolazione misurando il segnale RF direttamente sull'entrata e sull'uscita della rete di adattamento. In questo modo tutti i valori rilevati sono sempre disponibili per il generatore HF. Si garantiscono il monitoraggio costante dei parametri di processo, la protezione della rete di adattamento e un tempestivo riconoscimento di archi.
La soluzione brevettata Auto Frequency Tuning permette l'adattamento simultaneo e veloce della frequenza fra il generatore e la rete di adattamento. Questo garantisce eccellenti risultati di processo e massima riproducibilità.
La ben studiata gestione dell'arco garantisce un controllo ottimale del processo al plasma. Il riconoscimento mirato dell'arco permette di aumentare la produttività e allo stesso tempo di proteggere da danni sia il prodotto sia l'impianto.
I processi al plasma più moderni necessitano di una maggiore flessibilità nel funzionamento a impulsi. Il funzionamento a impulsi multi-stadio selezionabile permette di ottenere qualsiasi tipo di forma dell'impulso. Si riescono così a ottenere un nuovo meccanismo di controllo nella fisica del plasma e migliori risultati di processo.
Il modulo di sincronizzazione permette di sincronizzare con flessibilità e sicurezza più generatori integrati in sistemi al plasma complessi.
TruControl Power
Il software di comando di facile utilizzo permette una messa in funzione comoda e un controllo sicuro del generatore AF o dell'intero sistema RF TRUMPF nel processo in esecuzione.
GUI Web
Il web server integrato permette l'utilizzo del sistema AF e di eseguire gli aggiornamenti del software tramite un browser web.
Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio interlocutore locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.
