新世代のコンパクトな直流ジェネレータ
TruPlasma DC 3000 (G2) シリーズは多数の直流スパッタリングプロセスに適しており、パルスプロセス電力供給の代替として使用することも可能です。なぜなら、先進的なアーク管理により、最高の膜品質と生産高の著しい上昇が保証されるからです。水冷式のこの直流ジェネレータは構造が極めてコンパクトであるため、既存のアプリケーションに非常に簡単に統合することができます。
0.3 mJ/kW未満の残留エネルギーは、最高のコーティング品質と高い成膜率を保証します。
極めてコンパクトな構造 (19インチのインサート) であることから、より高い出力でも簡単に統合できます。
20 kW～300 kWの出力があるため、さらに大きなジェネレータの代わりとしても使用可能。
長いシステム動作時間が可能になり、メンテナンスの手間が軽減されます。
可変供給電圧 (400 V～480 V) 及び様々なデータインタフェース。
硬い材料のコーティング
直流マグネトロンスパッタリングによる機能膜の成膜により、強い負荷にさらされる製品の縁の硬さ及び付着摩擦が高まり、熱安定性と化学的安定性が向上します。TruPlasma DC 3000 (G2) シリーズの直流ジェネレータでは、安定したプラズマプロセスとそれに伴う最適な膜品質が得られます。
金属被覆
PVDプロセスにより、極めて薄い金属層を様々な材料に成膜させて、材料の外観的及び電気的なプロパティを最良にすることができます。プロセスパラメータに最適に適合された電力供給により、完全に均一で欠陥のない膜の成膜が可能になります。
ソーラーセル製造
ソーラーセルだけでなく、フラットスクリーン及びタッチスクリーンにも、電気的なプロパティを変化させるために、透明導電性酸化物 (TCO) がコーティングされます。TruPlasma DC 3000 (G2) シリーズの直流ジェネレータは、アークの残留エネルギーがごくわずかであるため、このコーティングに最適です。
建築用ガラス
建築用ガラスの広い面積に及ぶコーティングを直流スパッタリングプロセスで行う際には、プロセス電力供給に対する要件が極めて高くなります。TruPlasma DC 3000 (G2) シリーズの直流ジェネレータは、高品質なコーティング結果を得るための理想的な必要条件を備えています。
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TruPlasma DC 3020 (G2)
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TruPlasma DC 3030 (G2)
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TruPlasma DC 3040 (G2)
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TruPlasma DC 3060 (G2)
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TruPlasma DC 3080 (G2)
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TruPlasma DC 3120 (G2)
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TruPlasma DC 3160 (G2)
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|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 出力 | |||||||
| 定格出力 | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 W | - | - | - |
| 最大出力電流 | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff | - | - | - |
| 最大出力電圧 | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | - | - | - |
| アークパラメータ | |||||||
| 最大アークレート | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | - | - | - |
| アークエネルギー | <0.3 mJ/kW | <0.3 mJ/kW | <0.3 mJ/kW | <0.3 mJ/kW | - | - | - |
| アーク処理時間 | <0.1 µs | <0.1 µs | <0.1 µs | <0.1 µs | - | - | - |
| 照射圧力 | |||||||
| 照射サポートを含む | 1500 V | 1500 V | 1500 V | 1500 V | - | - | - |
| 照射サポートを含まない | 1000 V | 1000 V | 1000 V | 1000 V | - | - | - |
| 電源接続データ | |||||||
| 供給電圧 | (±10%) 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | - | - | - |
| 電源周波数 | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | - | - | - |
| 通信インターフェース | |||||||
| アナログ/デジタル | はい | はい | はい | - | - | - | - |
| RS 232 / RS 485 | はい | はい | はい | - | - | - | - |
| PROFIBUS | はい | はい | はい | - | - | - | - |
| EtherCAT | はい | はい | はい | - | - | - | - |
| DeviceNet | はい | はい | はい | - | - | - | - |
| ハウジング | |||||||
| 重量 | 45 kg | 65 kg | 65 kg | - | - | - | - |
| 保護タイプ IP | 40 | 40 | 40 | - | - | - | - |
| 冷却要件 | |||||||
| 冷媒 | 水 | 水 | 水 | - | - | - | - |
| 最大水圧 | 7 bar | 7 bar | 7 bar | - | - | - | - |
| 最小圧力差 | 1.5 bar | 1.5 bar | 1.5 bar | - | - | - | - |
| 最小流量 | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | - | - | - | - |
| 冷媒温度 | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | - | - | - | - |
| DC 接続データ | |||||||
| ターミナル数 | 3 | 3 | 3 | - | - | - | - |
| 公称電流 / ターミナル | 35 A | 53 A | 53 A | - | - | - | - |
| 一般 | |||||||
| 全体効率 | 90 % | 90 % | 90 % | - | - | - | - |
| 証明書 / 標準 | CE | CE | CE | - | - | - | - |
| 環境条件 | |||||||
| 外部温度 | 5 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | - | - | - | - |
| 湿度 | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | - | - | - | - |
| 気圧 | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | - | - | - | - |
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TruPlasma DC 3020 (G2)
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TruPlasma DC 3030 (G2)
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TruPlasma DC 3040 (G2)
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TruPlasma DC 3060 (G2)
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TruPlasma DC 3120 (G2)
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TruPlasma DC 3160 (G2)
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| 出力 | |||||||
| 定格出力 | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 W | - | - | - |
| 最大出力電流 | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff | - | - | - |
| 最大出力電圧 | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | - | - | - |
| アークパラメータ | |||||||
| 最大アークレート | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | - | - | - |
| アークエネルギー | <0.3 mJ/kW | <0.3 mJ/kW | <0.3 mJ/kW | <0.3 mJ/kW | - | - | - |
| アーク処理時間 | <0.1 µs | <0.1 µs | <0.1 µs | <0.1 µs | - | - | - |
| 照射圧力 | |||||||
| 照射サポートを含む | 1500 V | 1500 V | 1500 V | 1500 V | - | - | - |
| 照射サポートを含まない | 1000 V | 1000 V | 1000 V | 1000 V | - | - | - |
| 電源接続データ | |||||||
| 供給電圧 | (±10%) 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | - | - | - |
| 電源周波数 | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | - | - | - |
| 通信インターフェース | |||||||
| アナログ/デジタル | はい | はい | はい | - | - | - | - |
| RS 232 / RS 485 | はい | はい | はい | - | - | - | - |
| PROFIBUS | はい | はい | はい | - | - | - | - |
| EtherCAT | はい | はい | はい | - | - | - | - |
| DeviceNet | はい | はい | はい | - | - | - | - |
| ハウジング | |||||||
| 重量 | 45 kg | 65 kg | 65 kg | - | - | - | - |
| 保護タイプ IP | 40 | 40 | 40 | - | - | - | - |
| 冷却要件 | |||||||
| 冷媒 | 水 | 水 | 水 | - | - | - | - |
| 最大水圧 | 7 bar | 7 bar | 7 bar | - | - | - | - |
| 最小圧力差 | 1.5 bar | 1.5 bar | 1.5 bar | - | - | - | - |
| 最小流量 | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | - | - | - | - |
| 冷媒温度 | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | - | - | - | - |
| DC 接続データ | |||||||
| ターミナル数 | 3 | 3 | 3 | - | - | - | - |
| 公称電流 / ターミナル | 35 A | 53 A | 53 A | - | - | - | - |
| 一般 | |||||||
| 全体効率 | 90 % | 90 % | 90 % | - | - | - | - |
| 証明書 / 標準 | CE | CE | CE | - | - | - | - |
| 環境条件 | |||||||
| 外部温度 | 5 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | - | - | - | - |
| 湿度 | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | - | - | - | - |
| 気圧 | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | - | - | - | - |
ダウンロード形式で用意された全製品バリエーションの技術データ。
パルスジェネレータに代わる低費用の選択肢
TruPlasma DC 3000 (G2) シリーズの直流ジェネレータは、未来型のアーク管理により、数多くのスパッタリングプロセスで実績を残しています。パルス直流ジェネレータに代わる低費用の選択肢となるだけではなく、同時に生産高の著しい上昇にも貢献します。
出力が比較的高い場合でのコンパクトな選択肢
TruPlasma DC 3000 (G2) シリーズの直流ジェネレータの構造は非常にコンパクトですが、膜品質と生産性の面では明らかに大型のジェネレータを上回っています。そのため、60 kWを超える高出力の場合でも、コンパクトで簡単に統合可能な選択肢となります。
水冷による長いシステム作動時間
TruPlasma DC 3000 (G2) シリーズの直流ジェネレータには完全な水冷機構が装備されています。これにより空冷式の装置と比較して、システム作動時間が長くなり、同時にメンテナンスの手間が軽減され、吸引された粉塵粒子による汚れが防止されます。
様々なオプションにより、直流ジェネレータをご自分のアプリケーションに合わせて最適にカスタマイズできます。
TruPlasma DC 3000 (G2) シリーズの複数の直流ジェネレータを同期運転することができます。このモードでは、異なるターゲットを対象とした複数のジェネレータのアーク検出を同期化できます。パルスモードの同期も実行できます。高出力が必要な場合は、TruPlasma DC 3030のジェネレータ最大5台までの並列回路が可能です。これはTruPlasma DC 3150ユニットとして機能します。
ウォーターバルブコントローラは、冷却水の循環を制御することで凝結を防止し、同時にジェネレータを過熱から保護します。
EtherCAT並びにイーサネット/IPインタフェースにより、TruPlasma DC 3000 (G2) シリーズを既存の設備に簡単に組み込むことができます。
PVD Power
使いやすく、複数の言語に対応するソフトウェアPVD Powerにより、プロセス品質の最適化と効果的なトラブルシューティングを目的として、様々な操作、構成及び診断を行うことができます: 関連する全プロセスパラメータの実測値、警告、アラームメッセージの表示、オペレータによる規定値の指定、及び高い時間分解能による重要な運転パラメータの記録と可視化 (オシロスコープ機能)。
国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。 現地担当者に問い合わせて、国内で製品を入手できるかどうかを確認してください。
