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TruPlasma 직류 3040 직류 발진기
TruPlasma 직류 3040 직류 발진기
플라즈마 여기
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma 직류 시리즈 3000 (G2)

모든 표면에서 완전 무결

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    • 개요
    • 어플리케이션
    • 기술 데이터
    • 고객 이익
    • 옵션들
    • 소프트웨어
    • 더 많이 더 적게
    콤팩트한 뉴 제너레이션 직류 발진기

    TruPlasma 직류 시리즈 3000 (G2)는 다수의 직류 스퍼터링 프로세스를 위해 적합하며 - 또한 펄스 공정 전원 공급의 사용 시에도 그러합니다. 왜냐하면 진보적인 아크 관리는 최상의 층 품질 및 현저히 증대된 생산 수율을 보장합니다. 에어 쿨링된 직류 발진기는 구조가 매우 콤팩트하여 귀사의 기존 어플리케이션에 매우 간단하게 통합될 수 있습니다.

    최저 등급의 아크 에너지

    0.3 mJ/kW 이하의 잔류 에너지가 최상의 막 품질 및 높은 증착율을 보장합니다.

    높은 출력 밀도

    매우 컴팩트한 구조(19 인치 트레이), 이로 인해 더 높은 성능을 간편하게 통합함.

    넓은 출력 대역

    20 kW - 300 kW의 전력 출력, 이를 통해 더 큰 발진기 대체 가능

    완전 워터 쿨링

    시스템 유효 수명이 증가하고 유지보수 비용이 감소합니다.

    간단한 시스템 통합

    가변 전원 전압(400 V - 180 V) 및 다양한 데이터 인터페이스

    경질재 코팅

    경질재 코팅

    직류 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 기능층들이 적층됨으로써, 부하가 심한 공작물의 표면 경도 및 마찰 점착력이 증대되고, 열적 및 화학적 안정성이 개선됩니다. TruPlasma 직류 시리즈 3000 (G2) 직류 발진기는 안정적 플라즈마 프로세스를 위해 기능함으로써 최적의 층 품질을 제공합니다.

    TruPlasma 직류 3040 직류 발진기

    금속화

    PVD 프로세스를 이용하여 매우 얇은 금속층들은 다양한 물질들 상에 적층될 수 있어서, 이러한 금속층들은 최상의 광학적 및 전기적 특성을 얻게 됩니다. 공정 파라미터에 따라 최적으로 조정된 전원 공급에 의해, 결함 없는 층들이 절대적으로 균일하게 증착될 수 있습니다.

    솔라셀 제조

    솔라셀 제조

    도전 물질(TCO)의 코팅은 솔라셀, 평면 스크린 및 터치스크린의 전기적 특성에 영향을 미칩니다. 이를 위해 아크 에너지가 매우 낮은 TruPlasma 직류 시리즈 3000 (G2) 직류 발진기가 가장 적합합니다.

    TruPlasma 직류 3040 직류 발진기

    건축 유리

    직류 스퍼터링 프로세스로 건축 유리를 대면적 코팅하는 것은 공정 전원 공급 요건이 매우 까다롭습니다. TruPlasma 직류 시리즈 3000 (G2) 직류 발진기는 고품질 코팅 성과를 내기 위한 이상적 전제 조건입니다.

    아웃풋              
    정격 출력 20 kW 30 kW 40 kW 60 W - - -
    최대 출력전류 50 A eff 75 A eff 100 A eff 150 A eff - - -
    최대 출력전압 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff - - -
    아크 파라미터              
    최대 아크율 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s - - -
    아크 에너지 <0.3 mJ/kW <0.3 mJ/kW <0.3 mJ/kW <0.3 mJ/kW - - -
    아크 처리시간 <0.1 µs <0.1 µs <0.1 µs <0.1 µs - - -
    점화전압              
    점화보조장치 포함 1500 V 1500 V 1500 V 1500 V - - -
    점화보조장치 비포함 1000 V 1000 V 1000 V 1000 V - - -
    전원 연결 데이터              
    전원 전압 (±10%) 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V - - -
    전원 주파수 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz - - -
    통신 인터페이스              
    아날로그/디지털 - - - -
    RS 232 / RS 485 - - - -
    PROFIBUS - - - -
    EtherCAT - - - -
    DeviceNet - - - -
    하우징              
    중량 45 kg 65 kg 65 kg - - - -
    보호등급 IP 40 40 40 - - - -
    냉각 요건              
    냉매 워터 워터 워터 - - - -
    최대 수압 7 bar 7 bar 7 bar - - - -
    최소 차압 1.5 bar 1.5 bar 1.5 bar - - - -
    최소 유량 4 l/min 8 l/min 8 l/min - - - -
    냉매 온도 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C - - - -
    DC 연결 데이터              
    단자의 수량 3 3 3 - - - -
    정격 전류 / 단자 35 A 53 A 53 A - - - -
    일반              
    총효율 90 % 90 % 90 % - - - -
    인증서 / 표준 CE CE CE - - - -
    주변 조건              
    외부온도 5 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C - - - -
    공기습도 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % - - - -
    기압계 압력 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa - - - -
    PDF <1MB
    Technical data sheet

    Download the technical data of all product variants.

    아크 관리

    펄스 발진기의 비용 효과적 대안

    TruPlasma 직류 시리즈 3000 (G2) 직류 발진기는 미래 지향적 아크 관리를 제공함으로써 다수의 스퍼터링 프로세스에서 입증되었습니다. 이는 펄스 직류 발진기를 위한 비용 효과적 대안으로서 동시에 현저히 증대된 생산 수율을 제공합니다.

    역대 최대의 경제성 제공: TruPlasma VHF 3000 시리즈 발진기

    더 높은 출력을 위한 콤팩트한 대안

    TruPlasma 직류 시리즈 3000 (G2) 직류 발진기는 구조가 매우 콤팩트하여 층 품질 및 생산성 면에서 현저히 더 큰 발진기를 능가합니다. 전력 출력이 60 kW를 초과하는 경우에도 이러한 발진기는 이에 맞추어 간단히 통합 가능한 콤팩트한 대안이 될 수 있습니다.

    완벽한 수냉식 직류 발진기

    더 긴 시스템 유효 수명을 위한 워터 쿨링

    TruPlasma 직류 시리즈 3000 (G2) 직류 발진기는 완전 워터 쿨링을 구비합니다. 이는 에어 쿨링을 구비한 장비에 비해, 더 높은 시스템 유효 수명을 제공하는 한편, 유지 보수 비용을 낮추고, 먼지 입자 유입으로 인한 오염을 방지합니다.

    다양한 옵션을 이용하여 직류 발진기를 귀사의 어플리케이션에 따라 최적으로 조정할 수 있습니다.

    동시 구동 및 동기화

    복수의 TruPlasma DC 3000 시리즈 (G2) 직류 발진기는 동시에 가동될 수 있습니다. 이러한 모드는 상이한 타겟을 목적으로 한 복수의 발진기들에서 아크 인식을 동기화시킬 수 있습니다. 또한 펄스 모드도 동기화시킬 수 있습니다. 필요한 전력 출력이 크면, TruPlasma 직류 3030 발진기를 최대 5개까지 병렬 접속할 수 있습니다. 이들은 TruPlasma 직류 3150 유닛으로서 작동합니다.

    워터 밸브 제어 시스템

    워터 밸브 제어 시스템은 응축 방지 및 이와 동시에 발진기 과열 방지를 위해 냉각수 순환을 제어합니다.

    모든 경우를 위해 준비됨

    TruPlasma 직류 시리즈 3000 (G2)는 EtherCAT-, 및 EtherNET/IP-인터페이스를 통해 기존 설비에 간단히 편입될 수 있습니다.

    사용자 친화적인 소프트웨어 PVD POWER

    PVD Power

    운영 친화적 다언어 소프트웨어 PVD Power는 프로세스 품질 최적화 및 효과적 고장 처리를 위한 다양한 조작, 컨피규레이션 및 진단 가능성을 제공합니다: 모든 관련 공정 파라미터의 실제값, 경고 및 경보 알림의 표시, 조작자에 의한 목표값 설정 내용, 중요 운영 파라미터를 높은 시분해능으로 기록 및 시각화(오실로코프 기능)

    국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 귀하의 국가에서 사용할 수 있는 기계에 대해서는 현지 담당자에게 문의하십시오.

    본 주제에 흥미를 가질 수 있습니다.

    Gleichstrom-Generator für anspruchsvolle Plasmaprozesse: TruPlasma DC 3010
    완벽하게 구현된 균질의 코팅층

    낮은 잔여 에너지를 이용하는 신속한 아크 관리를 통하여, TruPlasma 직류 3000 시리즈 발진기는 직류 스퍼터링을 이용한 코팅을 위해 올바른 선택입니다.

    Services_Electronics_Training
    개별적인 고객 교육 프로그램이야 말로 당사의 강점입니다.

    숙련된 서비스 기술자가 참가자의 니즈에 적합하게 구성된 내용의 기본 지식을 전달합니다.

    Services_Electronics_Technical_Support
    유일무이한 서비스

    발진기는 세세한 부분까지 규정한 유지보수 계약을 통해 최상의 가용성을 내며, 유지보수 및 운영 비용을 일목요연하게 파악할 수 있습니다.

    접점

    Klaus Nock
    세일즈 플라즈마
    팩스: +49 761 89711150
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    다운로드

    TruPlasma DC 3000 시리즈(G2) 브로셔
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